{"product_id":"sec-z712-horiba-stec-sec-z700x-pressure-insensitive-gas-mfc","title":"SEC-Z712 HORIBA STEC SEC-Z700X متحكم تدفق غاز غير حساس للضغط","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z712 | وحدة تحكم في التدفق الكتلي غير الحساسة للضغط HORIBA STEC SEC-Z700X\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتُعد \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eHORIBA STEC SEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e وحدة تحكم دقيقة في التدفق الكتلي من \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eسلسلة SEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e. وهي تستخدم تقنية التحكم غير الحساسة للضغط لضمان إمداد ثابت للغاز في عمليات تصنيع أشباه الموصلات.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eعلى عكس وحدات التحكم التقليدية في التدفق، يشتمل هذا الطراز على مستشعر ضغط مدمج. وتعوض وظيفة عدم الحساسية للضغط عن تقلبات الضغط وتقلل الاعتماد على مكونات خارجية لتنظيم الضغط.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتدعم وحدة التحكم غازات متعددة ونطاقات قياس مختلفة. ويوفر مشغلها الكهرضغطية تحكمًا دقيقًا في الصمام، بينما يتيح اتصال RS-485 التكامل الرقمي مع المعدات المتوافقة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eبفضل زمن استجابة يبلغ \u003cstrong\u003e≤1 ثانية (T98)\u003c\/strong\u003e، ودقة تصل إلى \u003cstrong\u003e±1.0% من نقطة الضبط\u003c\/strong\u003e، وتقنية الختم المعدني، تدعم SEC-Z712 تطبيقات إمداد الغاز المتطلبة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | بنية المنتج – ما الذي يميز SEC-Z712؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالعنصر الهندسي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالوظيفة والقيمة التطبيقية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتحكم غير الحساس للضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيحافظ على استقرار التدفق تحت تقلبات الضغط.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمستشعر ضغط مدمج\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيوفر قياسًا داخليًا للضغط لتعويض الضغط.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمشغل كهرضغطي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيتحكم في تدفق الغاز عبر الصمام الداخلي.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eإمكانية التعامل مع غازات متعددة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيدعم غازات عمليات متعددة ونطاقات قياس قابلة للاختيار.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالختم المعدني\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيوفر مسار تدفق غاز مختوم معدنيًا.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eوظيفة العرض المتعدد\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيدعم تكوينات عرض متعددة.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eاتصال RS-485\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيتيح الاتصال الرقمي عبر بروتوكول F-Net.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالميزة الهندسية الرئيسية:\u003c\/strong\u003e يدعم مستشعر الضغط المدمج التحكم في التدفق غير الحساس للضغط. ويساعد ذلك في تقليل انحرافات التدفق الناتجة عن تغير ظروف الضغط في المنبع.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | المواصفات الفنية – مرجع شامل للمعلمات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالشركة المصنعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالطراز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلسلة المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنوع المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة تحكم في التدفق الكتلي (MFC) غير حساسة للضغط\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التدفق الكامل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمن 10 SCCM إلى 10 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالغاز المرجعي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمكافئ N₂\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eأكواد نطاق القياس\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR\/MG #R01–#06\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالدقة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1.0% من نقطة الضبط فوق 25% من النطاق الكامل؛ ±0.25% من النطاق الكامل عند 25% أو أقل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالتكرارية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.2% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالخطية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.5% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eزمن الاستجابة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 ثانية (T98، نطاق التدفق الكامل)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنوع الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمشغل كهرضغطي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمفتوح عادةً أو مغلق عادةً\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين السخان\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مسخنة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواد الملامسة للغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ SUS316L وسبائك Co-Ni\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالسطح الداخلي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب قياسي مصقول كهربائيًا\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eأختام معدنية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلامة الختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5–50°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eدرجة الحرارة الموصى بها\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15–45°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمصدر الطاقة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e+15 VDC ±5% \/ -15 VDC ±5%\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eاستهلاك التيار\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e165 mA لكل