{"product_id":"e27h-1tbd5b-heated-etch-pressure-transducer-mks-e27h-0-1-torr","title":"E27H.1TBD5B Transductor de presión térmica para grabado – MKS E27H 0,1 Torr","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eMKS E27H.1TBD5B | Sensor Baratron calefactado para grabado\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1565c0;\"\u003eMKS Instruments E27H.1TBD5B\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e es un transductor de presión absoluta calefactado diseñado para procesos de grabado de semiconductores exigentes.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003ePertenece a la \u003cstrong\u003eserie E27H (serie 600)\u003c\/strong\u003e y cuenta con una configuración específica para grabado. Su sumidero integrado ayuda a gestionar la deposición de subproductos del proceso en el interior del conjunto de detección de presión.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl sensor funciona a una temperatura controlada de \u003cstrong\u003e45 °C\u003c\/strong\u003e. Esta construcción calefactada ayuda a reducir la condensación y la deposición en las superficies internas sensibles.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEsta configuración proporciona un \u003cstrong\u003erango de escala completa de 0,1 Torr\u003c\/strong\u003e con calibración horizontal. Combina una salida analógica de 0–10 VCC, materiales en contacto con el proceso de Inconel y una conexión de proceso hembra de 8 VCR.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eCaracterísticas técnicas principales\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFabricante:\u003c\/strong\u003e MKS Instruments\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eModelo completo:\u003c\/strong\u003e \u003cspan style=\"color: #1565c0;\"\u003e\u003cstrong\u003eE27H.1TBD5B\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFamilia de productos:\u003c\/strong\u003e E27H, serie 600\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTipo de producto:\u003c\/strong\u003e Sensor Baratron calefactado para grabado\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMedición:\u003c\/strong\u003e Presión absoluta\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEscala completa:\u003c\/strong\u003e 0,1 Torr (aproximadamente 13,3 Pa)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTemperatura del sensor:\u003c\/strong\u003e 45 °C\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eOrientación de calibración:\u003c\/strong\u003e Horizontal\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eProtección para grabado:\u003c\/strong\u003e Deflector de grabado con sumidero integrado\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión:\u003c\/strong\u003e 0,15 % de la lectura\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSalida eléctrica:\u003c\/strong\u003e 0–10 VCC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión de proceso:\u003c\/strong\u003e 8 VCR hembra\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Desglose de la configuración – Decodificación del modelo completo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl código de pedido completo identifica el rango de medición, la conexión de proceso, la calibración, la interfaz eléctrica y la configuración de precisión del instrumento.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSegmento del modelo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDescripción técnica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eE27H\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie de productos\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración de sensor calefactado para grabado Baratron\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e.1T\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEscala completa de 0,1 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eB\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión hembra de 8 VCR\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eD\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eOpción de calibración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCalibración horizontal, configuración estándar\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e5\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector eléctrico\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 15 pines con bloqueadores de rosca\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eB\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eGrado de precisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,15 % de la lectura\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInterpretación de la configuración:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eE27H:\u003c\/strong\u003e Identifica la familia de productos de sensores calefactados para grabado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003e.1T:\u003c\/strong\u003e Define el rango de medición de 0,1 Torr.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eB:\u003c\/strong\u003e Especifica la conexión de proceso hembra de 8 VCR.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eD:\u003c\/strong\u003e Identifica la configuración de calibración horizontal.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003e5:\u003c\/strong\u003e Especifica el conector D-sub de 15 pines con rosca.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eB:\u003c\/strong\u003e Identifica el grado de precisión del 0,15 % de la lectura.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eVerifique siempre el código de pedido completo con la placa de identificación del instrumento. Confirme la interpretación del sufijo con la documentación de configuración de MKS aplicable antes de realizar el pedido.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Especificaciones de medición de presión\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl instrumento mide la presión absoluta dentro de un rango de baja presión. Su arquitectura de medición permite supervisar la presión del proceso en equipos de grabado de semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de medición\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de medición\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión absoluta\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión equivalente\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAproximadamente 13,3 Pa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,15 % de la lectura\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eResolución\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,001 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo linealidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eIncluida en la precisión especificada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eHistéresis\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eIncluida en la precisión especificada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo repetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eIncluida en la precisión especificada\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de calentamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4 horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eOrientación de calibración\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHorizontal\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eCálculo de la resolución:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e0,1 Torr × 0,001 % = \u003cstrong\u003e0,000001 Torr\u003c\/strong\u003e.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEsto equivale aproximadamente a 0,000133 Pa. La resolución no representa la precisión absoluta de la medición.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInterpretación de la precisión:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa precisión especificada del 0,15 % se aplica a la lectura de presión. Incluye la no linealidad, la histéresis y la no repetibilidad.