{"product_id":"sec-z524-horiba-stec-mass-flow-controller-sec-z500x-devicenet-series","title":"وحدة تحكم في التدفق الكتلي SEC-Z524 HORIBA STEC | سلسلة SEC-Z500X DeviceNet","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eنظرة عامة على المنتج | التحكم في تدفق الغاز في أشباه الموصلات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e هو جهاز تحكم في التدفق الكتلي متوافق مع DeviceNet من تصنيع \u003cstrong\u003eHORIBA STEC\u003c\/strong\u003e. ينتمي إلى \u003cstrong\u003eسلسلة SEC-Z500X\u003c\/strong\u003e ويدعم تطبيقات توصيل الغاز متوسطة إلى عالية التدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيوفر هذا الطراز نطاق تدفق كامل يتراوح من \u003cstrong\u003e22 إلى 50 لتر\/دقيقة قياسي\u003c\/strong\u003e، بناءً على مواصفات مكافئ النيتروجين. تدعم بنية التحكم في التدفق الكتلي الحراري الخاصة به توصيلًا دقيقًا للغاز في معدات تصنيع أشباه الموصلات.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eينظم المشغل الكهروإجهادي المدمج تدفق الغاز من خلال صمام يتم التحكم فيه إلكترونيًا. يربط اتصال DeviceNet وحدة التحكم بشبكات الأتمتة المتوافقة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيدعم تكوينه متعدد الغازات والنطاقات متطلبات غازات العمليات المختلفة. كما يوفر \u003cstrong\u003eالمسافة الممتدة للوصلة البالغة 124 مم\u003c\/strong\u003e مرجعًا ميكانيكيًا مهمًا لدمج لوحات الغاز.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتشمل التطبيقات النموذجية أنظمة CVD، ومعدات النقش بالبلازما، ولوحات توصيل الغازات السائبة لأشباه الموصلات. يمكن للمهندسين اختيار التكوين المناسب وفقًا لخصائص الغاز، وضغط التشغيل، ونطاق التدفق، ومتطلبات التوصيل.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eتحديد المنتج والمواصفات الهندسية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالشركة المصنعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالطراز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلسلة المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eإصدار الاتصال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنوع المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eجهاز تحكم في التدفق الكتلي (MFC)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتصنيف التدفق\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eجهاز تحكم في التدفق الكتلي متوسط التدفق\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التدفق الكامل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e22–50 لتر\/دقيقة قياسي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالغاز المرجعي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمكافئ النيتروجين (N2)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين النطاق\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR\/MG #6.5–#08\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتقنية الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمشغل كهروإجهادي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمفتوح عادةً أو مغلق عادةً\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين التدفئة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مدفأة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمصدر الطاقة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e24 فولت تيار مستمر\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eاستهلاك الطاقة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4.0 فولت أمبير\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالموصل الكهربائي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eموصل دقيق\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواد الملامسة للغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالسطح الداخلي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب قياسي مصقول\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eخيارات الختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدني أو بوليمر مرن\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eوصلة التركيب\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR مقاس 1\/4 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمسافة التركيب\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالأبعاد الإجمالية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 مم (الارتفاع × العرض × العمق)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003e01 | أداء قياس التدفق والتحكم فيه\u003c\/strong\u003e\n\u003c\/p\u003e\u003cp\u003eينظم جهاز التحكم توصيل الغاز عبر نطاق تشغيل محدد من 2 إلى 100% من النطاق الكامل. تستخدم مواصفات دقته شروط مرجعية مختلفة فوق وتحت 25% من النطاق الكامل.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعلم الأداء\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتدفق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e22–50 لتر\/دقيقة قياسي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التحكم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالدقة فوق 25% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1.0% من النطاق المقاس\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالدقة عند 25% من النطاق الكامل أو أقل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.25% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتكرارية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.2% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالخطية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.5% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eزمن