{"title":"أجهزة الوحدة","description":"\u003cp\u003eتُعد Unit Instruments معيارًا مرجعيًا في التحكم الدقيق في تدفق الغاز وقياس الضغط، حيث توفر وحدات تحكم في التدفق الكتلي (MFCs) وعدادات التدفق الكتلي (MFMs) ومحولات ضغط متخصصة عالية الأداء، والمصممة خصيصًا لتصنيع أشباه الموصلات وترسيب الأغشية الرقيقة وأتمتة العمليات الصناعية. وبفضل تصميمها القائم على مستشعرات تدفق حراري عالية الاستقرار، وسلامة الختم المعدني، ودوائر الاستجابة الديناميكية السريعة، توفر أجهزة Unit Instruments توزيعًا دقيقًا ومتكررًا للغاز عبر حلقات العمليات الحرجة. وتضم مجموعتنا سلاسل شهيرة، بما في ذلك وحدات التحكم من سلسلة UFC-1100 وUFC-7300 وUFC-8100، التي تدعم معايرات غاز متعددة، وأختامًا معدنية عالية النقاء (VCR)، وبروتوكولات اتصال تناظرية أو DeviceNet. سواء كنت تستبدل قطع غيار وحدات التحكم في التدفق الكتلي القديمة أو توفر مكونات تحكم في التدفق مُعايَرة لأدوات الشركات المصنّعة للمعدات الأصلية (OEM)، فإن مجموعتنا من منتجات Unit Instruments الأصلية تضمن تشغيلًا خاليًا من الانحراف، واستجابة حرارية سريعة، وتقليل تلوث العمليات في بيئات الفراغ العالي.\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","products":[{"product_id":"ufc-1660-unit-instruments-1660-series-precision-analog-mfc","title":"وحدة أدوات UFC-1660 - متحكم تدفق كتلي تناظري دقيق من سلسلة 1660","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eوحدة UFC-1660 من UNIT Instruments: متحكم تناظري في التدفق الكتلي\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيُعد \u003cstrong\u003eUFC-1660 من UNIT Instruments\u003c\/strong\u003e متحكمًا تناظريًا في التدفق الكتلي من \u003cstrong\u003eسلسلة 1660\u003c\/strong\u003e. ويجمع بين مسار غاز عالي النقاء ذي سدادات معدنية وصمام كهرومغناطيسي تناسبي موثوق من Unit 132. تدعم المنصة توصيل غازات عمليات أشباه الموصلات، حيث تبرز أهمية القدرة على تحمل الضغط، والتنظيم المتكرر للتدفق، والأسطح النظيفة الملامسة للغاز.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eتغطي هذه التكوينة التناظرية الأساسية نطاقات تدفق كاملة تتراوح من \u003cstrong\u003e3 sccm إلى 30 slm\u003c\/strong\u003e، بناءً على التدفق المكافئ للنيتروجين. وتستخدم إشارات نقطة الضبط والمراقبة بجهد 0–5 فولت تيار مستمر لدمج المعدات. كما أن تصميمها ذي السدادات المعدنية ونطاق الضغط الواسع يجعلها مناسبة للوحدات الغازية عالية النقاء وأدوات عمليات أشباه الموصلات.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | الملاءمة للعمليات: أين ينتمي UFC-1660\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيلبي UFC-1660 متطلبات توصيل الغاز في تصنيع أشباه الموصلات. وتناسب بنية التحكم التناظرية فيه المعدات التي تستخدم إشارات الأوامر والمراقبة التقليدية القائمة على الجهد.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالنقش بالبلازما:\u003c\/strong\u003e ينظم توصيل غاز العملية إلى غرف النقش.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالترسيب الكيميائي للبخار (CVD):\u003c\/strong\u003e يدعم التدفق الغازي المحكوم أثناء ترسيب الأغشية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالانتشار:\u003c\/strong\u003e يوفر توصيلًا غازيًا متكررًا لمعدات المعالجة الحرارية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالنمو الفوقي (EPI):\u003c\/strong\u003e يدعم تنظيم التدفق الغازي في أنظمة النمو الفوقي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالترذيذ:\u003c\/strong\u003e يتحكم في إمداد غاز العملية في معدات الترسيب الفيزيائي للبخار.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالوحدات الغازية عالية النقاء:\u003c\/strong\u003e يتكامل مع أنظمة توزيع الغاز باستخدام عناصر تحكم تناظرية متوافقة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eتشمل توافقية الغاز المحددة الغازات غير المسببة للتآكل والغازات المسببة للتآكل بدرجة متوسطة. وتعتمد المعايرة القياسية على النيتروجين. تأكد من توافق الغاز ومتطلبات المعايرة قبل استخدام المتحكم في كيمياء عملية معينة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | تنظيم التدفق: الدقة عبر النطاق التشغيلي\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيوفر UFC-1660 نطاق تحكم يتراوح من 2% إلى 100% من النطاق الكامل. وتتغير مواصفات دقته وفقًا لنقطة التشغيل، لذا ينبغي للمهندسين تقييم نقطة ضبط العملية المطلوبة مقابل النطاق المختار.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعيار الأداء\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفات\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التدفق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمن 3 sccm إلى 30 slm، مكافئ N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالدقة فوق 35% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1% من النطاق الكامل، الطراز التناظري\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالدقة دون 35% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.35% من النطاق الكامل، الطراز التناظري\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتكرارية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.15% من النطاق الكامل، وفقًا لـ SEMI E56-96\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالخطية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.5% من النطاق الكامل، وفقًا لـ SEMI E27-92\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التحكم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمن 2% إلى 100% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eزمن الاستقرار عند التشغيل السريع\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤1.0 ثانية، وفقًا لـ SEMI E17-91\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمنحنى التشغيل السلس\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eخطي، بمعدل 20% في الثانية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eتصف مواصفات التشغيل السريع والتشغيل السلس سلوكيات تشغيل مختلفة. يدعم التشغيل السريع الاستقرار بعد تغيير نقطة الضبط. ويطبق التشغيل السلس منحنى خطيًا محكومًا بمعدل 20% في الثانية. اختر سلوك التشغيل المناسب وفقًا لتسلسل العملية ومتطلبات المعدات.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | نطاق الضغط وظروف توصيل الغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eتدعم منصة 1660 ظروف إمداد الغاز الصعبة. وينبغي مراعاة حدود الضغط المقدرة بشكل منفصل أثناء تصميم النظام.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأقصى ضغط تشغيلي:\u003c\/strong\u003e 3,500 kPa (500 psi)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eضغط الاختبار:\u003c\/strong\u003e 10,500 kPa (1,500 psi)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالضغط التفاضلي:\u003c\/strong\u003e 6.65–350 kPa (50 torr–50 psid)\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعامل الضغط:\u003c\/strong\u003e 0.007% من القراءة لكل psi، N2\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eيحدد أقصى ضغط تشغيلي الحد التشغيلي المعلن عنه. ويُعد ضغط الاختبار تقييمًا منفصلًا لمقاومة الضغط، ولا ينبغي التعامل معه كحالة تشغيل عادية. كما يجب أن يظل الضغط التفاضلي ضمن النطاق المحدد لدعم أداء التدفق المطلوب.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | مسار تدفق عالي النقاء: السدادات المعدنية وتشطيب الأسطح\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيستخدم UFC-1660 مجموعة ملامسة للغاز بسدادات معدنية مصممة لخدمة الغاز عالي النقاء. ويبلغ تشطيب سطحه الداخلي القياسي \u003cstrong\u003e16 ميكرو بوصة Ra\u003c\/strong\u003e، مع توفر \u003cstrong\u003eخيار تشطيب 10 ميكرو بوصة Ra\u003c\/strong\u003e للتطبيقات التي تتطلب تشطيبًا أدق.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتفاصيل التصنيع\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفات\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالمواد الملامسة للغاز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ 316L، وK-M43، وفولاذ مقاوم للصدأ 304، و7Mo\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب السطح القياسي\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e16 ميكرو بوصة Ra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب السطح الاختياري\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 ميكرو بوصة Ra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنوع السداد\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eسداد معدني، أو سداد C، أو سداد W\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمادة المقعد\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eKel-F أو مقعد معدني\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eسلامة الإحكام\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 × 10\u003csup\u003e-10\u003c\/sup\u003e atm-cc\/sec He، وفقًا لـ SEMI E16-90\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eيدعم تكوين السدادات المعدنية التطبيقات التي يُفضل فيها الإحكام الخالي من المواد اللدنة. ومع ذلك، ينبغي التأكد من التكوين الدقيق للسداد والمقعد ومطابقته للوحدة المطلوبة. لا تفترض أن كل وحدة UFC-1660 تستخدم التكوين نفسه.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | صمام Unit 132: تحكم كهرومغناطيسي تناسبي\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيستخدم UFC-1660 \u003cstrong\u003eالصمام الكهرومغناطيسي التناسبي Unit 132\u003c\/strong\u003e لتنظيم التدفق. وتحدد المنصة أيضًا تكوينات ملفات لولبية مغلقة عادةً أو مفتوحة عادةً.