سكة إمداد\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالاتصال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRS-485، بروتوكول F-Net\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنقطة الضبط التناظرية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.1–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمخرج التناظري\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسرعة الاتصال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e9.6 \/ 38.4 \/ 115.2 kbps قابلة للاختيار\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالموصلات الكهربائية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-Sub بـ9 دبابيس وRJ-45\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالأبعاد\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 مم (الارتفاع × العرض × السماكة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eوصلة العملية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR ذكر مقاس 1\/4 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمسافة التثبيت\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالامتثال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRoHS، SEMI E56-0309، SEMI F64-0701\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالميزة الهندسية الرئيسية:\u003c\/strong\u003e يدعم مستشعر الضغط المدمج التحكم في التدفق غير الحساس للضغط. ويساعد ذلك في تقليل انحرافات التدفق الناتجة عن تغير ظروف الضغط في المنبع.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | المواصفات الفنية – مرجع شامل للمعلمات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالشركة المصنعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالطراز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلسلة المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنوع المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة تحكم في التدفق الكتلي (MFC) غير حساسة للضغط\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التدفق الكامل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمن 10 SCCM إلى 10 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالغاز المرجعي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمكافئ N₂\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eأكواد نطاق القياس\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR\/MG #R01–#06\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالدقة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1.0% من نقطة الضبط فوق 25% من النطاق الكامل؛ ±0.25% من النطاق الكامل عند 25% أو أقل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالتكرارية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.2% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالخطية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.5% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eزمن الاستجابة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 ثانية (T98، نطاق التدفق الكامل)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنوع الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمشغل كهرضغطي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمفتوح عادةً أو مغلق عادةً\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين السخان\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مسخنة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواد الملامسة للغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ SUS316L وسبائك Co-Ni\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالسطح الداخلي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب قياسي مصقول كهربائيًا\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eأختام معدنية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلامة الختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5–50°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eدرجة الحرارة الموصى بها\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15–45°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمصدر الطاقة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e+15 VDC ±5% \/ -15 VDC ±5%\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eاستهلاك التيار\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e165 mA لكل سكة إمداد\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالاتصال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRS-485، بروتوكول F-Net\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنقطة الضبط التناظرية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.1–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمخرج التناظري\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسرعة الاتصال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e9.6 \/ 38.4 \/ 115.2 kbps قابلة للاختيار\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالموصلات الكهربائية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-Sub بـ9 دبابيس وRJ-45\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالأبعاد\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 مم (الارتفاع × العرض × السماكة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eوصلة العملية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR ذكر مقاس 1\/4 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمسافة التثبيت\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالامتثال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRoHS، SEMI E56-0309، SEMI F64-0701\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالضغط التشغيلي وخصائص التشغيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتستخدم \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e مستشعر ضغط مدمجًا لدعم تنظيم التدفق غير الحساس للضغط. ويعالج هذا التصميم عدم استقرار العملية الناتج عن تقلبات الضغط في المنبع.