{"title":"Instrumentos de la unidad","description":"\u003cp\u003eUnit Instruments, referente en el control de precisión del flujo de gas y la medición de presión, ofrece controladores de flujo másico (MFC) de alto rendimiento, medidores de flujo másico (MFM) y transductores de presión especializados, diseñados para la fabricación de semiconductores, la deposición de películas delgadas y la automatización de procesos industriales. Diseñados con sensores de flujo másico térmico de alta estabilidad, integridad de sellos metálicos y circuitos de respuesta dinámica rápida, los dispositivos de Unit Instruments ofrecen una dosificación de gas precisa y repetible en bucles de proceso críticos. Nuestro inventario incluye series legendarias, como los controladores de las series UFC-1100, UFC-7300 y UFC-8100, que admiten múltiples calibraciones de gas, sellos metálicos de alta pureza (VCR) y protocolos de comunicación analógicos o DeviceNet. Tanto si necesita sustituir repuestos de MFC antiguos como adquirir componentes de control de flujo calibrados para equipos OEM, nuestra gama de productos originales de Unit Instruments garantiza un funcionamiento sin deriva, una respuesta térmica rápida y una reducción de la contaminación del proceso en entornos de alto vacío.\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","products":[{"product_id":"ufc-1660-unit-instruments-1660-series-precision-analog-mfc","title":"UFC-1660 UNIT Instruments MFC analógico de precisión serie 1660","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eControlador analógico de flujo másico UFC-1660 de UNIT Instruments\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eUNIT Instruments UFC-1660\u003c\/strong\u003e es un controlador analógico de flujo másico de la \u003cstrong\u003eserie 1660\u003c\/strong\u003e. Combina una trayectoria de gas de alta pureza con sellos metálicos y la probada válvula electromagnética proporcional Unit 132. La plataforma admite la entrega de gases de proceso para semiconductores en aplicaciones donde son importantes la capacidad de presión, la regulación repetible del flujo y las superficies en contacto limpias.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEsta configuración analógica básica cubre rangos de flujo a escala completa de \u003cstrong\u003e3 sccm a 30 slm\u003c\/strong\u003e, basados en un flujo equivalente al nitrógeno. Utiliza señales de consigna y monitoreo de 0–5 VCC para la integración con equipos. Su construcción con sellos metálicos y su amplio rango de presión lo hacen adecuado para paneles de gas de alta pureza y herramientas de proceso para semiconductores.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Adaptación al proceso: aplicaciones del UFC-1660\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl UFC-1660 satisface los requisitos de entrega de gas en la fabricación de semiconductores. Su arquitectura de control analógico es adecuada para equipos que utilizan señales de comando y monitoreo convencionales basadas en voltaje.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eGrabado por plasma:\u003c\/strong\u003e Regula la entrega de gas de proceso a las cámaras de grabado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeposición química de vapor (CVD):\u003c\/strong\u003e Permite un flujo de gas controlado durante la deposición de películas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDifusión:\u003c\/strong\u003e Proporciona una entrega de gas repetible para equipos de procesamiento térmico.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEpitaxia (EPI):\u003c\/strong\u003e Permite regular el flujo de gas en sistemas de crecimiento epitaxial.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePulverización catódica:\u003c\/strong\u003e Controla el suministro de gas de proceso en equipos de deposición física de vapor.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePaneles de gas de alta pureza:\u003c\/strong\u003e Se integra en sistemas de distribución de gas mediante controles analógicos compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eLa compatibilidad de gas especificada incluye gases de proceso no corrosivos y moderadamente corrosivos. La calibración estándar se basa en nitrógeno. Confirme la compatibilidad del gas y los requisitos de calibración antes de utilizar el controlador en una química de proceso determinada.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Regulación del flujo: precisión en todo el rango de trabajo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl UFC-1660 ofrece un rango de control del 2 % al 100 % de la escala completa. La especificación de precisión varía según el punto de operación, por lo que los ingenieros deben evaluar la consigna de proceso requerida en relación con el rango seleccionado.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro de rendimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de flujo a escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3 sccm a 30 slm, equivalente a N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión por encima del 35 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1 % de la escala completa, modelo analógico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión por debajo del 35 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,35 % de la escala completa, modelo analógico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRepetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,15 % de la escala completa, según SEMI E56-96\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLinealidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,5 % de la escala completa, según SEMI E27-92\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de control\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2 % al 100 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTiempo de estabilización de arranque rápido\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1,0 segundo, según SEMI E17-91\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRampa de arranque suave\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eLineal, 20 % por segundo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eLas especificaciones de arranque rápido y arranque suave describen comportamientos de funcionamiento distintos. El arranque rápido permite la estabilización tras un cambio de consigna. El arranque suave aplica una rampa lineal controlada al 20 % por segundo. Seleccione el comportamiento de arranque adecuado según la secuencia del proceso y los requisitos del equipo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Rango de presión y condiciones de entrega de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa plataforma 1660 admite condiciones exigentes de suministro de gas. Sus límites de presión nominal deben considerarse por separado durante el diseño del sistema.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión máxima de funcionamiento:\u003c\/strong\u003e 3500 kPa (500 psi)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión de prueba:\u003c\/strong\u003e 10500 kPa (1500 psi)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión diferencial:\u003c\/strong\u003e 6,65–350 kPa (50 torr–50 psid)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCoeficiente de presión:\u003c\/strong\u003e 0,007 % de la lectura por psi, N2\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eLa presión máxima de funcionamiento define el límite de operación indicado. La presión de prueba es una clasificación de resistencia a la presión independiente y no debe considerarse como una condición de funcionamiento normal. La presión diferencial también debe mantenerse dentro del rango especificado para garantizar el rendimiento de flujo requerido.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Trayectoria de flujo de alta pureza: sellos metálicos y acabado superficial\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl UFC-1660 utiliza un conjunto en contacto con el gas con sellos metálicos, diseñado para aplicaciones de gas de alta pureza. Su acabado superficial interno estándar es \u003cstrong\u003eRa de 16 micro-pulgadas\u003c\/strong\u003e, con una \u003cstrong\u003eopción de Ra de 10 micro-pulgadas\u003c\/strong\u003e especificada para aplicaciones que requieren un acabado más fino.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDetalle de construcción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales en contacto con el gas\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable 316L, K-M43, acero inoxidable 304 y 7Mo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado superficial estándar\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRa de 16 micro-pulgadas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado superficial opcional\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRa de 10 micro-pulgadas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de sello\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSello metálico, sello en C o sello en W\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMaterial del asiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eKel-F o asiento metálico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eIntegridad de estanqueidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 × 10\u003csup\u003e-10\u003c\/sup\u003e atm-cc\/seg He, según SEMI E16-90\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eLa configuración con sellos metálicos es adecuada para aplicaciones en las que se prefiere una estanqueidad sin elastómeros. Sin embargo, debe confirmarse la configuración exacta del sello y el asiento con la unidad adquirida. No asuma que todos los UFC-1660 utilizan la misma combinación.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Válvula Unit 132: control electromagnético proporcional\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cnl--\u003e\u003cp\u003eEl UFC-1660 utiliza la \u003cstrong\u003eválvula electromagnética proporcional Unit 132\u003c\/strong\u003e para regular el flujo. La plataforma también ofrece configuraciones de solenoide normalmente cerradas o normalmente abiertas.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePlataforma de válvula:\u003c\/strong\u003e Válvula electromagnética proporcional Unit 132\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eOpciones de accionamiento de la válvula:\u003c\/strong\u003e Normalmente cerrada o normalmente abierta\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFunción de control:\u003c\/strong\u003e Regulación proporcional del flujo de gas\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003cp\u003eEl accionamiento de la válvula determina el estado predeterminado de la trayectoria del gas cuando la válvula no está energizada. Los ingenieros deben verificar la configuración requerida en relación con la secuencia de parada del equipo y la estrategia de aislamiento de gas. Confirme la opción de válvula instalada antes de la puesta en servicio o sustitución.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Interfaz analógica y requisitos eléctricos\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003eEsta configuración del UFC-1660 es el modelo analógico básico de la familia 1660. Utiliza señales de voltaje para la entrada de consigna y el monitoreo del flujo en lugar de depender de una interfaz de comunicación digital nativa.