{"product_id":"sec-z517-horiba-stec-sec-z500x-ethercat-mass-flow-controller","title":"SEC-Z517 HORIBA STEC SEC-Z500X وحدة تحكم في التدفق الكتلي EtherCAT","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eمتحكم التدفق الكتلي EtherCAT SEC-Z517 | SEC-Z500X من HORIBA STEC\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيُعد \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eSEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e من \u003cstrong\u003eHORIBA STEC\u003c\/strong\u003e متحكمًا رقميًا في التدفق الكتلي ضمن \u003cstrong\u003eسلسلة SEC-Z500X EtherCAT\u003c\/strong\u003e. فهو ينظم تدفق غاز العملية من خلال اتصال رقمي عالي السرعة وتحكم دقيق في الصمام باستخدام تقنية الكهروإجهادية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eيستهدف هذا الطراز معدات تصنيع أشباه الموصلات التي تتطلب توصيلًا سريعًا للغاز وتنظيمًا متكررًا للتدفق. وتدعم واجهة EtherCAT الخاصة به التكامل مع بنيات التحكم في المعدات في الوقت الفعلي.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eيغطي المتحكم نطاقات تدفق كاملة تتراوح من \u003cstrong\u003e10 SCCM إلى 5.5 SLM\u003c\/strong\u003e. ويدعم تكوينه متعدد الغازات والنطاقات متطلبات غازات العملية المختلفة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eبزمن استجابة يبلغ \u003cstrong\u003eT98 ≤1 ثانية\u003c\/strong\u003e، يدعم SEC-Z517 تعديلات سريعة للتدفق. كما تدعم مواصفات دقته عند التدفق المنخفض التطبيقات التي تتطلب توصيلًا دقيقًا للغاز.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01. هوية المنتج وتكوينه\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالشركة المصنعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eHORIBA STEC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالطراز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eSEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلسلة المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eSEC-Z500X\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eإصدار الاتصال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eEtherCAT\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنوع المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمتحكم رقمي في التدفق الكتلي (MFC)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eعنصر التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eصمام بمشغل كهروإجهادي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين الغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمتعدد الغازات \/ متعدد النطاقات\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين التسخين\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مسخنة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالإمداد الكهربائي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e24 VDC، 6.8 VA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02. أداء قياس التدفق والتحكم فيه\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eتؤثر دقة التدفق وسرعة الاستجابة بشكل مباشر على توصيل غاز العملية. وتحدد المواصفات التالية أداء التحكم في SEC-Z517.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمعلمة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التدفق كامل المقياس\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 SCCM إلى 5.5 SLM\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالغاز المرجعي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمكافئ N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتكوين النطاق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eMR \/ MG قابل للاختيار\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التحكم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2% إلى 100% من كامل المقياس\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسبة خفض التدفق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50:1\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالدقة فوق 25% من كامل المقياس\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1.0% من نقطة الضبط\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالدقة عند 25% من كامل المقياس أو أقل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.25% من كامل المقياس\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eقابلية التكرار\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.2% من كامل المقياس\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالخطية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.5% من كامل المقياس\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eزمن الاستجابة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1 ثانية، T98\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالتفسير الهندسي\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eدقة التدفق المنخفض:\u003c\/strong\u003e تنطبق المواصفة ±0.25% من كامل المقياس عند نقاط ضبط 25% من كامل المقياس أو أقل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التشغيل العادي:\u003c\/strong\u003e فوق 25% من كامل المقياس، تتغير الدقة إلى ±1.0% من نقطة الضبط.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eقابلية التكرار:\u003c\/strong\u003e ±0.2% من كامل المقياس تدعم تنظيمًا ثابتًا للتدفق عبر دورات التشغيل المتكررة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالخطية:\u003c\/strong\u003e ±0.5% من كامل المقياس تصف الانحراف عن علاقة التدفق الخطية المحددة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالاستجابة:\u003c\/strong\u003e T98 ≤1 ثانية تشير إلى أداء الاستجابة المحدد لنطاق كامل المقياس.