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eمتطلبات الضغط التشغيلي\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعلمة الضغط\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالضغط التفاضلي التشغيلي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50–300 kPa(d)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتكوين النطاق الخاص\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e100–300 kPa(d) لـ #5.5 و #06\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eأقصى ضغط تشغيلي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e450 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمقاومة الضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1000 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق مستشعر الضغط المدمج\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–700 kPa(A)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالحساسية للتقلبات الضغطية\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمجموعة نطاق القياس\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالحساسية للتقلبات الضغطية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e#02–#10\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±(1.0% S.P. + 1.0% FS كحد أقصى)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e#R01–#1.5\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±(5.0% S.P. + 1.5% FS كحد أقصى)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eملاحظة هندسية:\u003c\/strong\u003e يمثل الضغط التفاضلي والضغط المقاس من الصفر مراجع قياس مختلفة. تأكد من ظروف الضغط عند نقطة التركيب الفعلية.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eمقاومة الضغط المحددة ليست هدفًا تشغيليًا عاديًا. حافظ على ضغط الإمداد ضمن حدود التشغيل المعمول بها.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | دقة القياس وأداء التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتوفر وحدة التحكم مواصفات دقة مختلفة عبر نطاق تشغيلها. ينبغي للمهندسين تقييم هذه القيم مقابل نقطة الضبط الفعلية للعملية.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالدقة فوق 25% من النطاق الكامل:\u003c\/strong\u003e ±1.0% من نقطة الضبط.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالدقة عند 25% أو أقل من النطاق الكامل:\u003c\/strong\u003e ±0.25% من النطاق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتكرارية:\u003c\/strong\u003e ±0.2% من النطاق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالخطية:\u003c\/strong\u003e ±0.5% من النطاق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التحكم:\u003c\/strong\u003e 2–100% من النطاق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eزمن الاستجابة:\u003c\/strong\u003e ≤1 ثانية عند T98 عبر نطاق التدفق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eنصيحة لاختيار التدفق المنخفض:\u003c\/strong\u003e انتبه جيدًا إلى النطاق الكامل عند التشغيل بالقرب من الحد الأدنى للقياس. يمكن أن يقلل النطاق الكامل الأكبر من الدقة الفعلية للتحكم في عمليات التدفق المنخفض.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | التوافق مع غازات متعددة واختيار النطاق\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتدعم \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eسلسلة HORIBA STEC SEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e غازات عمليات متعددة من خلال تكوينات الغاز والنطاق القابلة للاختيار.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eفئة الغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eأمثلة مدعومة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالغازات الخاملة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eN₂، Ar، He\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالغازات التفاعلية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eH₂، HBr\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eغازات عمليات خاصة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSF₆، WF₆\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eقد تتوفر تكوينات غاز إضافية. تأكد من معايرة الغاز ونطاق القياس الدقيقين قبل الطلب.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eاعتبارات الاختيار الهامة:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eحدد غاز العملية الفعلي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من معدل التدفق الكامل المطلوب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من كود النطاق MR\/MG المعمول به.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص متطلبات تحويل الغاز والمعايرة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من ظروف الضغط وتكوين الصمام.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eلا تمثل تقييمات التدفق المكافئة لـ N₂ تلقائيًا سلوك تدفق فعلي متطابقًا لكل غاز. استخدم تكوين الغاز المحدد للتحكم الدقيق في العملية.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | الواجهة الكهربائية وتكامل النظام\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتدعم وحدة التحكم واجهات تحكم تناظرية ورقمية. يمكن للمهندسين اختيار الاتصال المناسب وفقًا لبنية المعدات المضيفة.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالواجهة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفات الكهربائية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنقطة الضبط التناظرية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.1–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالمخرج التناظري\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالاتصال الرقمي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eRS-485\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eبروتوكول الاتصال\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eF-Net\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدلات الباود القابلة للاختيار\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e9.6، 38.4، 115.2 kbps\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالموصلات\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eD-Sub بـ9 دبابيس وRJ-45\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالإمداد الموجب\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e+15 VDC ±5%، 165 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالإمداد السالب\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e-15 VDC ±5%، 165 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eإرشادات التكامل:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من مساري الإمداد الموجب والسالب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص نطاقات الإشارات التناظرية مقابل وحدة التحكم المضيفة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eطابق معدل باود RS-485 مع جهاز الاتصال الرئيسي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من دعم بروتوكول F-Net قبل التكامل الرقمي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من تعيينات دبابيس الموصل باستخدام وثائق التوصيل الرسمية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eلا تفترض التوافق القياسي مع Modbus RTU. البروتوكول الرقمي المحدد هو HORIBA STEC F-Net.