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEntrada de consigna:\u003c\/strong\u003e 0–5 VCC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSalida de monitoreo:\u003c\/strong\u003e 0–5 VCC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eOpciones de conector:\u003c\/strong\u003e Borde de tarjeta de 20 pines o D-sub de 9\/15 pines\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFuente de alimentación:\u003c\/strong\u003e +15 VCC, 100 mA máximo\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAlimentación negativa:\u003c\/strong\u003e -15 VCC, 200 mA máximo\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConsumo máximo de energía:\u003c\/strong\u003e 4,5 W\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAutoajuste de cero:\u003c\/strong\u003e Opcional en configuraciones analógicas\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003cp\u003eAntes de la instalación, identifique el tipo de conector y verifique la asignación de pines en el lado del equipo. Confirme la escala de la señal, la polaridad de la alimentación y la capacidad de corriente disponible. También debe comprobarse la disponibilidad del autoajuste de cero en relación con la configuración específica. No debe asumirse que este modelo analógico básico incluya la función de autoajuste de cero estándar de los modelos digitales.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Comportamiento térmico y estabilidad a largo plazo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003eEl UFC-1660 estándar es un modelo sin calefacción. Su rango de temperatura de funcionamiento especificado es de 0 a 50 °C. Las variaciones de temperatura y presión pueden afectar el flujo medido, por lo que las condiciones del sistema deben mantenerse controladas durante el funcionamiento del proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eParámetro\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–50 °C (32–122 °F)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConfiguración calefactada\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eNo; versión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEstabilidad del cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤0,6 % de la escala completa al año, sin autoajuste de cero\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,05 % de la escala completa\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del rango\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,1 % de la escala completa\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\n\u003cp\u003ePara aplicaciones con temperatura ambiente variable, considere los coeficientes de cero y de rango indicados al evaluar la estabilidad de la medición. Cuando la unidad analógica no incluya autoajuste de cero, incorpore la verificación del cero al plan de mantenimiento del equipo.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Dimensiones mecánicas y planificación de la instalación\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDimensiones aproximadas (Al. × An. × Pr.):\u003c\/strong\u003e 137 × 127 × 38 mm\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEspacio ocupado:\u003c\/strong\u003e 1,5 pulgadas\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eLongitud total de 1\/4 VCR:\u003c\/strong\u003e 124 mm\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePeso:\u003c\/strong\u003e 1,2 kg (2,65 lb)\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cnl--\u003e\u003cp\u003eConsulte el plano mecánico aplicable antes de preparar la placa de montaje o las conexiones de las líneas de gas. Las dimensiones indicadas son aproximadas. Confirme el espacio libre del conector, la orientación de los puertos y la longitud total instalada con la configuración real de la unidad.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Lista de verificación de puesta en servicio para ingenieros de equipos\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eIdentifique el gas:\u003c\/strong\u003e Confirme el gas de proceso y su compatibilidad con los materiales en contacto y la configuración de los sellos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique la calibración:\u003c\/strong\u003e La calibración suministrada se basa en nitrógeno. Confirme si el proceso requiere una calibración con un gas aplicable.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAjuste el rango de flujo:\u003c\/strong\u003e Compare la consigna de funcionamiento requerida con el rango de escala completa seleccionado y el rango de control del 2 % al 100 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompruebe las condiciones de presión:\u003c\/strong\u003e Verifique la presión de suministro y la presión diferencial antes de habilitar el flujo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme la opción de válvula:\u003c\/strong\u003e Compare el comportamiento normalmente abierto o normalmente cerrado con la secuencia de funcionamiento del equipo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInspeccione la interfaz:\u003c\/strong\u003e Haga coincidir el conector de borde de tarjeta o D-sub, las señales de 0–5 VCC y los requisitos de alimentación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eValide la respuesta:\u003c\/strong\u003e Pruebe el comportamiento de estabilización de arranque rápido y de rampa de arranque suave en el sistema real de entrega de gas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRegistre los valores de referencia:\u003c\/strong\u003e Documente la salida de cero, la respuesta a la consigna y la presión de funcionamiento para futuras comparaciones de mantenimiento.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Referencias de cumplimiento y calibración\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003eLas especificaciones del UFC-1660 hacen referencia a las siguientes normas y certificaciones:\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCE:\u003c\/strong\u003e Certificado CE\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E12:\u003c\/strong\u003e Norma de cumplimiento de referencia\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E16-90:\u003c\/strong\u003e Referencia de integridad de estanqueidad\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E17-91:\u003c\/strong\u003e Referencia del tiempo de estabilización de arranque rápido\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E27-92:\u003c\/strong\u003e Referencia de linealidad\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E56-96:\u003c\/strong\u003e Referencia de repetibilidad\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCalibración:\u003c\/strong\u003e Calibración trazable al NIST\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003cp\u003eConfirme la documentación aplicable y los registros de cumplimiento específicos de la configuración al calificar el controlador para una herramienta de producción.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | Preguntas frecuentes para ingenieros\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Puede el UFC-1660 sustituir a un controlador de flujo másico que utiliza un bus de comunicación digital?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eNo como sustituto eléctrico directo. Este modelo analógico básico utiliza señales de consigna y monitoreo de 0–5 VCC. Un proyecto de sustitución debe verificar la interfaz de señales del controlador anfitrión, el cableado del conector, la escala y la lógica de control. Si el sistema existente depende de la comunicación digital, compruebe si el equipo admite una interfaz analógica antes de seleccionar este modelo.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué debe considerarse al elegir una construcción con sello en C frente a una con sello en W?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eLa selección depende de la conexión de gas especificada, la disposición de los sellos y la interfaz del equipo. Confirme la geometría de sello requerida y el hardware de acoplamiento compatible en el plano de la unidad o en la especificación de adquisición. No seleccione un sello únicamente por su nombre ni asuma que las dos configuraciones son intercambiables.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Cómo deben evaluar los ingenieros la opción de acabado superficial Ra de 10 micro-pulgadas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eComience con la especificación de limpieza del proceso y los requisitos del sistema de distribución de gas. El acabado estándar es Ra de 16 micro-pulgadas, mientras que Ra de 10 micro-pulgadas es una configuración opcional. Confirme que la unidad adquirida incluya el acabado requerido y la documentación de respaldo si la calificación del proceso lo especifica.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Qué puede causar que una lectura de flujo cambie después de que se haya revisado un panel de gas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eLos elementos comunes a investigar incluyen cambios en la presión de suministro, gas atrapado, contaminación de las conexiones, restricciones alteradas en las líneas y conexiones eléctricas dañadas. Primero, estabilice el suministro de gas y compare la presión diferencial real con el requisito de funcionamiento. Luego, verifique la salida de cero y la señal de comando antes de cambiar los ajustes de calibración.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Cómo debe considerarse la función de arranque suave al secuenciar varias líneas de gas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eLa rampa de arranque suave especificada es lineal al 20 % por segundo. Cuando varias líneas de gas arrancan juntas, considere cómo sus perfiles de rampa individuales afectan la presión de la cámara y la temporización del proceso. Valide la secuencia a nivel del equipo, especialmente cuando el orden de introducción de gas o los transitorios de presión influyen en la receta del proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eResumen de selección del producto UFC-1660\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eUNIT Instruments UFC-1660\u003c\/strong\u003e es un controlador analógico de flujo másico de alta pureza construido en torno a la plataforma de sellos metálicos de la serie 1660 y la válvula electromagnética proporcional Unit 132. Ofrece rangos equivalentes a N2 de 3 sccm a 30 slm, control de 0–5 VCC y un amplio rango de presión de funcionamiento. Su configuración se evalúa mejor haciendo coincidir la compatibilidad del gas, el tipo de sello, el accionamiento de la válvula, el conector y los requisitos de calibración con el equipo de proceso existente.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eContáctenos para consultar la disponibilidad del UFC-1660, confirmar la configuración y solicitar una cotización.\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/nl--\u003e\u003c\/nl--\u003e","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027821490358,"sku":"UFC-1660","price":196.