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eنصيحة الاختيار:\u003c\/strong\u003e قيم الدقة باستخدام نقطة الضبط الفعلية للتشغيل. لا تقارن دقة النسبة المئوية من نقطة الضبط مباشرة بدقة النسبة المئوية من كامل المقياس.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03. توافق الغازات والبنية الملامسة للعملية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيدعم \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eSEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e غازات عملية متعددة من خلال تكوينات الغاز والنطاق القابلة للاختيار.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتوافق الغازات المحددة\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eالنيتروجين (N2)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eالأرغون (Ar)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eالهيدروجين (H2)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eالهيليوم (He)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eالأكسجين (O2)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eسداسي فلوريد الكبريت (SF6)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eبروميد الهيدروجين (HBr)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eسداسي فلوريد التنجستن (WF6)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eغازات أخرى مدعومة تخضع للتكوين\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالمواد الملامسة للغازات والختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمادة الملامسة للغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ SUS316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالسطح الداخلي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب مصقول، قياسي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eخيارات الختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدني أو مطاطي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتقنية الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمشغل كهروإجهادي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمفتوح عادةً أو مغلق عادةً\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلامة الختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤5 × 10⁻¹² Pa·m³\/s (He)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eاعتبار هندسة العملية:\u003c\/strong\u003e يعتمد توافق الغازات على المواد الملامسة وتكوين الختم المختار. تأكد من التوافق الكيميائي قبل طلب تطبيقات الغازات المسببة للتآكل أو التفاعلية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04. الضغط وظروف التشغيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيتطلب توصيل الغاز المستقر ضغطًا تفاضليًا مناسبًا وتحكمًا كافيًا في الضغط العلوي.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعلمة التشغيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالقيمة المحددة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالضغط التفاضلي للتشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50–300 kPa(d)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eأقصى ضغط تشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e450 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمقاومة الضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1000 kPa(g)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e5°C إلى 50°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eدرجة الحرارة الموصى بها\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e15°C إلى 45°C\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eوظيفة التسخين\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eغير مشمولة في التكوين القياسي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتمييز الضغط الهام:\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eيمثل الضغط التفاضلي فرق الضغط عبر المتحكم.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eيحدد أقصى ضغط تشغيل حد الضغط التشغيلي المسموح به.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتصف مقاومة الضغط تصنيفًا منفصلًا لتحمل الضغط.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eلا تستخدم قيمة مقاومة الضغط كضغط تشغيل مستمر.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05. اتصال EtherCAT والواجهة الكهربائية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيستخدم \u003cstrong\u003eسلسلة SEC-Z500X EtherCAT\u003c\/strong\u003e الاتصال الرقمي للتكامل مع معدات أشباه الموصلات المؤتمتة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالبروتوكول:\u003c\/strong\u003e اتصال إيثرنت الصناعي EtherCAT®.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمنافذ الشبكة:\u003c\/strong\u003e واجهات RJ-45 للداخل والخارج.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالامتثال:\u003c\/strong\u003e متوافق مع مجموعة تكنولوجيا EtherCAT (ETG).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمصدر الطاقة:\u003c\/strong\u003e 24 VDC.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاستهلاك الطاقة:\u003c\/strong\u003e 6.8 VA.