{"product_id":"631f11t8fh-mks-baratron-631f-heated-capacitance-manometer","title":"631F11T8FH MKS Baratron 631F Manómetro capacitivo térmico","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631F11T8FH\u003c\/span\u003e Manómetro capacitivo absoluto calefactado MKS Baratron® \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631F\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631F11T8FH\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e es un manómetro capacitivo Baratron® de alta temperatura, autónomo y fabricado por \u003cstrong\u003eMKS Instruments\u003c\/strong\u003e para procesos agresivos de vacío en la fabricación de semiconductores. Al funcionar a una temperatura interna estabilizada del sensor de \u003cstrong\u003e150 °C\u003c\/strong\u003e, evita la condensación de subproductos del proceso durante el grabado de metales y la deposición química de vapor (CVD) de películas de nitruro.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eSu paquete de electrónica integrado y compacto reduce el espacio requerido para la herramienta en al menos un \u003cstrong\u003e40 %\u003c\/strong\u003e y elimina los cables de interconexión que generan ruido. Fabricado con superficies en contacto con el proceso de \u003cstrong\u003eInconel®\/Incoloy®\u003c\/strong\u003e resistentes a la corrosión, el \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631F\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e ofrece una precisión del 0,50 % de la lectura en un rango de escala completa de 10 Torr.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eDecodificación del número de modelo y árbol de configuración\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFamilia de productos base (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631F\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e Manómetro capacitivo absoluto calefactado MKS Baratron\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de escala completa (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e11\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e Presión absoluta de 10 Torr\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eUnidad de presión (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003eT\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e Salida calibrada en Torr\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión de vacío (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e8\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e Conexión hembra VCR 8 (hembra Swagelok VCR de 1\/2 pulgada con tubo largo)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión de medición (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003eF\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e 0,50 % de la lectura\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTemperatura de control del sensor (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003eH\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e Calefactado internamente a \u003cstrong\u003e150 °C\u003c\/strong\u003e\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eMatriz de especificaciones técnicas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003cthead\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003e\u003cstrong\u003eDominio\u003c\/strong\u003e\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003e\u003cstrong\u003eParámetro\u003c\/strong\u003e\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación de ingeniería\u003c\/strong\u003e\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/thead\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eIdentificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMarca y modelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMKS \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631F11T8FH\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e (\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003eSerie 631F\u003c\/span\u003e)\u003c\/strong\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMedición\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo y escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eTransductor de vacío\/presión absoluta; escala completa de \u003cstrong\u003e10 Torr\u003c\/strong\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRendimiento metrológico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión y resolución\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión del 0,50 % de la lectura\u003c\/strong\u003e; resolución del \u003cstrong\u003e0,01 % de la escala completa\u003c\/strong\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEstabilidad térmica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemp. del sensor y calentamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003eControl interno a 150 °C\u003c\/strong\u003e; estabilización térmica de arranque en frío de \u003cstrong\u003e≤ 4 horas\u003c\/strong\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCoeficientes de deriva térmica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeriva de cero y de escala\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCero: \u003cstrong\u003e0,004 % FS\/°C\u003c\/strong\u003e; escala: \u003cstrong\u003e0,02 % de la lectura\/°C\u003c\/strong\u003e\n\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDinámica y mecánica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRespuesta, sobrepresión y volumen\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRespuesta de 50 msec\u003c\/strong\u003e; límite de sobrepresión de \u003cstrong\u003e45 psia\u003c\/strong\u003e; volumen interno de \u003cstrong\u003e6,3 cc\u003c\/strong\u003e\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eInterfaz de proceso\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConexión y materiales en contacto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión hembra VCR 8\u003c\/strong\u003e; aleaciones de níquel \u003cstrong\u003eInconel® o Incoloy®\u003c\/strong\u003e resistentes a la corrosión\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEléctrica y de señal\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAlimentación, salida y conector\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003e±15 VCC (±5 %) a 1,0 A máx.\u003c\/strong\u003e; salida analógica de \u003cstrong\u003e0–10 VCC\u003c\/strong\u003e mediante \u003cstrong\u003eD-sub de 15 pines\u003c\/strong\u003e\n\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRelés de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eProtección de presión y calefactor\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003e2 relés de disparo de presión de estado sólido UL\u003c\/strong\u003e (0,20 A a 30 VCC); \u003cstrong\u003e1 relé de calefactor UL\u003c\/strong\u003e\n\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAmbiente y cumplimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEntorno y normas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAmbiente de 15–50 °C\u003c\/strong\u003e (flujo de aire de 50 pies\/min por encima de 45 °C); \u003cstrong\u003eConforme a CE\u003c\/strong\u003e\n\n\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eCobertura de la garantía y envío exprés global\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGarantía integral de 12 meses:\u003c\/strong\u003e Cada unidad \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631F11T8FH\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e cuenta con una garantía de 12 meses que cubre la estabilidad del cero del sensor, la regulación del calefactor y la integridad de la electrónica bajo las condiciones de proceso especificadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDespacho de carga aérea global:\u003c\/strong\u003e Se envía a todo el mundo en embalaje ESD aislado de impactos mediante \u003cstrong\u003eFedEx, UPS o DHL\u003c\/strong\u003e para minimizar el tiempo de inactividad de las herramientas de la planta de semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003ePreguntas frecuentes sobre procesos de semiconductores y guía de selección\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP: ¿Cómo ajusto los relés de disparo de presión dual sin evacuar la cámara de proceso?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eR: El modelo Type 631F permite el ajuste independiente del potenciómetro a presión atmosférica, eliminando la necesidad de configurar bombas de vacío auxiliares durante la puesta en marcha de la herramienta.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP: ¿Por qué es obligatorio el período de calentamiento de 4 horas antes de realizar la calibración del cero?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eR: Volver a ajustar el cero antes de alcanzar el equilibrio térmico completo a 150 °C en el diafragma de Inconel® introduce desplazamientos por expansión térmica que alteran las lecturas de baja presión.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP: ¿Cuándo deben los ingenieros elegir un modelo calefactado a 150 °C en lugar de un manómetro capacitivo sin calefacción?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eR: Especifique calefacción a 150 °C en líneas de CVD de nitruro o de grabado de metales con halógenos donde, de lo contrario, las sales de amonio condensables o los precursores de polímeros recubren el diafragma.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP: ¿Qué flujo de aire de refrigeración se requiere al montar este manómetro dentro de una caja de gas densa?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eR: Proporcione al menos 50 pies\/min de flujo de aire ambiente forzado cuando las temperaturas del gabinete alcancen entre 45 °C y 50 °C para evitar apagados de seguridad por sobretemperatura.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP: ¿Un evento de ventilación atmosférica de 45 psia altera permanentemente la calibración de escala de 10 Torr?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eR: No, el sensor soldado de Inconel® soporta hasta 45 psia de sobrepresión sin deformación mecánica del diafragma, preservando la repetibilidad a largo plazo a través de los ciclos de ventilación de la cámara.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cimg src=\"https:\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/631F.png?v=1794207379\" alt=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"MKS Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68057984336054,"sku":"631F11T8FH","price":223.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/631F13TBFP_2_6022cafe-de0e-4cbd-9ae5-de5d52533591.jpg?v=1794542501","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/631f11t8fh-mks-baratron-631f-heated-capacitance-manometer","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}