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-1660.jpg?v=1794283183"},{"product_id":"ufc-8100-unit-instruments-analog-mass-flow-controller-8100-series","title":"UFC-8100 UNIT Instruments Controlador de flujo másico analógico serie 8100","description":"\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003eUFC-8100 | Controlador analógico de flujo másico de alto caudal UNIT Instruments\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #0070C0;\"\u003eUNIT Instruments UFC-8100\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e es un controlador analógico de flujo másico con sellos de elastómero diseñado para aplicaciones de gases de proceso de alto caudal. Pertenece a la serie 8100 y admite rangos de flujo equivalentes a nitrógeno de 3 sccm a 30 slm.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eEl controlador combina una válvula de control electromagnética proporcional, medición de flujo de precisión e interfaz analógica de 0–5 VCC. Su diseño admite gases semiconductores no corrosivos y sistemas generales de suministro de gas industrial.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eCon una presión máxima de funcionamiento de 3.500 kPa (500 psi), el UFC-8100 satisface aplicaciones que requieren una capacidad de presión superior a la de muchas configuraciones convencionales de MFC analógico. Su respuesta de arranque rápido, su rango de control de bajo caudal y su construcción con sellos de elastómero también lo convierten en un candidato para proyectos de sustitución de MFC analógicos seleccionados.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003ePERFIL DE INGENIERÍA | Especificaciones clave\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eValor\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eFabricante\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eUNIT Instruments\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eUFC-8100\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eSerie de producto\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eSerie 8100\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eControlador analógico de flujo másico de alto caudal\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eDiseño de sellado\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eSello de elastómero\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eRango de flujo a escala completa\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e3 sccm a 30 slm, equivalente a N2\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003ePrecisión analógica\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e±1% FS; ±0,35% FS por debajo del 35% FS\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eRepetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e±0,15% FS, según SEMI E56-96\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eLinealidad\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e±0,5% FS, según SEMI E27-92\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eRango de control\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e2–100% FS\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eRespuesta de arranque rápido\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e≤1,0 segundo, según SEMI E17-91\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eFunción de arranque suave\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eRampa lineal al 20% por segundo; 0–100% en 5 segundos\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eEstabilidad del cero\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e≤0,6% FS al año sin auto-cero\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–50°C (32–122°F)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eConfiguración de calefacción\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eVersión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eMTBF\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e536.000 horas, según se especifica\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eCertificación\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eCertificado CE; cumplimiento SEMI especificado\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e01 \/ RENDIMIENTO DEL CONTROL DE FLUJO\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl UFC-8100 proporciona un rango de control del 2 al 100% FS. Esto permite al controlador regular el flujo desde puntos de funcionamiento bajos hasta su rango nominal de escala completa.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRespuesta rápida:\u003c\/strong\u003e La respuesta de arranque rápido especificada es de no más de 1,0 segundo según el método de prueba SEMI de referencia.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRampa controlada:\u003c\/strong\u003e El arranque suave aumenta el punto de consigna al 20% FS por segundo, alcanzando el 100% en cinco segundos.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConsistencia de la medición:\u003c\/strong\u003e La repetibilidad se especifica en ±0,15% FS.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión del flujo:\u003c\/strong\u003e El modelo analógico especifica ±1% FS en general y ±0,35% FS por debajo del 35% FS.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstabilidad a largo plazo:\u003c\/strong\u003e La estabilidad del cero se especifica en ≤0,6% FS al año sin auto-cero.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eInterpretación de ingeniería:\u003c\/strong\u003e La precisión, la repetibilidad y la linealidad describen diferentes características de rendimiento. No deben tratarse como valores intercambiables al evaluar la tolerancia del proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e02 \/ DISEÑO DE PRESIÓN Y CAMINO DE GAS\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eParámetro\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003ePresión máxima de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e3.500 kPa (500 psi)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003ePresión de prueba\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e10.500 kPa (1.500 psi)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003ePresión diferencial\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e6,65–350 kPa (50 torr–50 psid)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eMateriales en contacto\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eAcero inoxidable 316L, K-M45, acero inoxidable 304 y 7Mo+\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eAcabado superficial\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e32 micro-pulgadas Ra\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eSellos de elastómero\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eJuntas tóricas de Viton o Neopreno\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eOpciones de asiento de válvula\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eAsiento de Kel-F o metálico\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eIntegridad de fuga de helio\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e1 × 10⁻⁹ atm·cc\/seg, según SEMI E16-90\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eLa construcción en contacto con el gas combina componentes de acero inoxidable con elementos de sellado de elastómero. El acabado superficial especificado admite los requisitos del camino de gas de proceso, mientras que el sello y el asiento de válvula seleccionados determinan la compatibilidad de la aplicación.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eLa clasificación de presión de prueba es un valor de calificación de presión, no un objetivo de funcionamiento normal. No opere el controlador continuamente a presión de prueba.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e03 \/ INTERFAZ ANALÓGICA Y OPERACIÓN DE VÁLVULA\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa configuración estándar del UFC-8100 utiliza una interfaz eléctrica analógica. Se conecta al equipo host a través de un conector de borde de tarjeta de 20 pines.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eElemento eléctrico\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eEspecificación\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eSeñal de punto de consigna\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eSeñal de monitoreo\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–5 VCC\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eConector\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eConector de borde de tarjeta de 20 pines\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eAlimentación positiva\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e+15 VCC, 100 mA máximo\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eAlimentación negativa\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e−15 VCC, 200 mA máximo\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eConsumo máximo de energía\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e4,5 W\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eVálvula de control\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eVálvula electromagnética proporcional UNIT 132\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eConfiguración de la válvula\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eNormalmente cerrada o normalmente abierta, según la configuración\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eLa válvula electromagnética proporcional regula el flujo de gas en respuesta a la señal de control analógica. La configuración de válvula seleccionada determina su comportamiento cuando se retira la alimentación eléctrica.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eAntes de conectar el controlador, verifique la asignación del conector de 20 pines, el común de la señal, la polaridad de la alimentación y la escala de entrada\/salida del equipo host. No asuma compatibilidad de pines con el MFC analógico de otro fabricante.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e04 \/ SENSIBILIDAD A LA TEMPERATURA Y LA PRESIÓN\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eCaracterística\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eValor especificado\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del cero\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0,05% FS\/°C\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura del rango\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0,1% FS\/°C\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eCoeficiente de presión\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0,007% de la lectura por psi, N2\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–50°C\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eLos cambios de temperatura pueden afectar el rendimiento del cero y del rango. Los cambios de presión también pueden influir en el flujo indicado. Para procesos críticos, mantenga condiciones de funcionamiento estables y evalúe el rendimiento de calibración bajo presión y temperatura de proceso representativas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e05 \/ CONFIGURACIÓN MECÁNICA\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eParámetro mecánico\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eValor\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eDimensiones aproximadas (Al. × An. × Pr.)