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمنصة الصمام:\u003c\/strong\u003e صمام كهرومغناطيسي تناسبي Unit 132\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eخيارات عمل الصمام:\u003c\/strong\u003e مغلق عادةً أو مفتوح عادةً\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eوظيفة التحكم:\u003c\/strong\u003e تنظيم تناسبي للتدفق الغازي\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eيؤثر عمل الصمام على حالة مسار الغاز الافتراضية عندما لا يكون الصمام مكهربًا. ينبغي للمهندسين التحقق من التكوين المطلوب ومطابقته لتسلسل إيقاف تشغيل الأداة واستراتيجية عزل الغاز. تأكد من خيار الصمام المثبت قبل البدء في التشغيل أو الاستبدال.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | الواجهة التناظرية والمتطلبات الكهربائية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيُعد تكوين UFC-1660 هذا الطراز التناظري الأساسي لعائلة 1660. ويستخدم إشارات جهد لإدخال نقطة الضبط ومراقبة التدفق بدلًا من الاعتماد على واجهة اتصال رقمية أصلية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eإدخال نقطة الضبط:\u003c\/strong\u003e 0–5 فولت تيار مستمر\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمخرج المراقبة:\u003c\/strong\u003e 0–5 فولت تيار مستمر\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eخيارات الموصل:\u003c\/strong\u003e حافة بطاقة بـ 20 دبوسًا أو D-sub بـ 9\/15 دبوسًا\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمصدر الطاقة:\u003c\/strong\u003e +15 فولت تيار مستمر، 100 مللي أمبير كحد أقصى\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمصدر الطاقة السالب:\u003c\/strong\u003e -15 فولت تيار مستمر، 200 مللي أمبير كحد أقصى\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأقصى استهلاك للطاقة:\u003c\/strong\u003e 4.5 واط\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتصفير التلقائي:\u003c\/strong\u003e اختياري في التكوينات التناظرية\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eقبل التركيب، حدد نوع الموصل وتحقق من تعيين الدبابيس من جانب المعدات. وتأكد من مقياس الإشارة، وقطبية الإمداد، وسعة التيار المتاحة. ينبغي أيضًا التحقق من توفر التصفير التلقائي ومطابقته للتكوين المحدد. ولا ينبغي افتراض توفر ميزة التصفير التلقائي القياسية المذكورة في الطرازات الرقمية لهذا الطراز التناظري الأساسي.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | السلوك الحراري والاستقرار طويل الأمد\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيُعد UFC-1660 القياسي طرازًا غير مسخّن. ويتراوح نطاق درجة حرارة التشغيل المحدد فيه من 0 إلى 50 درجة مئوية. يمكن أن تؤثر تقلبات درجة الحرارة والضغط على التدفق المقاس، لذا ينبغي الحفاظ على ظروف النظام محكومة أثناء تشغيل العملية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمعلمة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفات\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–50 درجة مئوية (32–122 درجة فهرنهايت)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتكوين مسخّن\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eلا؛ إصدار قياسي غير مسخّن\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eاستقرار الصفر\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e≤0.6% من النطاق الكامل سنويًا، دون تصفير تلقائي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعامل درجة حرارة الصفر\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.05% من النطاق الكامل\/درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعامل درجة حرارة النطاق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.1% من النطاق الكامل\/درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eفي التطبيقات ذات درجات الحرارة المحيطة المتغيرة، ضع في الاعتبار معاملات الصفر والنطاق المذكورة عند تقييم استقرار القياس. وحيث لا يتضمن الطراز التناظري تصفيرًا تلقائيًا، أدرج التحقق من الصفر في خطة صيانة المعدات.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | الأبعاد الميكانيكية وتخطيط التركيب\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالأبعاد التقريبية (الارتفاع × العرض × العمق):\u003c\/strong\u003e 137 × 127 × 38 مم\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالمساحة المشغولة:\u003c\/strong\u003e مساحة 1.5 بوصة\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالطول الإجمالي لـ 1\/4 VCR:\u003c\/strong\u003e 124 مم\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالوزن:\u003c\/strong\u003e 1.2 كجم (2.65 رطل)\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eافحص الرسم الميكانيكي المعمول به قبل إعداد لوحة التثبيت أو توصيلات خط الغاز. الأبعاد المذكورة تقريبية. تأكد من خلوص الموصل، واتجاه المنفذ، والطول الإجمالي المثبت ومطابقتها لتكوين الوحدة الفعلي.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | قائمة التحقق من التشغيل التجريبي لمهندسي المعدات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eحدد الغاز:\u003c\/strong\u003e تأكد من غاز العملية وتوافقه مع المواد الملامسة للغاز وتكوين السداد.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتحقق من المعايرة:\u003c\/strong\u003e المعايرة المرفقة مبنية على النيتروجين. تأكد مما إذا كانت العملية تتطلب معايرة غاز قابلة للتطبيق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eطابق نطاق التدفق:\u003c\/strong\u003e تحقق من نقطة الضبط التشغيلية المطلوبة مقابل النطاق الكامل المختار ونطاق التحكم من 2% إلى 100% من النطاق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eافحص ظروف الضغط:\u003c\/strong\u003e تحقق من ضغط الإمداد والضغط التفاضلي قبل تفعيل التدفق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتأكد من خيار الصمام:\u003c\/strong\u003e تحقق من سلوك الصمام المفتوح عادةً أو المغلق عادةً ومطابقته لتسلسل تشغيل المعدات.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eافحص الواجهة:\u003c\/strong\u003e طابق موصل حافة البطاقة أو D-sub، وإشارات 0–5 فولت تيار مستمر، ومتطلبات الطاقة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتحقق من الاستجابة:\u003c\/strong\u003e اختبر سلوك الاستقرار عند التشغيل السريع ومنحنى التشغيل السلس في نظام توصيل الغاز الفعلي.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eسجل القيم الأساسية:\u003c\/strong\u003e وثّق مخرج الصفر، والاستجابة لنقطة الضبط، وضغط التشغيل للمقارنة في الصيانة المستقبلية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | مراجع الامتثال والمعايرة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cnl--\u003e\u003cp\u003eتشير مواصفات UFC-1660 إلى المعايير والشهادات التالية:\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCE:\u003c\/strong\u003e معتمد من CE\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E12:\u003c\/strong\u003e معيار امتثال مرجعي\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E16-90:\u003c\/strong\u003e مرجع سلامة الإحكام\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E17-91:\u003c\/strong\u003e مرجع زمن استقرار التشغيل السريع\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E27-92:\u003c\/strong\u003e مرجع الخطية\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E56-96:\u003c\/strong\u003e مرجع التكرارية\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالمعايرة:\u003c\/strong\u003e معايرة قابلة للتتبع إلى NIST\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\n\u003cp\u003eتأكد من الوثائق المعمول بها وسجلات الامتثال الخاصة بالتكوين عند تأهيل المتحكم لأداة إنتاج.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | الأسئلة الشائعة للهندسة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس1: هل يمكن أن يحل UFC-1660 محل متحكم في التدفق الكتلي يستخدم ناقل اتصال رقمي؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eليس كبديل كهربائي مباشر. يستخدم هذا الطراز التناظري الأساسي إشارات جهد لإدخال نقطة الضبط ومراقبة التدفق بدلًا من الاعتماد على واجهة اتصال رقمية أصلية. يجب أن يتحقق مشروع الاستبدال من واجهة إشارات وحدة التحكم المضيفة، وتوصيلات الموصل، والمقياس، ومنطق التحكم. إذا كان النظام الحالي يعتمد على الاتصال الرقمي، فتحقق مما إذا كانت المعدات تدعم واجهة تناظرية قبل اختيار هذا الطراز.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس2: ما الذي ينبغي مراعاته عند اختيار تكوين السداد C مقابل تكوين السداد W؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eيعتمد الاختيار على توصيل الغاز المحدد، وترتيب الإحكام، وواجهة المعدات. تأكد من هندسة السداد المطلوبة والمعدات المتوافقة من رسم الوحدة أو مواصفات الشراء. لا تختر سدادًا بناءً على اسمه فقط ولا تفترض أن التكوينين قابلان للتبادل.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس3: كيف ينبغي للمهندسين تقييم خيار تشطيب السطح 10 ميكرو بوصة Ra؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eابدأ بمواصفات نظافة العملية ومتطلبات نظام توزيع الغاز. التشطيب القياسي هو 16 ميكرو بوصة Ra، بينما 10 ميكرو بوصة Ra هو تكوين اختياري. تأكد من أن الوحدة المطلوبة تتضمن التشطيب المطلوب والوثائق الداعمة إذا كانت تأهيل العملية يحدده.