الاستجابة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 ثانية (T98، نطاق التدفق الكامل)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتفسير القياس:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالدقة:\u003c\/strong\u003e تصف انحراف قياس التدفق تحت شروط مرجعية محددة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتكرارية:\u003c\/strong\u003e تشير إلى الاتساق عبر القياسات المتكررة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالخطية:\u003c\/strong\u003e تصف الانحراف عن الاستجابة الخطية المحددة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eزمن الاستجابة:\u003c\/strong\u003e يمثل T98 الوقت اللازم للوصول إلى 98% من استجابة التدفق النهائية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التحكم:\u003c\/strong\u003e يحدد النطاق التشغيلي المحدد بالنسبة للتدفق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eينبغي للمهندسين استخدام معادلة الدقة المناسبة لكل منطقة تشغيل. لا تعامل النسبة المئوية لنقطة الضبط والنسبة المئوية للنطاق الكامل كقيم قابلة للتبادل.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | التوافق مع الغازات المتعددة واختيار العملية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيدعم \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e تكوينات متعددة الغازات لأنظمة توصيل الغاز في أشباه الموصلات. تشمل تطبيقات الغاز المدرجة له:\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eفئة الغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eأمثلة الغازات المحددة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالغازات الخاملة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eN2، Ar، He\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالغازات التفاعلية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eH2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالغازات الخاصة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSF6، HBr، WF6\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eقد تتوفر تكوينات غازات إضافية وفقًا لمتطلبات المعايرة والمواد الملامسة للغاز المختارة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eاعتبارات اختيار الغاز:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من التركيب الدقيق للغاز قبل الطلب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من المعايرة الخاصة بالغاز ونطاق التدفق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eضع في الاعتبار كثافة الغاز وخصائصه الحرارية وظروف التشغيل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص التوافق الكيميائي مع SUS316L والأختام المختارة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من متطلبات نظافة العملية لتطبيقات أشباه الموصلات.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eهام:\u003c\/strong\u003e لا تمثل تقييمات التدفق المكافئ للنيتروجين تلقائيًا معدلات تدفق فعلية متطابقة للغازات الأخرى. استخدم معايرة الغاز الصحيحة وبيانات التحويل للحسابات العملية.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | اتصال DeviceNet والتكامل الكهربائي\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيدعم تكوين \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z500X DeviceNet\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e الاتصال بشبكات الأتمتة الصناعية المتوافقة.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعلم الاتصال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eبروتوكول الشبكة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eDeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالامتثال\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمتوافق مع ODVA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدل الباود\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e125 \/ 250 \/ 500 كيلوبت في الثانية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالموصل الكهربائي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eموصل دقيق\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eجهد الإمداد\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e24 فولت تيار مستمر\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eاستهلاك الطاقة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4.0 فولت أمبير\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eقائمة التحقق من تكامل الشبكة:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من أن جهاز DeviceNet الرئيسي يدعم ملف تعريف الجهاز المطلوب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eاضبط معدل باود الشبكة ليتوافق مع تكوين الناقل الحالي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eقم بتكوين عنوان العقدة الصحيح ومعلمات الاتصال.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من تعيينات أسلاك كابل DeviceNet وموصله.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص إمداد 24 فولت تيار مستمر قبل تشغيل الشبكة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من اتصال الجهاز وتبادل بيانات العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eيدعم الامتثال لـ ODVA التكامل مع معدات DeviceNet المتوافقة. تأكد من تكوين وحدة التحكم وملفات وصف الجهاز المتاحة قبل التشغيل.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | ظروف الضغط وسلامة دائرة الغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتعد ظروف الضغط المستقرة ضرورية لتنظيم تدفق قابل للتكرار. ينبغي للمهندسين تقييم الضغط التفاضلي والحد الأقصى لضغط التشغيل بشكل منفصل.