{"product_id":"631d11t8fh-mks-instruments-baratron-heated-capacitance-manometer","title":"631D11T8FH MKS Instruments Baratron Manómetro capacitivo calefactado","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eDescripción general del producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003eMKS Instruments 631D11T8FH\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e es un manómetro capacitivo absoluto calefactado \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003eBaratron® tipo 631D\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e de alta precisión, diseñado para exigentes procesos industriales y de semiconductores en vacío. Con una temperatura del sensor regulada internamente a 150 °C o 200 °C, este transductor de presión de vacío evita la condensación de los gases del proceso y minimiza la deriva del cero en entornos de deposición química de vapor a alta temperatura.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eConstruido con superficies en contacto con el proceso de Inconel® e Incoloy® resistentes a la corrosión, el \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003e631D11T8FH\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e ofrece mediciones precisas de presión absoluta con un rápido tiempo de respuesta de 50 ms. Emite una señal analógica limpia y lineal de 0 a 10 VCC a través de una interfaz D-sub de 15 pines e integra dos relés de disparo ajustables para el proceso, que permiten un control directo de enclavamientos.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración y estructura del número de pieza\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSerie base (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e631D\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e Plataforma del manómetro capacitivo absoluto calefactado MKS Baratron®\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eIdentificador del rango de escala completa (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e11T\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003e11:\u003c\/strong\u003e Rango de medición absoluta de escala completa de 10 Torr (la serie admite 1, 2, 10, 30, 100 y 1000 Torr)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eT:\u003c\/strong\u003e Medición calibrada en unidades de Torr\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión y configuración térmica (\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e8FH\u003c\/span\u003e):\u003c\/strong\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003e8:\u003c\/strong\u003e Conexión giratoria hembra de puerto de vacío mecánico VCR® de 8\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eF:\u003c\/strong\u003e Conector de interfaz analógica y de relés D-sub de 15 pines\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eH:\u003c\/strong\u003e Configuración de sensor calefactado de alta temperatura (control térmico regulado a 200 °C\/150 °C)\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eMatriz de especificaciones técnicas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003cthead\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003cth\u003eCategoría del parámetro\u003c\/th\u003e\n\n\u003cth\u003eEspecificación técnica\u003c\/th\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/thead\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFabricante y serie\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003eMKS Instruments Baratron® tipo 631D\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eNúmero de modelo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003e631D11T8FH\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePrincipio de medición\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eManómetro capacitivo absoluto calefactado\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRangos de presión de la serie\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEscala completa (FS) de 1, 2, 10, 30, 100 y 1000 Torr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTemperatura controlada del sensor\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCalefactor interno regulado a 150 °C o 200 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePrecisión de medición\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,50 % de la lectura\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eResolución y respuesta\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,01 % de la escala completa; constante de tiempo de 50 ms\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSalida de señal analógica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–10 VCC lineal en carga de \u0026gt;10 kΩ mediante conector D-sub de 15 pines\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRelés de disparo del proceso\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDos relés internos, ajustables de forma independiente del 0,5 % al 100 % de la FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCoeficiente de temperatura del cero\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e150 °C: 0,004 % FS\/°C (0,008 % para 1 Torr) | 200 °C: 0,008 % FS\/°C (0,016 % para 1 Torr)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCoeficiente de temperatura de la escala\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,02 % de la lectura\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMateriales en contacto y volumen\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAleaciones de níquel Inconel® o Incoloy®; volumen interno de 6,3 cc\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eLímite de sobrepresión\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eLímite máximo seguro de rotura de 45 psia (310 kPa)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRequisitos de la fuente de alimentación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VCC (±5 %) con consumo máximo de 1,0 A\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eLímites térmicos y de flujo de aire\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAmbiente de 15 °C a 50 °C; 50 pies\/min (ver. 150 °C) o 150 pies\/min (ver. 200 °C) a 45–50 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCalentamiento y cumplimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de estabilización térmica de 4 horas; certificado CE\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eDirectrices de instalación y puesta en marcha\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstabilización térmica:\u003c\/strong\u003e Deje pasar un período completo de calentamiento de 4 horas después de aplicar la alimentación de ±15 VCC antes de ajustar el cero del transductor \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003e631D11T8FH\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGestión del flujo de aire:\u003c\/strong\u003e Mantenga un flujo de aire forzado mínimo de 150 pies\/min (para calefactores de 200 °C) cuando las temperaturas ambiente del gabinete alcancen entre 45 °C y 50 °C.