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس4: ما الذي يمكن أن يسبب انزياح قراءة التدفق بعد صيانة الوحدة الغازية؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eتشمل العناصر الشائعة للتحقيق فيها تغير ضغط الإمداد، والغاز المحتبس، وتلوث التوصيلات، وتغير قيود الخطوط، والوصلات الكهربائية المضطربة. أولًا، ثبّت إمداد الغاز وقارن الضغط التفاضلي الفعلي بمتطلبات التشغيل. ثم تحقق من مخرج الصفر وإشارة الأمر قبل تغيير إعدادات المعايرة.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس5: كيف ينبغي مراعاة وظيفة التشغيل السلس عند تسلسل عدة خطوط غاز؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003eيُعد منحنى التشغيل السلس المحدد خطيًا بمعدل 20% في الثانية. عند بدء تشغيل عدة خطوط غاز معًا، ضع في الاعتبار كيف تؤثر ملفات منحنى التشغيل الفردية الخاصة بها على ضغط الغرفة وتوقيت العملية. تحقق من التسلسل على مستوى المعدات، خاصةً حيث يؤثر ترتيب إدخال الغاز أو تقلبات الضغط على وصفة العملية.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eملخص اختيار منتج UFC-1660\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\n\u003cp\u003eيُعد \u003cstrong\u003eUFC-1660 من UNIT Instruments\u003c\/strong\u003e متحكمًا تناظريًا عالي النقاء في التدفق الكتلي مبنيًا حول منصة السدادات المعدنية لسلسلة 1660 وصمام Unit 132 الكهرومغناطيسي التناسبي. ويوفر نطاقات مكافئة للنيتروجين من 3 sccm إلى 30 slm، وتحكمًا بجهد 0–5 فولت تيار مستمر، ونطاق تشغيل عالي الضغط. ويُفضل تقييم تكوينه بمطابقة توافق الغاز، ونوع السداد، وعمل الصمام، والموصل، ومتطلبات المعايرة مع معدات العملية الحالية.\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتواصل معنا لمعرفة توفر UFC-1660، وتأكيد التكوين، والحصول على عرض أسعار.\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\u003c\/nl--\u003e","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027821490358,"sku":"UFC-1660","price":196.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-1660.jpg?v=1794283183"},{"product_id":"ufc-8100-unit-instruments-analog-mass-flow-controller-8100-series","title":"وحدة UFC-8100 من Instruments: متحكم تماثلي في التدفق الكتلي، السلسلة 8100","description":"\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003eUFC-8100 | وحدة التحكم التناظرية عالية التدفق في الكتلة من UNIT Instruments\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيُعد \u003cstrong\u003e\u003cspan style=\"color: #0070C0;\"\u003eUFC-8100 من UNIT Instruments\u003c\/span\u003e\u003c\/strong\u003e وحدة تحكم تناظرية في التدفق الكتلي محكمة بإحكام مطاطي، ومصممة لتطبيقات غازات العمليات عالية التدفق. ينتمي إلى السلسلة 8100 ويدعم نطاقات تدفق مكافئة للنيتروجين من 3 sccm إلى 30 slm.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eتجمع وحدة التحكم بين صمام تحكم كهرومغناطيسي تناسبي، وقياس دقيق للتدفق، وواجهة تناظرية 0–5 VDC. يدعم تصميمها غازات أشباه الموصلات غير المسببة للتآكل وأنظمة توصيل الغاز الصناعي العامة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eبفضل أقصى ضغط تشغيل يبلغ 3,500 kPa (500 psi)، يلبي UFC-8100 متطلبات التطبيقات التي تحتاج إلى قدرة ضغط أعلى من العديد من تكوينات وحدات التحكم التناظرية في التدفق الكتلي التقليدية. كما أن استجابته السريعة عند بدء التشغيل، ونطاق التحكم في التدفق المنخفض، وبنيته المحكمة بإحكام مطاطي تجعله خيارًا مناسبًا لمشاريع استبدال وحدات التحكم التناظرية في التدفق الكتلي المختارة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003eالملف الهندسي | المواصفات الرئيسية\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eالمواصفة\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eالقيمة\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالشركة المصنعة\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eUNIT Instruments\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالطراز\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eUFC-8100\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eسلسلة المنتج\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالسلسلة 8100\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eنوع المنتج\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eوحدة تحكم تناظرية عالية التدفق في الكتلة\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eتصميم الإحكام\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eإحكام مطاطي\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eنطاق التدفق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمن 3 sccm إلى 30 slm، مكافئ للنيتروجين\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالدقة التناظرية\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e±1% من النطاق الكامل؛ ±0.35% من النطاق الكامل دون 35% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eقابلية التكرار\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e±0.15% من النطاق الكامل، وفقًا لمعيار SEMI E56-96\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالخطية\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e±0.5% من النطاق الكامل، وفقًا لمعيار SEMI E27-92\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eنطاق التحكم\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e2–100% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eاستجابة سريعة عند بدء التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e≤1.0 ثانية، وفقًا لمعيار SEMI E17-91\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eوظيفة بدء التشغيل اللطيف\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eزيادة خطية بمعدل 20% في الثانية؛ من 0 إلى 100% في 5 ثوانٍ\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eاستقرار الصفر\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e≤0.6% من النطاق الكامل سنويًا بدون ضبط تلقائي للصفر\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–50°C (32–122°F)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eتكوين التدفئة\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مدفأة\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمتوسط الوقت بين الأعطال\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e536,000 ساعة، حسب المواصفات\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالشهادات\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمعتمد من CE؛ امتثال محدد لمعايير SEMI\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e01 \/ أداء التحكم في التدفق\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيوفر UFC-8100 نطاق تحكم من 2 إلى 100% من النطاق الكامل. وهذا يتيح لوحدة التحكم تنظيم التدفق من نقاط التشغيل المنخفضة عبر نطاقها الكامل المقدر.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاستجابة سريعة:\u003c\/strong\u003e لا تتجاوز الاستجابة السريعة المحددة عند بدء التشغيل 1.0 ثانية وفقًا لطريقة اختبار SEMI المرجعية.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eزيادة محكومة:\u003c\/strong\u003e يزيد بدء التشغيل اللطيف نقطة الضبط بمعدل 20% من النطاق الكامل في الثانية، ليصل إلى 100% في خمس ثوانٍ.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاتساق القياس:\u003c\/strong\u003e تبلغ قابلية التكرار المحددة ±0.15% من النطاق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eدقة التدفق:\u003c\/strong\u003e يحدد الطراز التناظري دقة إجمالية تبلغ ±1% من النطاق الكامل و±0.35% من النطاق الكامل دون 35% من النطاق الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاستقرار طويل الأمد:\u003c\/strong\u003e يبلغ استقرار الصفر المحدّد ≤0.6% من النطاق الكامل سنويًا بدون ضبط تلقائي للصفر.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eالتفسير الهندسي:\u003c\/strong\u003e تصف الدقة وقابلية التكرار والخطية خصائص أداء مختلفة. ولا ينبغي معاملتها كقيم قابلة للتبديل عند تقييم التفاوت المسموح به في العملية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e02 \/ تصميم الضغط ومسار الغاز\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eالمعلمة\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eالمواصفة\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eأقصى ضغط تشغيل\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e3,500 kPa (500 psi)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eضغط التحقق\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e10,500 kPa (1,500 psi)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالضغط التفاضلي\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e6.65–350 kPa (50 torr–50 psid)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالمواد الملامسة للغاز\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ 316L، وK-M45، وفولاذ مقاوم للصدأ 304، و7Mo+\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eتشطيب السطح\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e32 ميكرو بوصة Ra\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالأحكام المطاطية\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eحلقات O من الفيتون أو النيوبرين\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eخيارات مقعد الصمام\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمقعد Kel-F أو معدني\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eسلامة منع تسرب الهيليوم\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e1 × 10⁻⁹ atm·cc\/sec، وفقًا لمعيار SEMI E16-90\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eيجمع تصميم ملامسة الغاز بين مكونات الفولاذ المقاوم للصدأ وعناصر الإحكام المطاطية. ويدعم تشطيب السطح المحدد متطلبات مسار غاز العمليات، بينما يحدد الإحكام ومقعد الصمام المختار مدى التوافق مع التطبيق.