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعلم الضغط\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالضغط التفاضلي للتشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e200–300 كيلو باسكال (d)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالحد الأقصى لضغط التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e450 كيلو باسكال (g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمقاومة الضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1000 كيلو باسكال (g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eسلامة تسرب الهيليوم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² باسكال·م³\/ثانية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eملاحظات هندسة العمليات:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eحافظ على الضغط التفاضلي التشغيلي المحدد.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص استقرار ضغط الإمداد في المنبع.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eقيم ضغط المصب وظروف العادم.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eامنع تقلبات الضغط أثناء معايرة التدفق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من نظافة خط الغاز قبل التركيب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من سلامة عدم التسرب بعد أعمال توصيل الغاز.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eيوفر معدل تسرب الهيليوم المحدد مرجعًا مهمًا لسلامة دائرة الغاز. اتبع إجراء اختبار التسرب المعتمد للتركيب الكامل.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | المواد الملامسة للغاز، والأختام، والتوصيلات الميكانيكية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيستخدم الهيكل الملامس للغاز الفولاذ المقاوم للصدأ SUS316L مع سطح داخلي مصقول كمعيار. يعتمد اختيار الختم على غاز العملية ومتطلبات التوافق الكيميائي.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمكون\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالهيكل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالجسم الملامس للغاز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالسطح الداخلي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب قياسي مصقول\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eخيارات الختم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدني أو بوليمر مرن\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتوصيل الغاز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR مقاس 1\/4 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمسافة التركيب\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالأبعاد الإجمالية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 × 64 × 29 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eاعتبارات التركيب الميكانيكي:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص مسافة التركيب البالغة 124 مم مقابل تخطيط لوحة الغاز.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من مواصفة توصيل VCR مقاس 1\/4 بوصة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eاختر الأختام وفقًا لمتطلبات توافق الغاز.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eامنع تلوث الجسيمات أثناء أعمال التوصيل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتجنب الإجهاد الميكانيكي المفرط على واجهات التركيب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eاتبع إجراء تجميع وإحكام VCR المعمول به.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eالمسافة الممتدة للتركيب هي بُعد اختيار مهم. تأكد من هندسة الاتصال الفعلي قبل تعديل لوحة غاز موجودة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | درجة الحرارة وبيئة التركيب\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمعلم البيئي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5 درجات مئوية إلى 50 درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eدرجة الحرارة الموصى بها\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15 درجة مئوية إلى 45 درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتكوين التدفئة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مدفأة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eلا يتضمن التكوين القياسي خيار التدفئة. حافظ على درجة الحرارة المحيطة الموصى بها عندما تكون استقرار العملية مهمًا.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتوصيات التركيب:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من موقع التركيب ومساحة التركيب المتاحة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من توافق الغاز ونطاق التدفق المختار.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص دائرة الغاز الداخلية وأسطح التوصيل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eركب وصلات VCR باستخدام الإجراءات المعتمدة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eصل إمداد 24 فولت تيار مستمر وواجهة DeviceNet.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص تكوين الشبكة قبل تمكين تدفق العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eأجرِ اختبار التسرب قبل إدخال غازات العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من استجابة التدفق تحت ظروف الضغط المحددة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | التحكم في الصمام والتكوين الوظيفي\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيستخدم جهاز التحكم مشغلًا كهروإجهاديًا لتشغيل الصمام. يسمح التكوين المحدد بترتيبات صمام مفتوحة عادةً أو مغلقة عادةً.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتقنية المشغل:\u003c\/strong\u003e كهروإجهادية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eخيارات الصمام:\u003c\/strong\u003e مفتوح عادةً أو مغلق عادةً.