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eاعتبارات التكامل\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eقم بتوصيل منفذ الدخول بجهاز شبكة EtherCAT العلوي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eاستخدم منفذ الخروج وفقًا لبنية الشبكة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من التعرف على جهاز EtherCAT أثناء التشغيل التجريبي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eأكد تكوين العملية للمتحكم قبل تمكين التحكم في التدفق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص حالة الاتصال قبل تشخيص انحرافات التدفق من جانب العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eيستوعب الهيكل الأوسع تكوين EtherCAT الإلكتروني. تأكد من الخلوص الميكانيكي عند استبدال المعدات داخل لوحات الغاز الحالية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06. الأبعاد الميكانيكية وواجهة التركيب\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالارتفاع الإجمالي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e126 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالعرض الإجمالي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e82 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالسُمك الإجمالي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e29 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eترتيب الأبعاد\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eالارتفاع × العرض × السُمك\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتوصيل الغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eVCR ذكر مقاس 1\/4 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمسافة التثبيت\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e124 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eقائمة التحقق من التركيب\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003eأكد مساحة التركيب والمسافة المركزية للتثبيت.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من متطلبات توصيل VCR الذكر مقاس 1\/4 بوصة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص نظافة خط الغاز قبل توصيل المتحكم.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eأكد أن مادة الختم المختارة تتوافق مع غاز العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من ظروف الضغط العلوي والسفلي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eقم بتوصيل إمداد 24 VDC وشبكة EtherCAT بشكل صحيح.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eافحص وجود تسرب خارجي قبل إدخال غاز العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتحقق من نوع الغاز ونطاق التدفق المكوّن.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003cp\u003eاتبع تعليمات تركيب HORIBA STEC المعمول بها وإجراءات التعامل مع غازات أشباه الموصلات. استخدم أفرادًا مؤهلين لتوصيلات الغازات الخطرة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07. تطبيقات عملية أشباه الموصلات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيستهدف \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eHORIBA STEC SEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e المعدات التي تتطلب التحكم الرقمي في تدفق الغاز والاتصال السريع.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالتطبيق\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمتطلب الهندسي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنقش أشباه الموصلات\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتوصيل دقيق لغاز العملية وتعديل سريع للتدفق.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eترسيب الأغشية الرقيقة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتدفق غاز متكرر أثناء تنفيذ وصفة العملية.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعدات العمليات المتقدمة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتكامل EtherCAT مع بنيات التحكم في الوقت الفعلي.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eأنظمة توصيل الغازات المتعددة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتكوينات غاز قابلة للاختيار لوصفات العملية المختلفة.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eلوحات الغاز المؤتمتة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eاتصال رقمي وواجهات تركيب مدمجة.\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08. الامتثال ومعايير المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eRoHS:\u003c\/strong\u003e متوافق مع RoHS.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eEtherCAT:\u003c\/strong\u003e متوافق مع مجموعة تكنولوجيا EtherCAT.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعايير أشباه الموصلات:\u003c\/strong\u003e متوافق مع معايير SEMI كما هو محدد للمنتج.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eأكد أرقام معايير SEMI المعمول بها ووثائق الشهادات مقابل تكوين المنتج الدقيق. لا تفترض وجود موافقات إضافية للسلامة أو للمناطق الخطرة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09. التحقق من التكوين قبل الشراء\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيتطلب طلب متحكم التدفق الصحيح أكثر من مجرد مطابقة رقم الطراز. يؤثر غاز العملية ونطاق التدفق والضغط وتكوين الاتصال على الاختيار.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالطراز:\u003c\/strong\u003e أكد SEC-Z517.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالسلسلة:\u003c\/strong\u003e أكد إصدار SEC-Z500X EtherCAT.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنوع الغاز:\u003c\/strong\u003e حدد غاز العملية الفعلي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق كامل المقياس:\u003c\/strong\u003e أكد نطاق SCCM أو SLM المطلوب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاختيار النطاق:\u003c\/strong\u003e تحقق من تكوين MR\/MG.