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexiones del proceso:\u003c\/strong\u003e Instale el transductor verticalmente con el puerto orientado hacia abajo para evitar la acumulación de partículas o condensado dentro de la cavidad de 6,3 cc.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eBlindaje eléctrico:\u003c\/strong\u003e Utilice cableado de par trenzado blindado en el conector D-sub de 15 pines y conéctelo a una entrada de lectura de alta impedancia (\u0026gt;10 kΩ).\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eCompatibilidad, garantía y logística\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompatibilidad del sistema:\u003c\/strong\u003e Se integra directamente con las lecturas de la fuente de alimentación PDR2000 de \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003eMKS Instruments\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e, los controladores de presión tipo 651 y los bastidores de herramientas OEM; es compatible con las configuraciones de la serie 631F moderna.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCobertura de la garantía:\u003c\/strong\u003e Se suministra con una garantía operativa integral de 12 meses a partir de la fecha de envío.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEnvío exprés global:\u003c\/strong\u003e Envío internacional inmediato disponible a través de las redes de mensajería prioritaria de \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003eFedEx, UPS y DHL\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eContenido del paquete\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e1 x manómetro capacitivo calefactado Baratron® \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003eMKS Instruments 631D11T8FH\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e1 x tapa protectora de envío para el puerto de vacío\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003ePreguntas frecuentes (FAQ)\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Por qué es obligatorio un período de calentamiento de 4 horas antes de realizar un ajuste del cero en el 631D11T8FH?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eR1: El calefactor interno debe llevar el diafragma de Inconel® y el conjunto del electrodo capacitivo a un equilibrio térmico exacto a 150 °C o 200 °C. Ajustar el cero prematuramente provoca una deriva de la línea de base a medida que la estructura metálica continúa expandiéndose.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué sucede si el transductor experimenta una ventilación accidental a la atmósfera por encima de su rango de escala completa de 10 Torr?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eR2: El diafragma del sensor soporta una sobrepresión de hasta 45 psia (310 kPa) sin daños mecánicos permanentes. Una vez reevacuado por debajo de 10⁻⁴ Torr, verifique el desplazamiento del cero antes de reanudar los procesos.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Cómo deben los ingenieros configurar los dos relés de disparo internos para los enclavamientos de seguridad de la cámara de vacío?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eR3: Utilice un voltímetro digital de precisión en los puntos de prueba mientras ajusta los potenciómetros de múltiples vueltas para establecer los umbrales de disparo en cualquier punto entre el 0,5 % y el 100 % de la escala completa para el control de la válvula de despresurización o del estrangulador.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Puede este manómetro capacitivo medir con precisión los gases corrosivos de grabado por plasma independientemente de la especie de gas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eR4: Sí, debido a que los manómetros capacitivos miden la fuerza física directa ejercida sobre un diafragma de Inconel®, las lecturas son completamente independientes de la composición del gas o de la conductividad térmica.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: Guía de compra: ¿Debería adquirir una unidad de sustitución directa 631D11T8FH o actualizar a la serie MKS 631F?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eR5: Elija el modelo exacto \u003cspan style=\"color: #0056b3;\"\u003e\u003cstrong\u003e631D11T8FH\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e para mantener las recetas validadas de las herramientas OEM, los existentes esquemas de pines D-sub de 15 pines y el espacio mecánico sin la recalificación del software o del hardware. Cambie a la serie 631F solo cuando construya nuevas plataformas de herramientas o realice renovaciones completas de la cámara.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cimg src=\"https:\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/631D.png?v=1794542479\" alt=\"\"\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"MKS Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68057989251254,"sku":"631D11T8FH","price":336.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/631D11T8FHBB-3.jpg?v=1794542544","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/products\/631d11t8fh-mks-instruments-baratron-heated-capacitance-manometer","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}