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eA 0,05 Torr, el valor de precisión correspondiente del 0,15 % es de 0,000075 Torr. Este cálculo representa el porcentaje de la lectura indicado.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Sensor calefactado para grabado y tecnología de sumidero integrado\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa característica distintiva de esta configuración es su deflector de grabado y estructura de sumidero integrados.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLos procesos de grabado pueden generar subproductos de reacción durante el procesamiento con plasma. Algunos subproductos pueden depositarse en las superficies internas a medida que cambian las condiciones del proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLos depósitos acumulados pueden restringir la comunicación de presión y afectar la fiabilidad de la medición a largo plazo. La configuración E27H aborda este desafío mediante un diseño específico de sensor para grabado.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eDeflector de grabado integrado:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eCuenta con una estructura de sumidero integrada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eUtiliza un diseño patentado, Patente de EE. UU. n.º 5.822.685.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAyuda a gestionar la acumulación de subproductos dentro del conjunto del sensor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003ePermite la medición de presión en entornos de grabado exigentes.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eSensor calefactado a 45 °C:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eMantiene una temperatura controlada del sensor de 45 °C.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAyuda a reducir la condensación de los subproductos del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eFavorece condiciones térmicas internas más estables.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eReduce el riesgo de que la deposición afecte las superficies sensibles de detección.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eValor técnico:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl sumidero y la construcción calefactada abordan diferentes aspectos de la contaminación del proceso. El sumidero gestiona los subproductos acumulados, mientras que el calentamiento ayuda a reducir la condensación.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa vida útil real depende de la química del proceso, la tasa de deposición, la presión de operación y las condiciones de mantenimiento.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Rendimiento térmico y límites ambientales\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLas condiciones térmicas influyen en la estabilidad de la medición a baja presión. Los siguientes parámetros definen el entorno de operación y la sensibilidad térmica.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro térmico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura del sensor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlada a 45 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura ambiente de operación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDe 15 a 40 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de calentamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4 horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,005 % FS\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura de la escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,02 % de la lectura\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eRecomendaciones para la gestión de la temperatura:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eMantenga la temperatura ambiente entre 15 y 40 °C.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003ePermita cuatro horas para la estabilización térmica después del arranque.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEvite cambios bruscos de temperatura alrededor del sensor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la estabilidad del cero después del período de calentamiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEvalúe la variación de la escala cuando cambie la temperatura ambiente.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eEl valor de 45 °C se refiere a la temperatura controlada del sensor. No representa la temperatura ambiente permitida.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Interfaz eléctrica y señal analógica\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl instrumento proporciona una salida de voltaje analógica para sistemas externos de supervisión de presión. Su conector D-sub de 15 pines utiliza herrajes de bloqueo de rosca.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro eléctrico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFuente de alimentación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTolerancia de la fuente\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±5 %\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCorriente máxima\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,25 A\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSalida analógica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDe 0 a +10 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCarga de salida\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u0026gt;10 kΩ\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-sub de 15 pines\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eBloqueo del conector\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eBloqueadores de rosca\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePuntos de disparo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNinguno\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLED de estado del calentador\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo disponible\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eReferencia de escalado analógico\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eAsumiendo una salida lineal de 0–10 VCC en el rango de 0–0,1 Torr:\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eVoltaje de salida\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePresión equivalente\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e0 V\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e2,5 V\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,025 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e5 V\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,05 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e7,5 V\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,075 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 V\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eUtilice la función de transferencia del fabricante para el escalado final del sistema. Confirme el comportamiento del cero y la escala durante la puesta en marcha.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eIntegración con PLC y sistemas de control:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eUtilice un canal de entrada analógica compatible de 0–10 V.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eProporcione la fuente de alimentación bipolar de ±15 VCC requerida.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eMantenga la impedancia de entrada por encima de 10 kΩ.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la asignación de los pines del conector antes del cableado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAsegure el conector D-sub utilizando sus tornillos de bloqueo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe las disposiciones de puesta a tierra y blindaje.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Conexión de proceso y construcción mecánica\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl límite de presión utiliza materiales Inconel en contacto con el proceso. El instrumento cuenta con una conexión de proceso hembra de 8 VCR.