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنوع الصمام:\u003c\/strong\u003e أكد التشغيل المفتوح عادةً أو المغلق عادةً.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمادة الختم:\u003c\/strong\u003e اختر معدنًا أو مطاطًا متوافقًا.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتوصيلات:\u003c\/strong\u003e تحقق من توصيلات VCR الذكر مقاس 1\/4 بوصة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالضغط:\u003c\/strong\u003e أكد الضغط التفاضلي وأقصى ضغط تشغيل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالاتصال:\u003c\/strong\u003e أكد توافق EtherCAT مع وحدة التحكم المضيفة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eنصيحة الشراء:\u003c\/strong\u003e اطلب تفاصيل التكوين الكاملة قبل الطلب. قد يكون لمتحكمين بتدفقات مماثلة تكوينات مختلفة للغاز والختم والصمام.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10. الأسئلة الشائعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس1: كيف يؤثر اختيار الغاز على قياس تدفق SEC-Z517؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eللغازات المختلفة خصائص فيزيائية وخصائص تدفق مختلفة. يتطلب المتحكم تكوين الغاز الصحيح لتنظيم التدفق بدقة. لا تفترض أن نطاقًا مكافئًا لـ N2 يوفر أداء تدفق فعلي متطابقًا لكل غاز. أكد المعايرة والتكوين الخاص بالغاز قبل التشغيل التجريبي.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس2: ماذا يحدث إذا انخفض الضغط التفاضلي للتشغيل عن 50 kPa(d)؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eيبدأ نطاق الضغط التفاضلي التشغيلي المحدد من 50 kPa(d). يمكن أن يمنع الضغط التفاضلي غير الكافي المتحكم من تحقيق التدفق المطلوب. افحص ضغط الإمداد العلوي والضغط العكسي السفلي والقيود في خط الغاز قبل تغيير المتحكم.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس3: لماذا يجب على المهندسين التحقق من تكوين الصمام المفتوح عادةً أو المغلق عادةً؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cnl--\u003e\u003cp\u003eتؤثر الحالة الميكانيكية الافتراضية للصمام على سلوك إغلاق الغاز خلال ظروف معينة للطاقة أو التحكم. يعتمد الاختيار الصحيح على تصميم سلامة المعدات. تحقق من تكوين الصمام المحدد مقابل فلسفة إيقاف تشغيل لوحة الغاز. لا تفترض أن كلا التكوينين يوفران سلوكًا متطابقًا للفشل الآمن.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس4: هل يمكن استبدال متحكم التدفق الكتلي التماثلي الحالي مباشرةً بـ SEC-Z517؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eليس بالضرورة. يستخدم SEC-Z517 اتصال EtherCAT وواجهات شبكة RJ-45. قد يستخدم المتحكم التماثلي توصيلات كهربائية وإشارات تحكم مختلفة. افحص وحدة التحكم المضيفة وبنية الشبكة وأبعاد التركيب وتوصيلات الغاز وتكوين العملية قبل الاستبدال.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس5: ماذا يجب على المهندسين التحقيق فيه عندما يتذبذب التدفق المعروض رغم استقرار الضغط؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eابدأ بفحص نقاء الغاز والتنظيم العلوي والقيود السفلية. افحص التوصيلات بحثًا عن تلوث أو تسرب. ثم تحقق من تكوين الغاز ونطاق التدفق وحالة اتصال EtherCAT. قارن ظروف التشغيل الفعلية بحدود الدقة وقابلية التكرار المحددة قبل الاشتباه في فشل الصمام الداخلي.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11. إمداد المنتج والدعم الفني\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003eهل تبحث عن متحكم التدفق الكتلي EtherCAT \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color:#1565C0;\"\u003eHORIBA STEC SEC-Z517\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e؟\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالعلامة التجارية:\u003c\/strong\u003e HORIBA STEC\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالطراز:\u003c\/strong\u003e SEC-Z517\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالسلسلة:\u003c\/strong\u003e SEC-Z500X EtherCAT\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنوع المنتج:\u003c\/strong\u003e متحكم رقمي في التدفق الكتلي\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التدفق:\u003c\/strong\u003e 10 SCCM إلى 5.5 SLM\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالاتصال:\u003c\/strong\u003e EtherCAT\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالضمان:\u003c\/strong\u003e 12 شهرًا، يخضع لشروط البيع.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالفحص:\u003c\/strong\u003e فحص المنتج قبل الشحن.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالشحن:\u003c\/strong\u003e DHL وFedEx وUPS وغيرها من شركات الشحن المدعومة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003cp\u003eتواصل مع فريق المبيعات لدينا للحصول على معلومات الأسعار والتوافر والتسليم. قدم نوع الغاز ونطاق التدفق المطلوب وتكوين التوصيلات للحصول على تحقق دقيق من الطراز.\u003c\/p\u003e\u003c\/nl--\u003e","brand":"HORIBA","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027788361910,"sku":"SEC-Z517","price":125.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/SEC-Z517_1_9bd1206f-2993-4ecd-98e9-b9152ee53668.jpg?v=1794281282","url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/ar\/products\/sec-z517-horiba-stec-sec-z500x-ethercat-mass-flow-controller","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}