\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e137 × 127 × 38 mm\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eEspacio ocupado\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eAproximadamente 1,5 pulgadas\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eLongitud total 1\/4 VCR\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e124 mm\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003ePeso\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e1,2 kg (2,65 lb)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eCalefacción estándar\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eSin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eVerifique el dibujo dimensional real antes de la instalación. Las dimensiones totales indicadas y la longitud 1\/4 VCR se refieren a referencias dimensionales diferentes y no deben sustituirse por un dibujo de puerto a puerto.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e06 \/ APLICACIONES DE PROCESO\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eLa serie 8100 está diseñada para el control de gases de proceso no corrosivos. Las aplicaciones típicas incluyen:\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSuministro de gas para semiconductores:\u003c\/strong\u003e Nitrógeno, argón, helio, oxígeno, hidrógeno y otros gases de proceso compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEquipos de deposición:\u003c\/strong\u003e Control de suministro de gas para procesos CVD y PVD seleccionados.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSistemas de grabado:\u003c\/strong\u003e Regulación de flujo para gases de proceso no corrosivos compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eControl general de gases de proceso:\u003c\/strong\u003e Regulación de flujo analógica en sistemas de gas industrial.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eActualizaciones de equipos:\u003c\/strong\u003e Sustitución de controladores analógicos de flujo másico con sellos de elastómero seleccionados.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eLa compatibilidad del gas debe verificarse con los materiales en contacto reales, el compuesto del sello, el asiento de válvula y los requisitos de pureza del gas. La lista general de gases no establece una compatibilidad universal con cada configuración.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e07 \/ PUNTOS DE COMPROBACIÓN DE INGENIERÍA DE SUSTITUCIÓN\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eEl fabricante describe el UFC-8100 como un candidato de sustitución directa para MFC de elastómero. Sin embargo, una sustitución confiable requiere más que igualar el rango de flujo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003col\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCalibración de flujo:\u003c\/strong\u003e Confirme el rango completo equivalente a nitrógeno y el gas de calibración utilizado por el controlador existente.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInterfaz mecánica:\u003c\/strong\u003e Compare el tipo de conexión, la orientación del puerto, el espacio ocupado y la longitud total.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión eléctrica:\u003c\/strong\u003e Verifique el conector de borde de tarjeta de 20 pines y cada asignación de pin relevante.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEscala de señal:\u003c\/strong\u003e Confirme la compatibilidad del punto de consigna de 0–5 VCC y el monitoreo con el controlador del equipo.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCondiciones de presión:\u003c\/strong\u003e Verifique la presión de funcionamiento y la presión diferencial disponible al flujo de proceso real.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMateriales del camino de gas:\u003c\/strong\u003e Confirme que el elastómero, el asiento de válvula y los materiales metálicos sean adecuados para el gas de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePosición de falla de la válvula:\u003c\/strong\u003e Seleccione la configuración normalmente abierta o normalmente cerrada correcta para la estrategia de parada del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003cp\u003ePara proyectos de sustitución, obtenga el número de modelo del MFC existente, el tipo de gas, el rango de escala completa, la información del conector y los detalles de la conexión. Estos detalles ayudan a determinar si la sustitución propuesta es eléctricamente y mecánicamente compatible.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e08 \/ GUÍA DE INSTALACIÓN Y MANTENIMIENTO\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003eInstale el controlador en una línea de gas limpia con filtración aguas arriba adecuada.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eUtilice conexiones compatibles y siga el procedimiento de ensamblaje del fabricante de conexión especificado.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eEvite aplicar tensión mecánica al cuerpo o a las conexiones de gas durante la instalación.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eConfirme que la presión de proceso se mantenga dentro de los límites de funcionamiento.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eVerifique ambos rieles de alimentación de CC antes de aplicar el comando analógico.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003ePermita que el equipo se estabilice antes de comprobar el rendimiento del cero y del flujo.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eInvestigue la deriva del cero, la salida inestable y la respuesta lenta antes de reemplazar la unidad.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eLas comprobaciones de diagnóstico comunes incluyen la presión de suministro de gas, las restricciones de línea, la integridad del conector, la estabilidad de la alimentación, la escala de señal analógica y la calibración del gas. Para una desviación persistente, compare el flujo medido con un instrumento de referencia calibrado bajo condiciones controladas.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e09 \/ CUMPLIMIENTO Y CALIBRACIÓN\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCE:\u003c\/strong\u003e Certificado CE, según la información de producto suministrada.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E12:\u003c\/strong\u003e Cumplimiento especificado.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E16-90:\u003c\/strong\u003e Referenciado para la integridad de fuga de helio.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E17-91:\u003c\/strong\u003e Referenciado para la respuesta de arranque rápido.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E27-92:\u003c\/strong\u003e Referenciado para la linealidad.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E56-96:\u003c\/strong\u003e Referenciado para la repetibilidad.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCalibración:\u003c\/strong\u003e Calibración con trazabilidad NIST.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eLas referencias SEMI identifican la base de rendimiento o cumplimiento indicada. Confirme la revisión aplicable, el informe de prueba y los documentos de certificación cuando las especificaciones del proyecto requieran evidencia formal.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e10 \/ INFORMACIÓN DE SUMINISTRO Y COMERCIAL\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eArtículo de suministro\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eDetalles\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eProducto\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eUNIT Instruments UFC-8100\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eEstado del producto\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eNuevo y original en empaque de fábrica\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eGarantía\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eGarantía de fábrica: 12 meses\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eEnvío\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eFedEx, UPS, DHL\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eConfirmación técnica\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eVerificación de modelo y configuración disponible bajo consulta\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eContacte a Global PLC Spare HUB para precios, disponibilidad de stock y confirmación de configuración. Proporcione el rango de flujo requerido, el gas de proceso, el tipo de conexión y la acción de válvula al solicitar una cotización.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003eGLOBAL PLC SPARE HUB | NOTAS DE INGENIERÍA DE APLICACIÓN\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eUn problema de selección importante es la diferencia entre la precisión a escala completa y la precisión en el rango bajo. La precisión analógica indicada es ±1% FS, mientras que la especificación también enumera ±0,35% FS por debajo del 35% FS. Los ingenieros deben confirmar la base de medición exacta del fabricante y las condiciones de funcionamiento antes de usar la cifra más estricta en un cálculo de tolerancia de proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003ePara un modelo de escala completa de 30 slm, ±1% FS corresponde a ±0,3 slm. El límite inferior de control del 2% FS corresponde a 0,6 slm. Estos valores ayudan a determinar si el rango seleccionado puede satisfacer tanto los requisitos mínimos como máximos de flujo del proceso.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eLa clasificación de alta presión también requiere una interpretación cuidadosa. La presión máxima de funcionamiento de 500 psi no elimina la necesidad de una presión diferencial adecuada a través del controlador. Un sistema puede tener una presión de entrada alta y aun así no proporcionar la presión diferencial requerida para el flujo solicitado.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eFinalmente, la cifra de MTBF de 536.000 horas debe tratarse como un valor de confiabilidad especificado, no como una vida útil garantizada. La vida útil real depende de la limpieza del gas, los ciclos de presión, el ciclo de trabajo de la válvula, la temperatura y las condiciones de mantenimiento.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003ePREGUNTAS FRECUENTES\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1. ¿Cuál es la diferencia práctica entre arranque rápido y arranque suave?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl arranque rápido prioriza alcanzar un nuevo objetivo de flujo rápidamente. El arranque suave limita deliberadamente la tasa de aumento para reducir los cambios bruscos en el suministro de gas. Seleccione el modo según los requisitos del proceso de la cámara, la sensibilidad de presión aguas abajo y la secuencia del equipo.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2. ¿Significa la clasificación de presión de 500 psi que el controlador puede suministrar su flujo nominal completo a 500 psi?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eNo. La presión máxima de funcionamiento y la presión diferencial disponible son condiciones separadas. La capacidad de flujo real depende de la caída de presión a través del controlador, las propiedades del gas y la configuración de escala completa seleccionada. Verifique la curva de presión de funcionamiento para el gas y el flujo previstos.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3. ¿Cómo debo evaluar la especificación de repetibilidad de 0,15% FS?