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eيُعد تصنيف ضغط التحقق قيمة لتأهيل الضغط، وليس هدفًا للتشغيل العادي. لا تشغل وحدة التحكم باستمرار عند ضغط التحقق.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e03 \/ الواجهة التناظرية وتشغيل الصمام\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eيستخدم تكوين UFC-8100 القياسي واجهة كهربائية تناظرية. ويتصل بالمعدات المضيفة عبر موصل حافة بطاقة بـ20 دبوسًا.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eالعنصر الكهربائي\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eالمواصفة\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eإشارة نقطة الضبط\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eإشارة المراقبة\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–5 VDC\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالموصل\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eموصل حافة بطاقة بـ20 دبوسًا\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمصدر التغذية الموجب\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e+15 VDC، بحد أقصى 100 mA\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمصدر التغذية السالب\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e−15 VDC، بحد أقصى 200 mA\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eأقصى استهلاك للطاقة\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e4.5 W\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eصمام التحكم\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eصمام UNIT 132 كهرومغناطيسي تناسبي\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eتكوين الصمام\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمغلق عادةً أو مفتوح عادةً، حسب التكوين\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eينظم الصمام الكهرومغناطيسي التناسبي تدفق الغاز استجابةً لإشارة التحكم التناظرية. ويحدد تكوين الصمام المختار سلوكه عند إزالة الطاقة الكهربائية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eقبل توصيل وحدة التحكم، تحقق من تعيين موصل الـ20 دبوسًا، والطرف المشترك للإشارة، وقطبية التغذية، ومقاييس الإدخال\/الإخراج للمعدات المضيفة. لا تفترض توافق الدبابيس مع وحدة التحكم التناظرية في التدفق الكتلي من شركة مصنعة أخرى.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e04 \/ الحساسية لدرجة الحرارة والضغط\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eالخاصية\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eالقيمة المحددة\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمعامل درجة حرارة الصفر\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0.05% من النطاق الكامل\/°C\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمعامل درجة حرارة النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0.1% من النطاق الكامل\/°C\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمعامل الضغط\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0.007% من القراءة لكل psi، N2\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e0–50°C\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eيمكن أن تؤثر التغيرات في درجة الحرارة على أداء الصفر والنطاق الكامل. ويمكن أن تؤثر التغيرات في الضغط أيضًا على التدفق الموضح. بالنسبة للعمليات الحرجة، حافظ على ظروف تشغيل مستقرة وقيم أداء المعايرة تحت ضغط وحرارة العملية الممثلين.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e05 \/ التكوين الميكانيكي\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eالمعلمة الميكانيكية\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eالقيمة\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالأبعاد التقريبية (الارتفاع × العرض × العمق)\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e137 × 127 × 38 مم\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eمساحة التثبيت\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eحوالي 1.5 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالطول الإجمالي لـ 1\/4 VCR\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e124 مم\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالوزن\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003e1.2 كجم (2.65 lb)\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالتدفئة القياسية\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eغير مدفأة\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eافحص الرسم الأبعاد الفعلي قبل التركيب. تشير الأبعاد الإجمالية المذكورة وطول 1\/4 VCR إلى مراجع أبعاد مختلفة ولا ينبغي استبدالهما برسم من المنفذ إلى المنفذ.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e06 \/ تطبيقات العمليات\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eتم تصميم السلسلة 8100 للتحكم في غازات العمليات غير المسببة للتآكل. وتشمل التطبيقات النموذجية:\u003c\/p\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوصيل غازات أشباه الموصلات:\u003c\/strong\u003e النيتروجين والأرغون والهيليوم والأكسجين والهيدروجين وغيرها من غازات العمليات المتوافقة.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعدات الترسيب:\u003c\/strong\u003e التحكم في إمداد الغاز لعمليات CVD وPVD المختارة.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأنظمة النقش:\u003c\/strong\u003e تنظيم التدفق لغازات العمليات غير المسببة للتآكل المتوافقة.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتحكم العام في غازات العمليات:\u003c\/strong\u003e تنظيم التدفق التناظري في أنظمة الغاز الصناعي.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eترقية المعدات:\u003c\/strong\u003e استبدال وحدات التحكم التناظرية في التدفق الكتلي المختارة المحكمة بإحكام مطاطي.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eيجب التحقق من توافق الغاز مع المواد الملامسة الفعلية ومركب الإحكام ومقعد الصمام ومتطلبات نقاء الغاز. لا تحدد القائمة العامة للغازات توافقًا شاملًا مع كل تكوين.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e07 \/ نقاط التحقق الهندسية للاستبدال\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eتصف الشركة المصنعة UFC-8100 بأنه خيار استبدال مباشر لوحدات التحكم التناظرية في التدفق الكتلي ذات الإحكام المطاطي. ومع ذلك، يتطلب الاستبدال الموثوق أكثر من مطابقة نطاق التدفق.\u003c\/p\u003e\n\n\u003col\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعايرة التدفق:\u003c\/strong\u003e تأكد من النطاق الكامل المكافئ للنيتروجين وغاز المعايرة المستخدم في وحدة التحكم الحالية.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالواجهة الميكانيكية:\u003c\/strong\u003e قارن نوع الوصلة واتجاه المنفذ ومساحة التثبيت والطول الإجمالي.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتوصيل الكهربائي:\u003c\/strong\u003e تحقق من موصل حافة البطاقة بـ20 دبوسًا وكل تعيين دبوس ذي صلة.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمقياس الإشارة:\u003c\/strong\u003e تأكد من توافق نقطة الضبط 0–5 VDC وإشارة المراقبة مع وحدة تحكم المعدات.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eظروف الضغط:\u003c\/strong\u003e تحقق من ضغط التشغيل والضغط التفاضلي المتاح عند تدفق العملية الفعلي.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمواد مسار الغاز:\u003c\/strong\u003e تأكد من أن الإحكام المطاطي ومقعد الصمام والمواد المعدنية مناسبة لغاز العملية.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eوضعية الصمام عند الفشل:\u003c\/strong\u003e اختر التكوين الصحيح المفتوح عادةً أو المغلق عادةً لاستراتيجية إيقاف العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\n\u003cp\u003eلمشاريع الاستبدال، احصل على رقم طراز وحدة التحكم التناظرية في التدفق الكتلي الحالية ونوع الغاز ونطاق التدفق الكامل ومعلومات الموصل وتفاصيل الوصلة. تساعد هذه التفاصيل في تحديد ما إذا كان الاستبدال المقترح متوافقًا كهربائيًا وميكانيكيًا.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e08 \/ إرشادات التركيب والصيانة\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003eقم بتركيب وحدة التحكم في خط غاز نظيف مع ترشيح مناسب في المنبع.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eاستخدم وصلات متوافقة واتبع إجراء التجميع المحدد للشركة المصنعة للوصلة.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eتجنب تسليط إجهاد ميكانيكي على الجسم أو وصلات الغاز أثناء التركيب.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eتأكد من بقاء ضغط العملية ضمن حدود التشغيل.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eتحقق من كلا سكتي التغذية المستمر قبل تطبيق الأمر التناظري.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eاترك المعدات تستقر قبل التحقق من أداء الصفر والتدفق.