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | البنية الميكانيكية والمواد الملامسة للغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتؤثر المواد الملامسة للغاز مباشرة على التحكم في التلوث والتوافق مع العملية. تستخدم \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e مكونات ملامسة من الفولاذ المقاوم للصدأ وسبائك Co-Ni.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eميزة البنية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالمادة الرئيسية الملامسة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمادة ملامسة إضافية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eسبائك Co-Ni\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعالجة السطح الداخلي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب قياسي مصقول كهربائيًا\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eبنية الختم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eختم معدني\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eسلامة الختم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eوصلة العملية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR ذكر مقاس 1\/4 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالأبعاد الإجمالية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمسافة التثبيت\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eتدعم البنية المختومة معدنيًا تطبيقات إمداد غاز أشباه الموصلات المتطلبة. ويوفر السطح الداخلي المصقول كهربائيًا تشطيبًا محكومًا للسطح الملامس للغاز.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | إرشادات التركيب والتشغيل التجريبي\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيحمي التركيب الصحيح دقة القياس ويحافظ على استقرار إمداد الغاز.\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتأكيد الطراز:\u003c\/strong\u003e طابق SEC-Z712 مع الغاز ونطاق التدفق المطلوبين.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eفحص وصلات العملية:\u003c\/strong\u003e افحص وصلة VCR الذكر مقاس 1\/4 بوصة وأسطح التزاوج.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتحقق من توافق الغاز:\u003c\/strong\u003e تأكد من ملاءمة المواد الملامسة لغاز العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوصيل الطاقة:\u003c\/strong\u003e وفر إمدادات ±15 VDC مستقرة ضمن التفاوت المحدد.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوصيل الإشارات:\u003c\/strong\u003e تحقق من توصيلات الأسلاك التناظرية أو اتصال RS-485.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eفحص الضغط:\u003c\/strong\u003e حافظ على الضغط التفاضلي والتشغيلي المطلوبين.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتكوين معلمات الغاز:\u003c\/strong\u003e اختر الغاز ونطاق القياس الصحيحين.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eإجراء اختبار التسرب:\u003c\/strong\u003e اتبع إجراءات اختبار تسرب خطوط غاز أشباه الموصلات المعتمدة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتحقق من التدفق:\u003c\/strong\u003e قارن التدفق الموضح بمرجع معاير مناسب.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتوصية التشغيل التجريبي:\u003c\/strong\u003e تجنب تغيير تكوينات الغاز دون التحقق من متطلبات المعايرة. يمكن أن يتسبب الاختيار غير الصحيح للغاز في انحرافات كبيرة في القياس.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | اعتبارات الصيانة واستكشاف الأخطاء وإصلاحها\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالحالة الملاحظة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالفحص الهندسي الموصى به\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eعدم استقرار التدفق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eافحص تقلبات الضغط في المنبع والضغط التفاضلي.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eاستجابة تدفق بطيئة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eافحص ضغط الإمداد وتكوين الغاز وتشغيل الصمام.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمؤشر تدفق غير صحيح\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتحقق من اختيار الغاز والنطاق الكامل والمعايرة المرجعية.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eفشل الاتصال\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eافحص أسلاك RS-485 وإعدادات F-Net ومعدل الباود.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eانحراف الإشارة التناظرية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eقس نقطة الضبط وجهد الإخراج عند الواجهة.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتسرب غير متوقع\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eافحص وصلات VCR وأسطح الختم المعدني.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eانحراف متعلق بدرجة الحرارة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eافحص درجة حرارة المحيط مقابل نطاق التشغيل الموصى به.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eيجب أن يشمل الصيانة الروتينية الفحص الخارجي وفحص التوصيلات واختبار التسرب والتحقق من الأداء.