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa repetibilidad describe con qué consistencia la unidad regresa al mismo flujo bajo condiciones comparables. No significa que la lectura absoluta de flujo sea precisa al 0,15%. Para la validación del proceso, evalúe la repetibilidad junto con la precisión, la linealidad y la incertidumbre de calibración.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4. ¿Qué información se necesita para confirmar una sustitución analógica de un MFC existente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eProporcione el modelo existente, el tipo de gas, el flujo a escala completa, el rango de señal analógica, el diagrama de pines del conector, la configuración de la conexión, el voltaje de alimentación y la posición de falla de la válvula. Un dibujo dimensional y un diagrama de cableado del equipo son especialmente útiles cuando la sustitución debe encajar en un panel de gas existente.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5. ¿Cuándo debo solicitar una nueva calibración o comprobación de rendimiento?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eConsidere la verificación después de un almacenamiento prolongado, contaminación de la línea de gas, cambios importantes de presión, deriva del cero inexplicable o desviaciones repetidas del flujo del proceso. Para procesos semiconductores críticos, siga el programa de mantenimiento del equipo y los criterios de aceptación en lugar de depender únicamente de la especificación anual de estabilidad del cero.\u003c\/p\u003e\n","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027823587510,"sku":"UFC-8100","price":103.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-8100.jpg?v=1794283299"},{"product_id":"ufc-7300-unit-instruments-7300-series-analog-mass-flow-controller","title":"UFC-7300 UNIT Instruments Controlador de flujo másico analógico Serie 7300","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eUFC-7300 | UNIT Instruments | Controlador analógico de flujo másico serie 7300\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eUNIT Instruments UFC-7300\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e es un controlador analógico de flujo másico para la entrega precisa de gas en equipos industriales y de semiconductores. Su arquitectura de la serie 7300 combina el control proporcional de válvulas electromagnéticas, componentes de acero inoxidable en contacto con el gas y configuraciones eléctricas flexibles.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eA diferencia de los controladores de alta temperatura con sellado totalmente metálico, esta configuración utiliza una junta tórica de elastómero Viton y un asiento de válvula Kel-F. Este diseño es adecuado para gases de proceso no corrosivos compatibles en los que el sellado convencional de elastómero proporciona una solución práctica.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl UFC-7300 admite rangos de flujo de extremo a extremo de 5 sccm a 30 slm, basados en la equivalencia de nitrógeno. Su interfaz analógica ofrece control por tensión o corriente, mientras que las configuraciones de alimentación seleccionables admiten diferentes arquitecturas de equipos.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Identidad de la arquitectura y configuración del producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eFabricante\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUNIT Instruments\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eModelo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eUFC-7300\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSerie del producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie 7300\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTipo de producto\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControlador analógico de flujo másico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTecnología de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eControl electromagnético proporcional\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConjunto de válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVálvula Unit 132\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEstado de la válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSolenoide normalmente cerrado\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración del sellado\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eJunta tórica de elastómero Viton y asiento Kel-F\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConfiguración de calefacción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVersión estándar sin calefacción\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Capacidad de flujo y rendimiento de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa familia cubre un amplio rango de flujo para diferentes requisitos de entrega de gas. El valor real de extremo a extremo depende de la configuración solicitada y del gas calibrado.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRango de extremo a extremo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5 sccm a 30 slm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eGas de referencia\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEquivalente a N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePrecisión analógica del UFC-7300\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1 % FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRepetibilidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,15 % FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eLinealidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,15 % FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRelación de reducción\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50:1\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRango de control\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100 % FS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eRespuesta de arranque rápido\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMenos de 1 segundo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEstabilidad del cero\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMenos del 0,60 % FS al año sin autoajuste a cero\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eDistinción importante del modelo:\u003c\/strong\u003e La especificación de precisión de ±1 % FS se aplica al UFC-7300 analógico. Los modelos digitales UFC-7301\/7304 tienen diferentes especificaciones de precisión. No transfiera los datos de rendimiento de los modelos digitales a esta unidad analógica.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa respuesta de arranque rápido indicada describe la característica de respuesta inicial. Los perfiles de rampa lineal disponibles proporcionan un control adicional sobre las transiciones de flujo. Confirme el comportamiento de rampa requerido con la configuración real del controlador.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Compensación ambiental y estabilidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa temperatura del proceso y la presión de entrada pueden influir en la medición del flujo másico. Los siguientes coeficientes ayudan a los ingenieros a evaluar la variación esperada de la medición.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCoeficiente de temperatura del cero\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,05 % FS\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCoeficiente de temperatura del rango\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0,1 % FS\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCoeficiente de presión\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0,007 % de la lectura\/psi\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–50 °C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003ePara aplicaciones con condiciones ambientales variables, incluya los efectos de temperatura del cero y del rango en el presupuesto de error de medición. La variación de presión también requiere atención, especialmente cuando el regulador de suministro de gas no puede mantener una condición de entrada estable.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Materiales de la trayectoria del gas y estrategia de sellado\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMaterial principal en contacto con el gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable 316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMaterial del resorte\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable 304\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAcabado superficial\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e32 micro-pulgadas Ra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eSello de elastómero\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eJunta tórica Viton\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAsiento de válvula\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eKel-F\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTasa de fuga de helio\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 × 10⁻⁹ atm·cc\/seg\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eLa combinación de materiales admite gases de proceso de propósito general compatibles. Sin embargo, los ingenieros deben evaluar la trayectoria completa en contacto con el gas en lugar de basarse únicamente en la especificación del cuerpo de acero inoxidable.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eViton:\u003c\/strong\u003e Compruebe la compatibilidad con el gas real, la concentración y la temperatura de funcionamiento.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAsiento Kel-F:\u003c\/strong\u003e Verifique la compatibilidad química y los requisitos de limpieza del proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAcero inoxidable 316L:\u003c\/strong\u003e Confirme la idoneidad para la química del gas y las condiciones de humedad.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAcabado superficial:\u003c\/strong\u003e Considere las 32 micro-pulgadas Ra especificadas al evaluar los requisitos de limpieza del gas.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eEsta configuración con sellado de elastómero no debe sustituir automáticamente a un controlador con sellado totalmente metálico en servicios altamente corrosivos o sensibles a la contaminación.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Envolvente de presión y condiciones de suministro de gas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePresión máxima de entrada\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e500 psig\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePresión de prueba\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.500 psig\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePresión diferencial del controlador\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e7–40 psid\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePresión diferencial del medidor\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMenos de 4 torr (0,08 psid)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eLos requisitos de presión difieren entre las configuraciones del controlador y del medidor. Mantenga la presión diferencial especificada para el dispositivo instalado. Nunca considere la presión de prueba como una presión de funcionamiento normal.