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003eافحص انحراف الصفر وعدم استقرار الإخراج والاستجابة البطيئة قبل استبدال الوحدة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eتشمل فحوصات التشخيص الشائعة ضغط إمداد الغاز وقيود الخط وسلامة الموصل واستقرار الطاقة ومقياس الإشارة التناظرية ومعايرة الغاز. في حالة الانحراف المستمر، قارن التدفق المقاس بجهاز مرجعي معاير تحت ظروف محكومة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e09 \/ الامتثال والمعايرة\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cul\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCE:\u003c\/strong\u003e معتمد من CE، وفقًا لمعلومات المنتج المرفقة.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E12:\u003c\/strong\u003e امتثال محدد.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E16-90:\u003c\/strong\u003e مرجع لسلامة منع تسرب الهيليوم.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E17-91:\u003c\/strong\u003e مرجع للاستجابة السريعة عند بدء التشغيل.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E27-92:\u003c\/strong\u003e مرجع للخطية.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eSEMI E56-96:\u003c\/strong\u003e مرجع لقابلية التكرار.\u003c\/li\u003e\n\n  \u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالمعايرة:\u003c\/strong\u003e معايرة قابلة للتتبع إلى NIST.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp\u003eتحدد مراجع SEMI أساس الأداء أو الامتثال المذكور. تأكد من المراجعة المعمول بها وتقرير الاختبار ووثائق الشهادة عندما تتطلب مواصفات المشروع أدلة رسمية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003e10 \/ معلومات التوريد والتجارة\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003ctable\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003cth\u003eعنصر التوريد\u003c\/th\u003e\n\n    \u003cth\u003eالتفاصيل\u003c\/th\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالمنتج\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eوحدة التحكم التناظرية في التدفق الكتلي UFC-8100 من UNIT Instruments\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eحالة المنتج\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eجديد وأصلي في عبوة المصنع\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالضمان\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eضمان المصنع: 12 شهرًا\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالشحن\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eFedEx، UPS، DHL\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n  \u003ctr\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالتأكيد الفني\u003c\/td\u003e\n\n    \u003ctd\u003eالتحقق من الطراز والتكوين متاح عند الاستفسار\u003c\/td\u003e\n\n  \u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\n\u003cp\u003eتواصل مع Global PLC Spare HUB للحصول على الأسعار وتوافر المخزون وتأكيد التكوين. يرجى تقديم نطاق التدفق المطلوب وغاز العملية ونوع الوصلة وعمل الصمام عند طلب عرض أسعار.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003eGLOBAL PLC SPARE HUB | ملاحظات هندسة التطبيقات\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003eمن المسائل المهمة في الاختيار الفرق بين دقة النطاق الكامل ودقة النطاق المنخفض. تبلغ الدقة التناظرية المذكورة ±1% من النطاق الكامل، بينما تدرج المواصفة أيضًا ±0.35% من النطاق الكامل دون 35% من النطاق الكامل. ينبغي للمهندسين تأكيد أساس القياس الدقيق وظروف التشغيل لدى الشركة المصنعة قبل استخدام الرقم الأكثر صرامة في حساب التفاوت المسموح به في العملية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eبالنسبة لطراز بنطاق كامل 30 slm، يبلغ ±1% من النطاق الكامل ±0.3 slm. ويقابل الحد الأدنى للتحكم 2% من النطاق الكامل 0.6 slm. تساعد هذه القيم في تحديد ما إذا كان النطاق المختار يمكن أن يلبي متطلبات التدفق الدنيا والعليا للعملية.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eيتطلب تصنيف الضغط العالي أيضًا تفسيرًا دقيقًا. لا يلغي أقصى ضغط تشغيل يبلغ 500 psi الحاجة إلى ضغط تفاضلي كافٍ عبر وحدة التحكم. يمكن أن يكون للنظام ضغط دخول مرتفع ومع ذلك يفشل في توفير الضغط التفاضلي المطلوب للتدفق المطلوب.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003eأخيرًا، ينبغي معاملة رقم MTBF البالغ 536,000 ساعة كقيمة موثوقية محددة، وليس عمر خدمة مضمون. يعتمد عمر التشغيل الفعلي على نظافة الغاز ودورات الضغط وعمل الصمام ودرجة الحرارة وظروف الصيانة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003ch3\u003e\u003cb\u003eالأسئلة الشائعة\u003c\/b\u003e\u003c\/h3\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس1. ما الفرق العملي بين بدء التشغيل السريع وبدء التشغيل اللطيف؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيعطي بدء التشغيل السريع الأولوية للوصول إلى هدف تدفق جديد بسرعة. يحد بدء التشغيل اللطيف عمدًا من معدل الزيادة لتقليل التغيرات المفاجئة في توصيل الغاز. اختر الوضع وفقًا لمتطلبات عملية الحجرة وحساسية الضغط في اتجاه التدفق ومسلسل المعدات.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس2. هل يعني تصنيف الضغط 500 psi أن وحدة التحكم يمكنها توصيل تدفقها المقدر بالكامل عند 500 psi؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eلا. أقصى ضغط تشغيل والضغط التفاضلي المتاح هما شرطان منفصلان. يعتمد القدرة الفعلية للتدفق على انخفاض الضغط عبر وحدة التحكم وخصائص الغاز وتكوين النطاق الكامل المختار. تحقق من منحنى ضغط التشغيل للغاز والتدفق المقصودين.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس3. كيف ينبغي لي تقييم مواصفة قابلية التكرار 0.15% من النطاق الكامل؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتصف قابلية التكرار مدى اتساق عودة الوحدة إلى نفس التدفق تحت ظروف مماثلة. وهذا لا يعني أن قراءة التدفق المطلقة دقيقة بنسبة 0.15%. للتحقق من صحة العملية، قيم قابلية التكرار مع الدقة والخطية وعدم اليقين في المعايرة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس4. ما المعلومات المطلوبة لتأكيد استبدال تناظري لوحدة التحكم التناظرية في التدفق الكتلي الحالية؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقدم الطراز الحالي ونوع الغاز والتدفق الكامل ونطاق الإشارة التناظرية وتعيين دبابيس الموصل وتكوين الوصلة وجهد التغذية ووضعية الصمام عند الفشل. يكون الرسم الأبعاد ومخطط أسلاك المعدات مفيدين بشكل خاص عندما يجب أن يتناسب الاستبدال مع لوحة غاز موجودة.\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس5. متى ينبغي لي طلب معايرة جديدة أو فحص للأداء؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eفكر في التحقق بعد التخزين المطول أو تلوث خط الغاز أو التغيرات الكبيرة في الضغط أو انحراف الصفر غير المبرر أو انحرافات تدفق العملية المتكررة. بالنسبة لعمليات أشباه الموصلات الحرجة، اتبع جدول صيانة المعدات ومعايير القبول بدلًا من الاعتماد فقط على مواصفة استقرار الصفر السنوية.\u003c\/p\u003e\n","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027823587510,"sku":"UFC-8100","price":103.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-8100.jpg?v=1794283299"},{"product_id":"ufc-7300-unit-instruments-7300-series-analog-mass-flow-controller","title":"وحدة UFC-7300 من Instruments، سلسلة 7300، متحكم تناظري في التدفق الكتلي","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eUFC-7300 | UNIT Instruments | وحدة التحكم التناظرية في التدفق الكتلي من سلسلة 7300\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيُعد \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eUFC-7300 من UNIT Instruments\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e وحدة تحكم تناظرية في التدفق الكتلي لتوفير الغاز بدقة في المعدات الصناعية ومعدات أشباه الموصلات. تجمع بنية سلسلة 7300 بين التحكم التناسبي في الصمام الكهرومغناطيسي، والمكونات الملامسة للغاز المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، والتكوينات الكهربائية المرنة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eعلى عكس وحدات التحكم عالية الحرارة المحكمة بالكامل من المعدن، يستخدم هذا التكوين حلقة مانعة للتسرب من المطاط المرن فيتون ومقعد صمام من كي-إف. يناسب هذا التصميم غازات العمليات غير المسببة للتآكل المتوافقة، حيث يوفر الختم التقليدي بالمطاط المرن حلاً عمليًا.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيدعم UFC-7300 نطاقات تدفق كاملة تتراوح من 5 sccm إلى 30 slm، بناءً على تكافؤ النيتروجين. توفر واجهته التناظرية تحكمًا بالجهد أو التيار، بينما تدعم تكوينات الطاقة القابلة للاختيار بنى المعدات المختلفة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | بنية المنتج وتحديد التكوين\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالشركة المصنعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUNIT Instruments\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالطراز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eUFC-7300\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eسلسلة المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eسلسلة 7300\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنوع المنتج\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة تحكم تناظرية في التدفق الكتلي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتقنية التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eتحكم كهرومغناطيسي تناسبي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمجموعة الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eصمام Unit 132\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eحالة الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eملف مغناطيسي مغلق عادةً\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين الختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eحلقة مانعة للتسرب من مطاط فيتون ومقعد من كي-إف\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتكوين التسخين\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eنسخة قياسية غير مسخنة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | سعة التدفق وأداء التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتغطي العائلة نطاق تدفق واسعًا لمتطلبات توصيل الغاز المختلفة. تعتمد القيمة الفعلية للنطاق الكامل على التكوين المطلوب والغاز الذي تمت معايرته.