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eاتبع إجراءات HORIBA STEC للفحص الداخلي وصيانة الصمام. تجنب التفكيك غير المصرح به لمكونات التحكم الدقيق في التدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | الامتثال والتطبيقات الصناعية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتم تصميم \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #1677cc;\"\u003eSEC-Z712 SEC-Z700X\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e لتطبيقات إمداد الغاز الدقيقة في تصنيع أشباه الموصلات.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRoHS:\u003c\/strong\u003e متوافق مع RoHS.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E56-0309:\u003c\/strong\u003e مواصفة امتثال قابلة للتطبيق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI F64-0701:\u003c\/strong\u003e مواصفة متعلقة بالتقلبات الضغطية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالتطبيقات النموذجية:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعدات CVD:\u003c\/strong\u003e تتحكم في إمداد غاز العملية أثناء الترسيب الكيميائي للبخار.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأنظمة الحفر:\u003c\/strong\u003e تدعم إمداد غاز محكوم لعمليات حفر أشباه الموصلات.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eلوحات غاز متعددة الأدوات:\u003c\/strong\u003e توفر تحكمًا في تدفق الغاز غير الحساس للضغط عبر المعدات.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالعمليات الحساسة للتداخل:\u003c\/strong\u003e تساعد في تقليل اضطرابات التدفق الناتجة عن تقلبات الضغط.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوزيع غاز أشباه الموصلات:\u003c\/strong\u003e تدعم إمداد غاز دقيق في أنظمة العمليات المتكاملة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | معلومات التعبئة والتغليف والشراء\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالعنصر\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالتفاصيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالشركة المصنعة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالطراز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z712\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالسلسلة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z700X\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنوع المنتج\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة تحكم في التدفق الكتلي غير حساسة للضغط\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتكوين\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مسخنة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eكمية العبوة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة واحدة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالضمان\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e12 شهرًا\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eخيارات الشحن\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eFedEx أو DHL أو UPS\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتوفر\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eاتصل بنا لمعرفة المخزون الحالي ومدة التوريد\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eملاحظة الطلب:\u003c\/strong\u003e تأكد من نوع الغاز ونطاق التدفق الكامل وكود MR\/MG وتكوين الصمام ومتطلبات الموصل قبل الشراء.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e12 | الأسئلة الشائعة المهنية – الاختيار وهندسة العمليات واستكشاف الأخطاء وإصلاحها\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس1: لماذا يُعد التحكم غير المتأثر بالضغط مهمًا في أنظمة الغاز الخاصة بأشباه الموصلات متعددة الأدوات؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقد تتعرض شبكات توزيع الغاز المشتركة إلى تغيرات في الضغط عند تشغيل أدوات أخرى. ويمكن أن تؤثر هذه التغيرات على وحدات التحكم التقليدية في التدفق الكتلي. ويساعد التحكم غير المتأثر بالضغط في الحفاظ على تدفق مستقر أثناء حدوث مثل هذه الاضطرابات. وتفيد هذه الميزة العمليات ذات المتطلبات الصارمة لتدفق الغاز.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس2: كيف ينبغي للمهندسين الاختيار بين تكوينات الصمام المفتوح في الوضع الطبيعي والمغلق في الوضع الطبيعي؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقم بتقييم سلوك الإيقاف المطلوب وهيكل سلامة العملية. يمكن للتكوين المغلق في الوضع الطبيعي إيقاف التدفق عند فقدان الصمام حالة التشغيل الخاصة به. ويتصرف التكوين المفتوح في الوضع الطبيعي بشكل مختلف أثناء انقطاع الطاقة أو التحكم. أكّد وضع الفشل المطلوب مع مهندسي العملية والسلامة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس3: هل يمكن لوحدة SEC-Z712 المعايرة للنيتروجين التحكم مباشرة في WF6 أو HBr؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eلا تفترض إمكانية الاستبدال المباشر بين تكوينات الغاز. فالغازات المختلفة لها خصائص فيزيائية ومتطلبات معايرة مختلفة. تحقق من تحويل الغاز المعتمد، وتوافق المواد الملامسة للغاز، وتكوين MR\/MG المحدد قبل التشغيل.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس4: لماذا قد تعرض وحدة التحكم تدفقًا غير مستقر حتى عندما تظل نقطة الضبط التناظرية ثابتة؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eافحص الضغط التفاضلي، واستقرار إمداد الغاز، وأداء منظم الضغط العلوي. افحص أيضًا تكوين الغاز المحدد وقضبان الإمداد الكهربائي. لا يضمن جهد التحكم المستقر تدفقًا فعليًا مستقرًا في ظل ظروف التشغيل غير المناسبة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس5: ما التفاصيل التي ينبغي لفرق المشتريات تقديمها عند استبدال وحدة تحكم SEC-Z700X مثبتة؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقدم الطراز الكامل، ونوع الغاز، ومعدل التدفق عند النطاق الكامل، ورمز النطاق، وتكوين الصمام. أكّد توصيل VCR مقاس 1\/4 بوصة، والموصلات الكهربائية، ومتطلبات الإمداد. تساعد هذه التفاصيل في منع عدم تطابق المعايرة وتأخيرات التركيب.\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68047310815414,"sku":"SEC-Z712","price":152.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z712_1.jpg?v=1794461741","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/ar\/products\/sec-z712-horiba-stec-sec-z700x-pressure-insensitive-gas-mfc","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}