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Interfaz analógica y selección de alimentación\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl UFC-7300 admite múltiples configuraciones eléctricas. Confirme la señal de control requerida, la disposición de suministro y el conector antes de solicitar un reemplazo.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eOpciones de señal analógica\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VCC o 4–20 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAlimentación de doble carril\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAlimentación de un solo extremo\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e11–33 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eConector\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eBorde de tarjeta de 20 pines\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePotencia del controlador\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4,5 W máximo a ±15 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePotencia alternativa del controlador\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4,8 W máximo a 11–33 VCC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePotencia del medidor\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,5–2 W\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eNo asuma que cada unidad UFC-7300 admite todas las combinaciones de señal y alimentación. Confirme la placa de identificación, la asignación de pines del conector y la configuración del equipo original antes de realizar el cableado.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Dimensiones mecánicas e integración del equipo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAltura\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e137,2 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eAncho\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e101,6 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eProfundidad\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e37,6 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eReferencia de huella\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHuella de 1,5 pulgadas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003ePeso\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,2 kg (2,65 lb), especificación a nivel de familia\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eUtilice el dibujo de contorno del fabricante para confirmar las dimensiones de montaje y la orientación de conexión. Compruebe la unidad real antes de modificar un panel de gas existente.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Aplicaciones típicas de equipos y procesos\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEntrega de gas para semiconductores:\u003c\/strong\u003e Controla gases de proceso compatibles en equipos de fabricación de semiconductores.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCVD y PVD:\u003c\/strong\u003e Admite la entrega controlada de gas en sistemas de deposición.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSistemas de vacío:\u003c\/strong\u003e Proporciona regulación de flujo para disposiciones de suministro de gas compatibles.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eFibra óptica:\u003c\/strong\u003e Admite la entrega de gas en equipos de fabricación de fibra.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEquipos médicos:\u003c\/strong\u003e Sirve para aplicaciones compatibles de control de gas con una verificación de materiales adecuada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSistemas de combustión:\u003c\/strong\u003e Regula el flujo de gas en equipos de proceso y combustión.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePruebas de fuga y purga:\u003c\/strong\u003e Admite el suministro controlado de gas durante las secuencias de prueba y purga.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Fiabilidad y cumplimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eMTBF del modelo analógico\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMás de 730.000 horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eReferencia de MTBF de la familia digital\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,5 millones de horas\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDiseño EMC\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eElectrónica blindada contra EMI\/RFI\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eCumplimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCertificación CE\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eTrazabilidad de calibración\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eTrazable al NIST\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eLas cifras de MTBF representan diferentes configuraciones de la familia. La cifra de la familia digital no describe el UFC-7300 analógico en sí. Confirme la documentación de fiabilidad aplicable para el modelo específico.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Ingeniería de campo: Comprobaciones de instalación y mantenimiento\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfirme la compatibilidad del gas.\u003c\/strong\u003e Compruebe la compatibilidad del Viton, Kel-F y acero inoxidable con el gas de proceso.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique el rango calibrado.\u003c\/strong\u003e Haga coincidir el valor de extremo a extremo del controlador con la receta del equipo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCompruebe la caída de presión.\u003c\/strong\u003e Mantenga la presión diferencial especificada a través del dispositivo instalado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eIdentifique la versión eléctrica.\u003c\/strong\u003e Confirme el funcionamiento de 0–5 VCC o 4–20 mA antes de realizar el cableado.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eVerifique la tensión de alimentación.\u003c\/strong\u003e Identifique la configuración de alimentación de doble carril o de un solo extremo.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eInspeccione la válvula normalmente cerrada.\u003c\/strong\u003e Confirme el comportamiento de aislamiento de gas previsto durante la pérdida de alimentación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEvalúe la deriva del cero.\u003c\/strong\u003e Registre la salida cero bajo condiciones de prueba consistentes durante el mantenimiento programado.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003ePara un flujo inestable, investigue la presión de entrada, la selección de gas, la escala eléctrica y el comportamiento de la válvula antes de cambiar la calibración del controlador. Esta secuencia ayuda a aislar las fallas a nivel de sistema de los problemas relacionados con el instrumento.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | Preguntas frecuentes\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Cómo pueden los ingenieros distinguir un problema del controlador de un problema del regulador aguas arriba?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eMonitoree la presión de entrada mientras el controlador cambia su punto de consigna. Si la presión de entrada fluctúa con la demanda, investigue la capacidad del regulador, las restricciones de suministro y el dimensionamiento de la línea aguas arriba. Si la presión de entrada permanece estable, continúe comprobando la señal de control, la respuesta de la válvula y la configuración del gas calibrado.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Por qué un controlador podría mostrar una salida cero aceptable pero una precisión de flujo deficiente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa estabilidad del cero y la precisión del rango describen diferentes características de rendimiento. Una unidad puede mantener un cero estable mientras su medición de flujo se desvía bajo condiciones de funcionamiento. Compruebe el gas de referencia, la caída de presión, el rango de calibración y los efectos de temperatura antes de diagnosticar una falla del sensor.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Qué debe considerarse al reemplazar una marca de MFC diferente con este modelo?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eCompare el rango de extremo a extremo, la calibración del gas, la caída de presión, la escala analógica, la asignación de pines del conector, el estado de la válvula y los materiales en contacto con el gas. El ajuste mecánico por sí solo no establece la intercambiabilidad. Confirme que el controlador anfitrión pueda suministrar la potencia eléctrica requerida e interpretar el tipo de señal seleccionado.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Puede el UFC-7300 manejar gases que requieren líneas de entrega calefactadas?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa configuración suministrada describe una versión estándar sin calefacción. Para los gases que se condensan cerca de la temperatura ambiente, evalúe los requisitos térmicos completos antes de seleccionar este modelo. Una línea de gas calefactada no puede compensar una trayectoria de flujo interna sin calefacción cuando el gas requiere un control de temperatura continuo.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Cuándo deben los equipos de mantenimiento investigar la degradación del sello de elastómero?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eInvestigue el estado del sello cuando aparezca una fuga, un cero inestable, contaminación o un comportamiento de gas inesperado. Revise el historial de exposición al gas y la temperatura de funcionamiento. No seleccione elastómeros de reemplazo únicamente por el tamaño físico; confirme el material especificado y el diseño de sellado.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e12 | Información de pedido y verificación de configuración\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eUNIT Instruments UFC-7300\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e es un controlador analógico de flujo másico para sistemas de gas industriales y de semiconductores compatibles. Sus opciones eléctricas flexibles y su trayectoria de gas con sellado de elastómero admiten un amplio rango de configuraciones de equipos.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMarca:\u003c\/strong\u003e UNIT Instruments\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eModelo:\u003c\/strong\u003e UFC-7300\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSerie:\u003c\/strong\u003e Serie 7300\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTipo de producto:\u003c\/strong\u003e Controlador analógico de flujo másico\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de flujo:\u003c\/strong\u003e 5 sccm a 30 slm, equivalente a N2\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSeñal de control:\u003c\/strong\u003e 0–5 VCC o 4–20 mA\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eOpciones de alimentación:\u003c\/strong\u003e ±15 VCC o 11–33 VCC, sujeto a configuración\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTipo de sello:\u003c\/strong\u003e Junta tórica Viton y asiento Kel-F\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eAl solicitar una cotización, proporcione el número de modelo completo, el rango de flujo de extremo a extremo, el tipo de gas, el formato de señal, la tensión de alimentación y los detalles del conector. Estas especificaciones ayudan a verificar la compatibilidad con su sistema de entrega de gas existente.