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التدفق الكامل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمن 5 sccm إلى 30 slm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالغاز المرجعي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمكافئ N2\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eدقة UFC-7300 التناظرية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالتكرارية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.15% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالخطية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.15% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنسبة خفض التدفق\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e50:1\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eنطاق التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100% من النطاق الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eاستجابة التشغيل السريع\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eأقل من ثانية واحدة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eاستقرار الصفر\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eأقل من 0.60% من النطاق الكامل سنويًا بدون ضبط تلقائي للصفر\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eتمييز مهم للطراز:\u003c\/strong\u003e ينطبق مواصفة الدقة ±1% من النطاق الكامل على وحدة UFC-7300 التناظرية. تمتلك طرازات UFC-7301\/7304 الرقمية مواصفات دقة مختلفة. لا تنقل أرقام أداء الطرازات الرقمية إلى هذه الوحدة التناظرية.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيصف استجابة التشغيل السريع المدرجة خصائص الاستجابة الأولية. توفر ملفات التدرج الخطي المتاحة تحكمًا إضافيًا في انتقالات التدفق. تأكد من سلوك التدرج المطلوب مع تكوين وحدة التحكم الفعلي.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | التعويض البيئي والاستقرار\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيمكن أن تؤثر درجة حرارة العملية وضغط المدخل على قياس التدفق الكتلي. تساعد المعاملات التالية المهندسين على تقييم التباين المتوقع في القياس.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعامل درجة حرارة الصفر\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.05% من النطاق الكامل\/درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعامل درجة حرارة النطاق الكامل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.1% من النطاق الكامل\/درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعامل الضغط\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.007% من القراءة\/بوصة مائية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–50 درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eبالنسبة للتطبيقات ذات الظروف المحيطة المتغيرة، قم بتضمين تأثيرات درجة حرارة الصفر والنطاق الكامل في ميزانية خطأ القياس. يتطلب تباين الضغط أيضًا الاهتمام، خاصةً عندما لا يستطيع منظم إمداد الغاز الحفاظ على حالة مدخل مستقرة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | مواد مسار الغاز واستراتيجية الختم\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمادة الرئيسية الملامسة للغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ 316L\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمادة الزنبرك\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eفولاذ مقاوم للصدأ 304\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتشطيب السطح\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e32 ميكرو بوصة Ra\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eختم المطاط المرن\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eحلقة مانعة للتسرب من فيتون\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمقعد الصمام\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eكي-إف\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمعدل تسرب الهيليوم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1 × 10⁻⁹ ضغط جوي·سم مكعب\/ثانية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eيدعم مزيج المواد غازات العمليات العامة المتوافقة. ومع ذلك، يجب على المهندسين تقييم مسار التلامس الكامل بدلًا من الاعتماد فقط على مواصفة الجسم المصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eفيتون:\u003c\/strong\u003e تحقق من التوافق مع الغاز الفعلي والتركيز ودرجة حرارة التشغيل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمقعد كي-إف:\u003c\/strong\u003e تحقق من التوافق الكيميائي ومتطلبات نظافة العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eفولاذ مقاوم للصدأ 316L:\u003c\/strong\u003e أكد ملاءمته لكيمياء الغاز وظروف الرطوبة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتشطيب السطح:\u003c\/strong\u003e ضع في الاعتبار تشطيب Ra المحدد بـ 32 ميكرو بوصة عند تقييم متطلبات نظافة الغاز.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eلا ينبغي لهذا التكوين المختوم بالمطاط المرن أن يحل تلقائيًا محل وحدة تحكم محكمة بالكامل من المعدن في الخدمات شديدة التآكل أو الحساسة للتلوث.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | نطاق الضغط وظروف إمداد الغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eأقصى ضغط مدخل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e500 psig\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eضغط التحمل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1,500 psig\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالضغط التفاضلي لوحدة التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e7–40 psid\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالضغط التفاضلي للعداد\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eأقل من 4 تور (0.08 psid)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eتختلف متطلبات الضغط بين تكوينات وحدة التحكم والعداد. حافظ على الضغط التفاضلي المحدد للجهاز المثبت. لا تعامل ضغط التحمل أبدًا على أنه ضغط تشغيل عادي.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | الواجهة التناظرية واختيار الطاقة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيدعم UFC-7300 تكوينات كهربائية متعددة. أكد إشارة التحكم المطلوبة وترتيب الإمداد والموصل قبل طلب بديل.\u003c\/p\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eخيارات الإشارة التناظرية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 VDC أو 4–20 mA\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eإمداد ثنائي السكة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eإمداد طرفي واحد\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e11–33 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالموصل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eحافة بطاقة 20 دبوسًا\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eطاقة وحدة التحكم\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4.5 W كحد أقصى عند ±15 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eطاقة وحدة التحكم البديلة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e4.8 W كحد أقصى عند 11–33 VDC\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eطاقة العداد\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.5–2 W\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eلا تفترض أن كل وحدة UFC-7300 تدعم كل مزيج من الإشارات والطاقة. أكد لوحة الاسم وتوزيع دبابيس الموصل وتكوين المعدات الأصلية قبل التوصيل.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | الأبعاد الميكانيكية وتكامل المعدات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالارتفاع\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e137.2 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالعرض\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e101.6 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالعمق\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e37.6 mm\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمرجع مساحة الأساس\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمساحة أساس 1.5 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالوزن\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.2 kg (2.65 lb)، مواصفة على مستوى العائلة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eاستخدم الرسم التخطيطي الخارجي للمصنع لتأكيد أبعاد التركيب واتجاه التوصيل. افحص الوحدة الفعلية قبل تعديل لوحة غاز موجودة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | التطبيقات النموذجية للمعدات والعمليات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوصيل غاز أشباه الموصلات:\u003c\/strong\u003e يتحكم في غازات العمليات المتوافقة في معدات تصنيع أشباه الموصلات.