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro mecánico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales en contacto con el proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eInconel\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión de proceso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e8 VCR hembra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eVolumen interno\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e6,3 cc\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDiámetro del cuerpo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,15 in (80,0 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAltura del cuerpo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,87 in (98,4 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLongitud del vástago\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,38 in (35,1 mm)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCalibración de montaje\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHorizontal\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eConsideraciones de instalación:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la orientación de montaje horizontal.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe el espacio libre disponible alrededor del cuerpo del sensor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eHaga coincidir la conexión de proceso con el conjunto VCR existente.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInspeccione las superficies de sellado antes de la instalación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEvite la carga mecánica sobre la conexión de presión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la compatibilidad con el material del proceso antes de la operación.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Flujo de trabajo de instalación y puesta en marcha\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePreparación mecánica\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el modelo completo y el rango de medición.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme que la instalación requiere calibración horizontal.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInspeccione la conexión hembra de 8 VCR.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la línea de proceso en busca de contaminación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInstale los componentes de sellado VCR adecuados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAsegure el instrumento sin aplicar un esfuerzo mecánico excesivo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePreparación eléctrica\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la fuente de alimentación de ±15 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme la polaridad de la fuente y la tolerancia de voltaje.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInspeccione el conector D-sub de 15 pines.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe el cableado de la salida analógica.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la impedancia de entrada receptora.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAsegure los tornillos de bloqueo del conector.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eSecuencia de puesta en marcha\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003eAplique la fuente de alimentación especificada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003ePermita al menos cuatro horas para la estabilización térmica.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfirme que la temperatura ambiente se mantenga dentro de los límites.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe la salida del cero bajo condiciones de referencia adecuadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAplique puntos de presión conocidos utilizando equipos calibrados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompare la salida medida con los valores esperados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique el escalado de presión en el sistema de control receptor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRegistre los resultados de la puesta en marcha para referencia futura.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Mantenimiento y gestión de la contaminación del proceso\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLas aplicaciones de grabado requieren especial atención a la acumulación de subproductos del proceso. El mantenimiento de rutina debe considerar tanto el rendimiento de presión como las condiciones de contaminación.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003ePuntos de inspección recomendados:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eSupervise las lecturas de presión en busca de desviaciones graduales.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eCompruebe las condiciones de la línea de proceso en busca de deposición excesiva.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInspeccione las conexiones externas en busca de fugas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eVerifique la estabilización térmica después del arranque del equipo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRevise los registros de verificación del cero y la escala.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eSiga los procedimientos de MKS para la limpieza interna y el servicio.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eAdvertencia de mantenimiento:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eNo abra ni limpie mecánicamente el conjunto de detección sin procedimientos de servicio aprobados. El manejo incorrecto puede dañar los componentes internos sensibles.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Compatibilidad y selección de reemplazo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa familia E27H admite aplicaciones de reemplazo que involucran familias anteriores de manómetros Baratron, incluidas las configuraciones 127, 627 y E27.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEsta declaración de intercambiabilidad no garantiza la compatibilidad para cada instalación heredada.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFamilia heredada\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eVerificación de reemplazo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie 127\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompruebe el rango de presión, el montaje y la interfaz eléctrica.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie 627\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVerifique la configuración de calentamiento y la conexión de proceso.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie E27\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCompare el diseño del sensor, la calibración y los requisitos de señal.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eAntes de realizar el pedido, confirme:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eEl rango de presión original y el tipo de medición de presión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEl requisito de calibración horizontal.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLas condiciones de exposición al proceso de grabado y a los subproductos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLa compatibilidad con la conexión hembra de 8 VCR.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLa disponibilidad de ±15 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLa compatibilidad con la entrada analógica de 0–10 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eEl conector D-sub de 15 pines y la configuración de cableado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eLas especificaciones de precisión y térmicas requeridas.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003ePara equipos heredados, compare los códigos de modelo completos en lugar de depender únicamente de los nombres de las familias.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Cumplimiento, embalaje y condiciones de suministro\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInformación de cumplimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eConforme con la CE.