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eوظيفة التحكم:\u003c\/strong\u003e تنظيم إلكتروني لتدفق الغاز.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتدفئة:\u003c\/strong\u003e غير مشمولة في التكوين القياسي.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eنصيحة الاختيار:\u003c\/strong\u003e تأكد من تكوين الصمام المطلوب قبل الطلب. يمكن أن تنتج الترتيبات المفتوحة عادةً والمغلقة عادةً استجابات عملية مختلفة أثناء انقطاع التيار أو إيقاف تشغيل النظام.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eلا تفترض وضع الصمام عند الفشل دون التحقق من تكوين الطراز الدقيق ووثائق الشركة المصنعة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | التشغيل التجريبي والمعايرة والصيانة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيؤسس التشغيل التجريبي السليم خط أساس موثوقًا لتوصيل غازات أشباه الموصلات. تحقق من الظروف الكهربائية والميكانيكية والنيوماتيكية واتصالات الاتصال قبل التشغيل الإنتاجي.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eإجراء التشغيل التجريبي:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من تكوين الطراز الكامل ومعايرة الغاز.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من جهد الإمداد وتوصيلات الموصل الكهربائي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص تكوين عقدة DeviceNet ومعدل الباود.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من فرق الضغط التشغيلي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eأجرِ اختبار تسرب الهيليوم عند الحاجة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص سلوك التدفق الصفري قبل تطبيق أوامر التدفق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eقارن التدفق المعروض مع الشروط المرجعية المحددة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eسجل ضغط التشغيل وأداء التدفق.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتوصيات الصيانة:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eراقب استقرار التدفق الصفري أثناء التشغيل الروتيني.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص الانحرافات غير المتوقعة عن قراءات التدفق المقررة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص توصيلات الغاز بحثًا عن تسرب بعد الصيانة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص اتصال الشبكة بحثًا عن أعطال متقطعة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eراجع نقاء الغاز وظروف الترشيح في المنبع.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من توافق الختم عند تغيير غازات العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eاتبع إجراءات خدمة HORIBA STEC للصيانة الداخلية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eينبغي أن تتبع فترات المعايرة متطلبات دقة العملية وخطة صيانة المعدات. لا تغير معلمات المعايرة دون بيانات مرجعية صحيحة خاصة بالغاز.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | الامتثال والتطبيقات الصناعية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتحدد المواصفات المقدمة مراجع الامتثال والتكامل التالية:\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRoHS:\u003c\/strong\u003e متوافق مع RoHS.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eDeviceNet:\u003c\/strong\u003e متوافق مع ODVA.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI:\u003c\/strong\u003e متوافق مع معايير SEMI كما هو محدد.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالتطبيقات الصناعية النموذجية:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعدات CVD:\u003c\/strong\u003e توصيل غاز محكوم لعمليات الترسيب الكيميائي للبخار.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأنظمة النقش:\u003c\/strong\u003e تنظيم تدفق الغاز في معدات نقش أشباه الموصلات.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eلوحات الغازات السائبة:\u003c\/strong\u003e إمداد وتوزيع الغاز متوسط التدفق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eخزائن الغاز:\u003c\/strong\u003e أنظمة توصيل الغازات الخاصة المؤتمتة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتصنيع أشباه الموصلات:\u003c\/strong\u003e التحكم في غازات العملية القائم على DeviceNet.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eتحقق من متطلبات SEMI الدقيقة المعمول بها ووثائق الامتثال لتركيب المعدات المقصودة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | التوافق والتحقق من الشراء\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eقبل اختيار \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eSEC-Z524\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e، ينبغي للمهندسين التحقق من تفاصيل التكوين التالية.