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCVD وPVD:\u003c\/strong\u003e يدعم توصيل الغاز المتحكم فيه في أنظمة الترسيب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأنظمة الفراغ:\u003c\/strong\u003e يوفر تنظيم التدفق لترتيبات إمداد الغاز المتوافقة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالألياف الضوئية:\u003c\/strong\u003e يدعم توصيل الغاز في معدات تصنيع الألياف.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالمعدات الطبية:\u003c\/strong\u003e يخدم تطبيقات التحكم في الغاز المتوافقة مع التحقق المناسب من المواد.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأنظمة الاحتراق:\u003c\/strong\u003e ينظم تدفق الغاز في معدات العمليات والاحتراق.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاختبار التسرب والتطهير:\u003c\/strong\u003e يدعم إمداد الغاز المتحكم فيه أثناء تسلسلات الاختبار والتطهير.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | الموثوقية والامتثال\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمتوسط الوقت بين الأعطال للطراز التناظري\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eأكثر من 730,000 ساعة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eمرجع متوسط الوقت بين الأعطال للعائلة الرقمية\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.5 مليون ساعة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتصميم التوافق الكهرومغناطيسي\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eإلكترونيات محمية من EMI\/RFI\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالامتثال\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعتمد من CE\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eتتبع المعايرة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eقابل للتتبع من NIST\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003cp\u003eتمثل أرقام متوسط الوقت بين الأعطال تكوينات مختلفة للعائلة. لا يصف رقم العائلة الرقمية وحدة UFC-7300 التناظرية نفسها. أكد وثائق الموثوقية المناسبة للطراز المحدد.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | هندسة الموقع: فحوصات التركيب والصيانة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003col\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتأكد من توافق الغاز.\u003c\/strong\u003e تحقق من توافق فيتون وكي-إف والفولاذ المقاوم للصدأ مع غاز العملية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتحقق من النطاق المعاير.\u003c\/strong\u003e طابق القيمة الكاملة لوحدة التحكم مع وصفة المعدات.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eافحص هبوط الضغط.\u003c\/strong\u003e حافظ على الضغط التفاضلي المحدد عبر الجهاز المثبت.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eحدد الإصدار الكهربائي.\u003c\/strong\u003e أكد التشغيل بـ 0–5 VDC أو 4–20 mA قبل التوصيل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتحقق من جهد الإمداد.\u003c\/strong\u003e حدد تكوين الطاقة ثنائي السكة أو طرفي واحد.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eافحص الصمام المغلق عادةً.\u003c\/strong\u003e أكد سلوك عزل الغاز المقصود أثناء انقطاع الطاقة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eقيم انحراف الصفر.\u003c\/strong\u003e سجل خرج الصفر تحت ظروف اختبار متسقة أثناء الصيانة المجدولة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ol\u003e\n\u003cp\u003eبالنسبة للتدفق غير المستقر، ابحث في ضغط المدخل، واختيار الغاز، والقياس الكهربائي، وسلوك الصمام قبل تغيير معايرة وحدة التحكم. يساعد هذا التسلسل على عزل أعطال مستوى النظام عن المشكلات المتعلقة بالأداة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e11 | الأسئلة الشائعة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس1: كيف يمكن للمهندسين التمييز بين مشكلة وحدة التحكم ومشكلة المنظم الموجود في المنبع؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eراقب ضغط المدخل أثناء تغيير وحدة التحكم لنقطة ضبطها. إذا تقلب ضغط المدخل مع الطلب، فابحث في سعة المنظم، وقيود الإمداد، وتحديد أحجام خطوط المنبع. إذا ظل ضغط المدخل مستقرًا، فاستمر في التحقق من إشارة التحكم، واستجابة الصمام، وتكوين الغاز المعاير.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس2: لماذا قد تعرض وحدة التحكم خرج صفر مقبولًا ولكن دقة تدفق ضعيفة؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيصف استقرار الصفر ودقة النطاق الكامل خصائص أداء مختلفة. يمكن أن تحافظ الوحدة على صفر مستقر بينما ينحرف قياس التدفق الخاص بها تحت ظروف التشغيل. تحقق من الغاز المرجعي، وهبوط الضغط، ونطاق المعايرة، وتأثيرات درجة الحرارة قبل تشخيص عطل في المستشعر.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس3: ما الذي ينبغي مراعاته عند استبدال علامة تجارية مختلفة لوحدة التحكم في التدفق الكتلي بهذا الطراز؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقارن نطاق التدفق الكامل، ومعايرة الغاز، وهبوط الضغط، والقياس الكهربائي، وتوزيع دبابيس الموصل، وحالة الصمام، والمواد الملامسة للغاز. الملاءمة الميكانيكية وحدها لا تثبت قابلية الاستبدال. أكد أن وحدة التحكم المضيفة يمكنها توفير الطاقة الكهربائية المطلوبة وتفسير نوع الإشارة المحدد.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس4: هل يمكن لـ UFC-7300 التعامل مع الغازات التي تتطلب خطوط توصيل مسخنة؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيصف التكوين المورد نسخة قياسية غير مسخنة. للغازات التي تتكثف بالقرب من درجة الحرارة المحيطة، قيم المتطلبات الحرارية الكاملة قبل اختيار هذا الطراز. لا يمكن لخط الغاز المسخن تعويض مسار التدفق الداخلي غير المسخن عندما يتطلب الغاز تحكمًا مستمرًا في درجة الحرارة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس5: متى ينبغي لفرق الصيانة التحقيق في تدهور الختم المطاطي المرن؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eابحث في حالة الختم عند ظهور تسرب، أو صفر غير مستقر، أو تلوث، أو سلوك غاز غير متوقع. راجع تاريخ تعرض الغاز ودرجة حرارة التشغيل. لا تختر المطاطات البديلة بناءً على الحجم المادي وحده؛ أكد المادة المحددة وتصميم الختم.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e12 | معلومات الطلب والتحقق من التكوين\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيُعد \u003cspan style=\"color: #1673b9;\"\u003e\u003cstrong\u003eUFC-7300 من UNIT Instruments\u003c\/strong\u003e\u003c\/span\u003e وحدة تحكم تناظرية في التدفق الكتلي لأنظمة الغاز الصناعية وأشباه الموصلات المتوافقة. تدعم خياراته الكهربائية المرنة ومسار الغاز المختوم بالمطاط المرن مجموعة واسعة من تكوينات المعدات.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالعلامة التجارية:\u003c\/strong\u003e UNIT Instruments\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالطراز:\u003c\/strong\u003e UFC-7300\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالسلسلة:\u003c\/strong\u003e سلسلة 7300\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنوع المنتج:\u003c\/strong\u003e وحدة تحكم تناظرية في التدفق الكتلي\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التدفق:\u003c\/strong\u003e من 5 sccm إلى 30 slm، مكافئ N2\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eإشارة التحكم:\u003c\/strong\u003e 0–5 VDC أو 4–20 mA\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eخيارات الطاقة:\u003c\/strong\u003e ±15 VDC أو 11–33 VDC، حسب التكوين\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنوع الختم:\u003c\/strong\u003e حلقة مانعة للتسرب من فيتون ومقعد من كي-إف\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eعند طلب عرض أسعار، قدم رقم الطراز الكامل، ونطاق التدفق الكامل، ونوع الغاز، وتنسيق الإشارة، وجهد الإمداد، وتفاصيل الموصل. تساعد هذه المواصفات في التحقق من التوافق مع نظام توصيل الغاز الحالي لديك.\u003c\/p\u003e","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027991720118,"sku":"UFC-7300","price":196.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-7300.jpg?v=1794288875"},{"product_id":"ufc-9660-high-temperature-analog-mfc-by-unit-instruments-9660-series","title":"مقياس تدفق كتلي تماثلي عالي الحرارة UFC-9660 من UNIT Instruments، سلسلة 9660","description":"\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003eUFC-9660 | وحدة تحكم في التدفق الكتلي ذات سدادة معدنية للدرجات العالية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيُعد \u003cstrong\u003eUFC-9660\u003c\/strong\u003e من UNIT Instruments وحدة تحكم تماثلية في التدفق الكتلي للدرجات العالية ضمن سلسلة 9660. وقد صُممت لعمليات أشباه الموصلات التي تتطلب توصيل الغاز المسخّن وتنظيمًا مستقرًا للتدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيدعم تصميمها المسخّن درجات حرارة تشغيل تصل إلى 150 درجة مئوية. ويساعد هذا التصميم على منع التكثف عند التعامل مع غازات العمليات التي قد تتكثف داخل خطوط توصيل الغاز التقليدية.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتجمع وحدة التحكم بين مسار غاز بسدادة معدنية، وصمام ملف لولبي كهرومغناطيسي تناسبي، وبنية إلكترونية عن بُعد. وتستخدم واجهة تحكم ومراقبة تماثلية بجهد 0–5 فولت تيار مستمر.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتشمل التطبيقات النموذجية الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفوقي، وأنظمة التوصيل المسخّنة لمواد المصدر القابلة للتكثيف.