\u003c\/p\u003e","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027991720118,"sku":"UFC-7300","price":196.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-7300.jpg?v=1794288875"},{"product_id":"ufc-9660-high-temperature-analog-mfc-by-unit-instruments-9660-series","title":"MFC analógico de alta temperatura UFC-9660 de UNIT Instruments Serie 9660","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eUFC-9660 | Controlador de flujo másico de alta temperatura con sello metálico\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl \u003cstrong\u003eUFC-9660\u003c\/strong\u003e de UNIT Instruments es un controlador de flujo másico analógico de alta temperatura de la serie 9660. Está diseñado para procesos de semiconductores que requieren suministro de gas calentado y una regulación de flujo estable.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eSu construcción calefactada permite temperaturas de funcionamiento de hasta 150 °C. Este diseño ayuda a evitar la condensación al manipular gases de proceso que podrían condensarse dentro de las líneas convencionales de suministro de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eEl controlador combina una trayectoria de gas con sello metálico, una válvula solenoide electromagnética proporcional y una arquitectura de electrónica remota. Utiliza una interfaz de comando y monitoreo analógica de 0–5 VCC.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLas aplicaciones típicas incluyen CVD, deposición epitaxial y sistemas de suministro calentados para materiales de origen condensables.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | Control térmico: mantener el gas de proceso en el estado requerido\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa gestión de la temperatura es una consideración clave al seleccionar el UFC-9660. Ciertos gases precursores de semiconductores pueden condensarse cuando su temperatura desciende por debajo de la condición de proceso requerida.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTemperatura de funcionamiento:\u003c\/strong\u003e 0–150 °C (32–302 °F), modelo de alta temperatura.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfiguración calefactada:\u003c\/strong\u003e Carcasa calefactada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eIdoneidad del proceso:\u003c\/strong\u003e Suministro calefactado de gases condensables.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eProcesos típicos:\u003c\/strong\u003e CVD, deposición epitaxial y suministro de vapor de fuentes líquidas o sólidas.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eEn los sistemas de gas calentado, el perfil de temperatura debe mantenerse uniforme en la fuente, la línea de suministro, la válvula y el controlador de flujo. Una sección fría puede convertirse en un punto de condensación incluso cuando el controlador en sí está calefactado.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eDurante el diseño del sistema, verifique la temperatura requerida para el gas de proceso específico. Confirme también la configuración de calefacción y los límites de temperatura de la electrónica remota instalada.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | Trayectoria de gas con sello metálico y materiales en contacto\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa serie 9660 utiliza una construcción con sello metálico para aplicaciones exigentes de suministro de gas para semiconductores. Se especifica una configuración de sello en W para las versiones con puerto inferior.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eMateriales en contacto:\u003c\/strong\u003e Acero inoxidable 316L, K-M45, acero inoxidable 304 y 7Mo+.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSellado:\u003c\/strong\u003e Sello metálico.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfiguración con puerto inferior:\u003c\/strong\u003e Sello en W.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAcabado superficial estándar:\u003c\/strong\u003e Ra de 10 micro-pulgadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAcabado superficial opcional:\u003c\/strong\u003e Ra de 4 micro-pulgadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eIntegridad de estanqueidad:\u003c\/strong\u003e 1 × 10\u003csup\u003e-10\u003c\/sup\u003e atm-cc\/seg He.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eEl acabado superficial y la selección de los materiales en contacto influyen en la pureza del gas y la compatibilidad con el proceso. Para aplicaciones sensibles de precursores, verifique la combinación real de materiales y el acabado superficial antes de realizar el pedido.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLa integridad de estanqueidad indicada es una especificación de fuga de helio. No debe interpretarse como una garantía de compatibilidad con todos los gases de proceso o condiciones de instalación.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | Rango de presión y regulación del flujo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa capacidad de presión debe evaluarse junto con la presión diferencial requerida. La presión máxima de entrada, la presión de prueba y la presión diferencial de funcionamiento describen diferentes condiciones de operación.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión máxima:\u003c\/strong\u003e 3,500 kPa (500 psi).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión de prueba:\u003c\/strong\u003e 10,500 kPa (1,500 psi).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePresión diferencial típica:\u003c\/strong\u003e 1.33–350 kPa (10 torr–50 psid).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de control:\u003c\/strong\u003e 2–100 % de la escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCoeficiente de presión:\u003c\/strong\u003e 0.007 % de la lectura por psi (N₂).\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eNo utilice la presión de prueba como punto de ajuste de funcionamiento normal. Confirme los límites de presión del conjunto completo de suministro de gas, incluidos los accesorios, reguladores, válvulas y equipos aguas abajo.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | Control analógico y electrónica remota\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa configuración analógica del UFC-9660 utiliza una interfaz de 0–5 VCC para las señales de punto de ajuste y monitoreo. Su disposición de electrónica remota separa el módulo electrónico del cuerpo del controlador de flujo.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSeñal de punto de ajuste:\u003c\/strong\u003e 0–5 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSeñal de monitoreo:\u003c\/strong\u003e 0–5 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConexión eléctrica:\u003c\/strong\u003e Conector de borde de tarjeta.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAncho de la electrónica remota:\u003c\/strong\u003e 1-1\/8 pulgadas.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eAlimentación de la familia analógica:\u003c\/strong\u003e ±15 VCC.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eVerifique la asignación de pines del conector y la referencia de la señal antes de integrar el controlador con una herramienta de proceso. El rango de señal de 0–5 VCC por sí solo no establece la compatibilidad del conector ni de la asignación de pines.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLas variantes digitales 9561 y 9565 utilizan especificaciones eléctricas diferentes. Sus requisitos de alimentación y cifras de rendimiento digital no deben aplicarse a este modelo analógico.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | Rendimiento del flujo y respuesta dinámica\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLos siguientes valores de rendimiento incluyen tanto las especificaciones analógicas del 9660 como los datos a nivel de familia. Confirme el rango exacto de flujo y los límites de rendimiento con la configuración UFC-9660 suministrada.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de flujo a nivel de familia:\u003c\/strong\u003e 10 sccm–30 slm, equivalente a N₂.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePrecisión del 9660 analógico:\u003c\/strong\u003e ±1 % de la escala completa (FS).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRepetibilidad a nivel de familia:\u003c\/strong\u003e ±0.15 % de la escala completa (FS).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eLinealidad a nivel de familia:\u003c\/strong\u003e ±0.5 % de la escala completa (FS).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEstabilidad del cero a nivel de familia:\u003c\/strong\u003e Menos de 0.6 % de la escala completa (FS) por año.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRango de control:\u003c\/strong\u003e 2–100 % de la escala completa (FS).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRespuesta de arranque rápido:\u003c\/strong\u003e Menos de 2 segundos, según SEMI E17-91.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eTasa de arranque suave:\u003c\/strong\u003e Rampa lineal al 20 % por segundo.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLa precisión expresada como porcentaje de la escala completa difiere de la precisión expresada como porcentaje del punto de ajuste. Esta distinción es importante al evaluar el funcionamiento a bajo flujo.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eLas cifras de precisión de los modelos digitales 9561\/9565 son especificaciones independientes. No son intercambiables con la clasificación de precisión del 9660 analógico.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | Configuración mecánica y montaje\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eEl UFC-9660 utiliza un diseño de electrónica remota. Las dimensiones del cuerpo del controlador de flujo dependen del montaje y la configuración de puertos seleccionados.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDimensiones de la electrónica remota:\u003c\/strong\u003e 3.50 × 4.00 × 1.47 pulgadas (89 × 102 × 37 mm).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eLongitud total del cuerpo del controlador de flujo con puerto inferior:\u003c\/strong\u003e 105.2 mm.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003ePeso:\u003c\/strong\u003e 1.2 kg (2.65 lb).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eConfiguraciones de montaje:\u003c\/strong\u003e Montaje horizontal, incluidas las configuraciones HOV\/HOS.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eVerifique la orientación del puerto y la disposición de montaje con respecto a la herramienta de proceso existente. La longitud total indicada anteriormente se aplica a la configuración C\/W con puerto inferior, no necesariamente a todas las opciones de cuerpo del controlador de flujo.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | Aplicaciones en procesos de semiconductores\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa arquitectura de alta temperatura está destinada a sistemas de suministro de gas donde el control de la temperatura es parte de la confiabilidad del proceso.