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eعنصر الاختيار\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمتطلب التحقق\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالطراز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z524\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالسلسلة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X DeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التدفق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e22–50 لتر\/دقيقة قياسي، مكافئ N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعايرة الغاز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمطابق لغاز العملية الفعلي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eرمز النطاق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتأكيد تكوين MR\/MG #6.5–#08\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالاتصال\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eبروتوكول DeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدل الباود\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e125 \/ 250 \/ 500 كيلوبت في الثانية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتأكيد الضغط التفاضلي للتشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمادة الختم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدني أو بوليمر مرن، وفقًا لتوافق الغاز\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتكوين الصمام\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمفتوح عادةً أو مغلق عادةً\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتوصيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR مقاس 1\/4 بوصة، مسافة تركيب 124 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eاعتبارات الاستبدال:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eلا تستبدله بناءً على نطاق التدفق وحده.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eطابقه مع معايرة الغاز الفعلية وتكوين النطاق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من توافق اتصال DeviceNet.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص تكوين الصمام ومتطلبات الطاقة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتأكد من أبعاد التوصيل الميكانيكي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eراجع المواد الملامسة للغاز ومدى توافق السدادات.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eقد يمتلك جهازان للتحكم بنفس نطاقات التدفق الاسمية معايرات غازية وتكوينات صمامات وواجهات كهربائية مختلفة. تحقق من تكوين الطلب الكامل قبل الاستبدال.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | معلومات التعبئة والتوريد\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالعنصر\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالوصف\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالشركة المصنّعة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالطراز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z524\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالسلسلة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X DeviceNet\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنوع المنتج\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة تحكم في التدفق الكتلي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eكمية التوريد\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة واحدة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالملحقات\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eيُرجى التأكيد بشكل منفصل مع المورّد\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eأكّد معايرة الغاز وتكوين الوصلات وترتيب الصمامات والملحقات المورّدة قبل تقديم الطلب.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eالأسئلة الشائعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس1: هل يمكن للمهندسين نقل معايرة غاز موجودة من وحدة تحكم في التدفق الكتلي أخرى إلى وحدة التحكم هذه؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eليس تلقائيًا. تعتمد معايرة الغاز على تكوين وحدة التحكم والظروف المرجعية. تحقق من الغاز المحدد ورمز النطاق وبيانات المعايرة. لا تفترض أبدًا أن قراءات التدفق ستكون متطابقة عبر تكوينات الغاز المختلفة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس2: ما الذي قد يسبب قراءات غير مستقرة عندما يظل إمداد الغاز ثابتًا؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتشمل الأسباب المحتملة تقلبات الضغط في المنبع، وتلوث الغاز، وتقلبات درجة الحرارة، واختيار الغاز غير الصحيح، وظروف المصب غير المستقرة. قارن بين قياسات الضغط الفعلية والخط الأساسي المرجعي عند بدء التشغيل قبل تغيير إعدادات وحدة التحكم.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس3: كيف ينبغي للمهندسين تقييم وحدة تحكم مثبتة في نظام غاز عالي النقاء؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eراجع المواد الملامسة للغاز وتوافق السدادات وتشطيب الأسطح الداخلية وسلامة منع التسرب. قَيّم أيضًا نقاء الغاز ونظافة التوصيلات ومخاطر التلوث أثناء التركيب. اتبع إجراءات المنشأة الخاصة بالتعامل مع غازات أشباه الموصلات.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس4: ما الذي ينبغي للفنيين التحقق منه عندما يعمل اتصال DeviceNet ولكن أوامر التدفق تنتج نتائج غير متوقعة؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتحقق من نطاق الغاز المكوّن ووحدات القياس ورسم خرائط بيانات العملية وتوسيع أوامر التدفق. ثم تحقق من إمداد الغاز الفعلي والضغط التفاضلي. اتصال الشبكة وحده لا يؤكد صحة تكوين العملية.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس5: كيف ينبغي للمشترين الاختيار بين تكوينات الصمامات المفتوحة عادةً والمغلقة عادةً؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقَيّم استراتيجية عزل الغاز المطلوبة أثناء انقطاع التيار الكهربائي والإغلاق وظروف الطوارئ. راجع تصميم سلامة النظام وعواقب كل وضع للصمام. أكّد تكوين المشغّل الدقيق قبل الشراء.\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027779809462,"sku":"SEC-Z524","price":201.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z524_2.jpg?v=1794281146","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/ar\/products\/sec-z524-horiba-stec-mass-flow-controller-sec-z500x-devicenet-series","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}