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eFabricante: MKS Instruments.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eFamilia de productos: E27H, serie 600.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLas declaraciones aplicables y los documentos de respaldo dependen de la configuración suministrada.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eReferencia del paquete estándar\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e1 × Sensor Baratron calefactado para grabado MKS Instruments E27H.1TBD5B.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eInformación de identificación del producto, cuando se suministre.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eAccesorios y documentación adicionales, sujetos a confirmación del pedido.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLos cables de alimentación, los conectores compatibles y los certificados de calibración requieren una confirmación por separado.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eCondiciones de garantía\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePeríodo de garantía:\u003c\/strong\u003e 12 meses para los productos aplicables.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCobertura:\u003c\/strong\u003e Problemas de fabricación o de calidad del producto cubiertos por las condiciones de garantía acordadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSoporte:\u003c\/strong\u003e Contacte a nuestro equipo de ventas para conocer los procedimientos de inspección y garantía.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerificación:\u003c\/strong\u003e La elegibilidad para la garantía se rige por el pedido y el acuerdo de suministro confirmados.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eEnvío internacional\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFedEx:\u003c\/strong\u003e Entrega exprés internacional.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eUPS:\u003c\/strong\u003e Servicios internacionales de paquetes y exprés.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDHL:\u003c\/strong\u003e Entrega exprés internacional.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLos métodos de envío y los programas de despacho dependen del estado del inventario y del destino.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | Preguntas frecuentes\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Por qué un proceso de grabado requiere un diseño específico de sensor de presión?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLos procesos de grabado pueden generar gases reactivos y subproductos sólidos. Estos materiales pueden acumularse en los conductos de detección de presión.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eUna configuración específica para grabado ayuda a gestionar la deposición mediante su sumidero integrado y su diseño de sensor calefactado. Esto reduce los riesgos de medición relacionados con la contaminación.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Cuál es la función de ingeniería del sumidero integrado?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl sumidero integrado proporciona un área designada para gestionar la acumulación de subproductos del proceso. Forma parte del diseño patentado del deflector de grabado.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLos ingenieros deben evaluar la química del proceso y las tasas de deposición. El sumidero no elimina todas las contaminaciones ni los requisitos de mantenimiento.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Puede el instrumento funcionar con un sistema de monitoreo Ethernet externo?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa especificación eléctrica suministrada identifica una salida analógica de 0–10 VCC a través de un conector D-sub de 15 pines.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl monitoreo Ethernet externo requiere un PLC, un dispositivo de adquisición de datos o una puerta de enlace de comunicación compatible. Verifique las opciones exactas de comunicación de la configuración solicitada antes de la integración.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Qué deben investigar los ingenieros si la respuesta de presión se vuelve más lenta después de un período prolongado de operación de grabado?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompruebe la línea de presión del proceso para detectar la acumulación de subproductos y posibles obstrucciones. Revise la conexión de presión y las válvulas de aislamiento del sistema.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eTambién verifique la estabilización térmica y compare la salida con una referencia calibrada. No reemplace inmediatamente el sensor sin comprobar primero todo el recorrido de presión.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Cómo deben elegir los compradores entre el E27H y un Baratron calefactado estándar?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eConsidere primero la química del proceso y la deposición esperada de subproductos. Los modelos calefactados estándar pueden ser adecuados para entornos de medición de presión más limpios.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa configuración E27H ofrece un deflector de grabado y un sumidero integrados para aplicaciones propensas a la deposición. Los compradores también deben confirmar el rango de 0,1 Torr, la calibración horizontal y la configuración eléctrica.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003ePara proyectos de reemplazo, proporcione la placa de identificación original y el modelo del equipo. Esto ayuda a verificar la configuración correcta antes de la compra.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e¿Por qué elegir Ubest Automation?\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eUbest Automation suministra instrumentación industrial y componentes de automatización para las industrias de semiconductores y de procesos.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAbastecimiento de productos:\u003c\/strong\u003e Soporte para productos de medición de presión de MKS Instruments.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerificación de modelos:\u003c\/strong\u003e Asistencia con códigos de pedido y configuraciones técnicas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInspección previa al envío:\u003c\/strong\u003e Comprobación de productos antes del despacho, sujeta a disponibilidad y requisitos de prueba.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGarantía:\u003c\/strong\u003e Garantía de 12 meses para los productos aplicables.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEntrega global:\u003c\/strong\u003e Opciones de envío con FedEx, UPS y DHL.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSoporte técnico:\u003c\/strong\u003e Asistencia con la identificación de reemplazos y la verificación de interfaces.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eSolicite una cotización para el MKS E27H.1TBD5B.\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEnvíenos el número de modelo completo y los requisitos del equipo. Nuestro equipo puede ayudarle con la verificación de la configuración, los precios y la coordinación de la entrega.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eCorreo electrónico:\u003c\/strong\u003e sales@ubestplc.com\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eSitio web:\u003c\/strong\u003e \u003ca href=\"https:\/\/www.ubestplc.com\"\u003ewww.ubestplc.com\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"MKS Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68020094959798,"sku":"E27H.1TBD5B","price":263.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/E27H.1TBD5B_1.jpg?v=1794208679","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/e27h-1tbd5b-heated-etch-pressure-transducer-mks-e27h-0-1-torr","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}