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCVD:\u003c\/strong\u003e Suministro calefactado de gases precursores compatibles a las cámaras de deposición.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeposición epitaxial:\u003c\/strong\u003e Regulación del flujo en sistemas de gas de proceso calefactados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSuministro de gas condensable:\u003c\/strong\u003e Mantenimiento de la temperatura del gas para reducir el riesgo de condensación.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSuministro de vapor de fuentes líquidas:\u003c\/strong\u003e Soporte de sistemas de suministro calefactados para materiales de origen vaporizados.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSuministro de vapor de fuentes sólidas:\u003c\/strong\u003e Regulación de gases compatibles en disposiciones de suministro de fuentes calefactadas.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eLa compatibilidad con el gas, la selección de materiales y la temperatura de funcionamiento deben confirmarse para cada proceso. El UFC-9660 debe seleccionarse de acuerdo con la composición real del gas y la configuración de la herramienta.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | Especificaciones técnicas\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eEspecificación\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eDetalles\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eModelo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUFC-9660\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMarca\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUNIT Instruments\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSerie 9660\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de producto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMFC analógico de alta temperatura con sello metálico\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de flujo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 sccm–30 slm, equivalente a N₂ (a nivel de familia)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePrecisión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1 % de la escala completa (9660 analógico)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRepetibilidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.15 % de la escala completa (a nivel de familia)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLinealidad\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.5 % de la escala completa (a nivel de familia)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eEstabilidad del cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u0026lt;0.6 % de la escala completa\/año (a nivel de familia)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRespuesta\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u0026lt;2 segundos de arranque rápido, según SEMI E17-91\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eArranque suave\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRampa lineal al 20 % por segundo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eRango de control\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100 % de la escala completa\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTemperatura de funcionamiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–150 °C (32–302 °F)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura, cero\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.05 % de la escala completa\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de temperatura, rango\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.1 % de la escala completa\/°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCoeficiente de presión\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.007 % de la lectura\/psi (N₂)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión máxima\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,500 kPa (500 psi)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión de prueba\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10,500 kPa (1,500 psi)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePresión diferencial\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.33–350 kPa (10 torr–50 psid típicos)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eMateriales en contacto\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcero inoxidable 316L \/ K-M45 \/ 304 \/ 7Mo+\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eAcabado superficial\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRa de 10 micro-pulgadas estándar; 4 micro-pulgadas opcional\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eTipo de sello\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSello metálico; sello en W para la versión con puerto inferior\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eInterfaz eléctrica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VCC para punto de ajuste y monitoreo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eConector de borde de tarjeta\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eElectrónica\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eElectrónica remota, 1-1\/8 pulgadas de ancho\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eFuente de alimentación\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VCC (familia analógica)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eLongitud del cuerpo del controlador de flujo\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e105.2 mm en total, C\/W con puerto inferior\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eDimensiones de la electrónica remota\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e89 × 102 × 37 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003ePeso\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.2 kg (2.65 lb)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eCumplimiento\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCE; trazable al NIST; SEMI E12\/E16\/E17\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | Preguntas frecuentes de ingeniería de campo\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP1: ¿Por qué un MFC calefactado aún puede experimentar un flujo inestable cuando la temperatura de la fuente de gas es correcta?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eUna temperatura de fuente correcta no garantiza una temperatura uniforme en toda la trayectoria de suministro. Verifique si hay puntos fríos alrededor de accesorios, válvulas, adaptadores y conexiones de cámara. Revise las ubicaciones de los sensores de temperatura y el aislamiento. Confirme que el controlador y las líneas de conexión alcancen sus temperaturas de funcionamiento requeridas antes de evaluar la estabilidad del flujo.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP2: ¿Qué deben investigar los ingenieros cuando una cámara de proceso muestra variación de deposición a pesar de un comando analógico estable?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eVerifique las condiciones reales de suministro de gas en lugar de depender únicamente de la señal de comando. Revise las fluctuaciones de presión aguas arriba, la contrapresión aguas abajo, la temperatura del gas y los ajustes del gas de calibración. También compare la señal de monitoreo con una medición de proceso independiente cuando esté disponible. Un comando estable no demuestra que el flujo másico suministrado se mantenga constante.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP3: ¿Se puede montar el UFC-9660 en la misma orientación que un MFC de temperatura estándar existente?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eNo sin verificar la configuración mecánica. Confirme si el reemplazo utiliza montaje HOV o HOS, y verifique la dirección del puerto y las dimensiones del cuerpo del controlador de flujo. Las disposiciones de puerto inferior y otras configuraciones de puertos pueden tener requisitos mecánicos diferentes. Verifique el dibujo del equipo antes de modificar el panel de gas.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP4: ¿Qué secuencia de puesta en servicio ayuda a reducir los problemas después de reemplazar un controlador de alta temperatura?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003ePrimero, verifique la trayectoria de gas y las conexiones eléctricas. Realice la prueba de fuga requerida antes de introducir el gas de proceso. Lleve el conjunto calefactado a su temperatura de funcionamiento especificada, luego establezca la presión diferencial requerida. Verifique el cero, la escala analógica y varios puntos de flujo estables. Siga los procedimientos aprobados de arranque y purga del fabricante del equipo.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eP5: ¿Qué información se necesita para identificar la configuración de reemplazo correcta del UFC-9660?\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eProporcione la información completa de la placa de identificación, el rango de flujo de la escala completa, el gas de proceso, la orientación del puerto, la disposición de montaje y los detalles del conector eléctrico. Incluya las condiciones de temperatura y presión de funcionamiento requeridas. Para gases condensables, identifique los requisitos de temperatura de la fuente y del suministro. Estos detalles ayudan a evitar un reemplazo mecánicamente similar pero funcionalmente inadecuado.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | Verificación de la configuración antes de realizar el pedido\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eLa serie 9660 incluye diferentes configuraciones y modelos digitales relacionados. Las especificaciones pueden variar según el tipo de electrónica, el rango de flujo, la disposición de puertos y la opción de temperatura.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eAntes de realizar el pedido, confirme los siguientes detalles:\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eModelo exacto: UFC-9660.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConfiguración de electrónica analógica.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eRango de flujo requerido equivalente a N₂ a escala completa.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eTipo de gas y requisitos de calibración.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eTemperatura de funcionamiento calefactada.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eSello metálico y configuración de puertos.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eDisposición de montaje horizontal, incluidos HOV\/HOS cuando corresponda.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eConector de borde de tarjeta y requisitos eléctricos.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eNo utilice las especificaciones digitales 9561\/9565 ni el rango de flujo de electrónica remota 9500 como sustitutos de los datos de configuración del UFC-9660.\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027996864694,"sku":"UFC-9660","price":163.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-8161_2.jpg?v=1794289029"}],"url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/es\/collections\/unit-instruments.oembed","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}