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e01 | التحكم الحراري: الحفاظ على غاز العمليات في الحالة المطلوبة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيُعد التحكم في درجة الحرارة اعتبارًا رئيسيًا عند اختيار UFC-9660. إذ يمكن لبعض غازات السلائف الخاصة بأشباه الموصلات أن تتكثف عندما تنخفض درجة حرارتها إلى ما دون ظروف العملية المطلوبة.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eدرجة حرارة التشغيل:\u003c\/strong\u003e 0–150 درجة مئوية (32–302 درجة فهرنهايت)، طراز للدرجات العالية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتكوين المسخّن:\u003c\/strong\u003e حاوية مسخّنة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eملاءمة العملية:\u003c\/strong\u003e توصيل مسخّن للغازات القابلة للتكثيف.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالعمليات النموذجية:\u003c\/strong\u003e الترسيب الكيميائي للبخار (CVD)، والترسيب الفوقي، وتوصيل بخار المصادر السائلة أو الصلبة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eفي أنظمة الغاز المسخّن، يجب أن يظل ملف درجة الحرارة ثابتًا عبر المصدر وخط التوصيل والصمام ووحدة التحكم في التدفق. إذ يمكن أن يصبح أي جزء بارد نقطة تكثف حتى لو كانت وحدة التحكم نفسها مسخّنة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eأثناء تصميم النظام، تحقق من درجة الحرارة المطلوبة لغاز العملية المحدد. وأكد أيضًا تكوين التدفئة وحدود درجات الحرارة للإلكترونيات البعيدة المثبتة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e02 | مسار الغاز بسدادة معدنية والمواد الملامسة للغاز\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتستخدم سلسلة 9660 تصميمًا بسدادة معدنية لتطبيقات توصيل غازات أشباه الموصلات المتطلبة. ويُحدد تكوين بسدادة W للإصدارات ذات المنفذ السفلي.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالمواد الملامسة للغاز:\u003c\/strong\u003e الفولاذ المقاوم للصدأ 316L، وK-M45، والفولاذ المقاوم للصدأ 304، و7Mo+.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالختم:\u003c\/strong\u003e سدادة معدنية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتكوين المنفذ السفلي:\u003c\/strong\u003e سدادة W.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتشطيب السطح القياسي:\u003c\/strong\u003e 10 ميكرو بوصة Ra.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتشطيب السطح الاختياري:\u003c\/strong\u003e 4 ميكرو بوصة Ra.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eسلامة الختم:\u003c\/strong\u003e 1 × 10\u003csup\u003e-10\u003c\/sup\u003e ضغط جوي-سم مكعب\/ثانية من الهيليوم.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eيؤثر تشطيب السطح واختيار المواد الملامسة للغاز على نظافة الغاز والتوافق مع العملية. بالنسبة لتطبيقات السلائف الحساسة، تحقق من مزيج المواد الفعلي وتشطيب السطح قبل الطلب.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eيُعد مستوى سلامة الختم المدرج مواصفة تسرب الهيليوم. ولا ينبغي تفسيره على أنه ضمان للتوافق مع كل غاز عملية أو حالة تركيب.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e03 | نطاق الضغط وتنظيم التدفق\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيجب تقييم قدرة الضغط إلى جانب فرق الضغط المطلوب. يصف الحد الأقصى لضغط المدخل، وضغط الاختبار، وفرق ضغط التشغيل ظروف تشغيل مختلفة.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالحد الأقصى للضغط:\u003c\/strong\u003e 3,500 كيلو باسكال (500 رطل\/بوصة مربعة).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eضغط الاختبار:\u003c\/strong\u003e 10,500 كيلو باسكال (1,500 رطل\/بوصة مربعة).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eفرق الضغط النموذجي:\u003c\/strong\u003e 1.33–350 كيلو باسكال (10 تور–50 رطل\/بوصة مربعة فرق ضغط).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التحكم:\u003c\/strong\u003e 2–100% من المقياس الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعامل الضغط:\u003c\/strong\u003e 0.007% من القراءة لكل رطل\/بوصة مربعة (N₂).\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eلا تستخدم ضغط الاختبار كنقطة ضبط تشغيل عادية. وأكد حدود الضغط لمجموعة توصيل الغاز الكاملة، بما في ذلك الوصلات ومنظمات الضغط والصمامات والمعدات الموجودة في اتجاه التدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e04 | التحكم التماثلي والإلكترونيات البعيدة\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيستخدم التكوين التماثلي لـ UFC-9660 واجهة بجهد 0–5 فولت تيار مستمر لإشارات نقطة الضبط والمراقبة. ويفصل ترتيب إلكترونياته البعيدة الوحدة الإلكترونية عن جسم التدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eإشارة نقطة الضبط:\u003c\/strong\u003e 0–5 فولت تيار مستمر.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eإشارة المراقبة:\u003c\/strong\u003e 0–5 فولت تيار مستمر.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتوصيل الكهربائي:\u003c\/strong\u003e موصل بحافة البطاقة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eعرض الإلكترونيات البعيدة:\u003c\/strong\u003e 1-1\/8 بوصة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eطاقة عائلة التماثلي:\u003c\/strong\u003e ±15 فولت تيار مستمر.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eتحقق من تعيين دبابيس الموصل ومرجع الإشارة قبل دمج وحدة التحكم مع أداة العملية. نطاق الإشارة 0–5 فولت تيار مستمر وحده لا يحدد توافق الموصل أو ترتيب الدبابيس.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eتستخدم المتغيرات الرقمية 9561 و9565 مواصفات كهربائية مختلفة. ولا ينبغي تطبيق متطلبات الطاقة الخاصة بها وأرقام الأداء الرقمي على هذا الطراز التماثلي.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e05 | أداء التدفق والاستجابة الديناميكية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتشمل قيم الأداء التالية مواصفات 9660 التماثلية وبيانات على مستوى العائلة. وأكد نطاق التدفق الدقيق وحدود الأداء وفقًا لتكوين UFC-9660 المورّد.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التدفق على مستوى العائلة:\u003c\/strong\u003e 10 سم مكعب\/دقيقة–30 لتر\/دقيقة، مكافئ N₂.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eدقة 9660 التماثلية:\u003c\/strong\u003e ±1% من المقياس الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالتكرارية على مستوى العائلة:\u003c\/strong\u003e ±0.15% من المقياس الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالخطية على مستوى العائلة:\u003c\/strong\u003e ±0.5% من المقياس الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاستقرار الصفر على مستوى العائلة:\u003c\/strong\u003e أقل من 0.6% من المقياس الكامل سنويًا.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eنطاق التحكم:\u003c\/strong\u003e 2–100% من المقياس الكامل.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eاستجابة التشغيل السريع:\u003c\/strong\u003e أقل من ثانيتين، وفقًا لـ SEMI E17-91.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eمعدل التشغيل اللطيف:\u003c\/strong\u003e منحدر خطي بنسبة 20% في الثانية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eتختلف الدقة المعبر عنها كنسبة مئوية من المقياس الكامل عن الدقة المعبر عنها كنسبة مئوية من نقطة الضبط. وهذا التمييز مهم عند تقييم التشغيل منخفض التدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eأرقام دقة 9561\/9565 الرقمية هي مواصفات منفصلة. ولا يمكن استبدالها بتقييم دقة 9660 التماثلية.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e06 | التكوين الميكانيكي والتركيب\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيستخدم UFC-9660 تصميمًا لإلكترونيات بعيدة. وتعتمد أبعاد جسم التدفق على التركيب وتكوين المنفذ المختارين.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eأبعاد الإلكترونيات البعيدة:\u003c\/strong\u003e 3.50 × 4.00 × 1.47 بوصة (89 × 102 × 37 مم).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالطول الإجمالي لجسم التدفق ذي المنفذ السفلي:\u003c\/strong\u003e 105.2 مم.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالوزن:\u003c\/strong\u003e 1.2 كجم (2.65 رطل).\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتكوينات التركيب:\u003c\/strong\u003e التركيب الأفقي، بما في ذلك تكوينات HOV\/HOS.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eافحص اتجاه المنفذ وترتيب التركيب مقارنة بأداة العملية الحالية. ينطبق الطول الإجمالي المدرج أعلاه على تكوين C\/W ذي المنفذ السفلي، وليس بالضرورة على كل خيار لجسم التدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e07 | تطبيقات عمليات أشباه الموصلات\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eيُقصد بالتصميم عالي الحرارة أنظمة توصيل الغاز التي يكون التحكم في درجة حرارتها جزءًا من موثوقية العملية.\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eCVD:\u003c\/strong\u003e توصيل مسخّن لغازات السلائف المتوافقة إلى غرف الترسيب.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eالترسيب الفوقي:\u003c\/strong\u003e تنظيم التدفق في أنظمة غازات العمليات المسخّنة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوصيل الغازات القابلة للتكثيف:\u003c\/strong\u003e الحفاظ على درجة حرارة الغاز لتقليل خطر التكثف.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوصيل بخار المصادر السائلة:\u003c\/strong\u003e دعم أنظمة التوصيل المسخّنة لمواد المصدر المتبخرة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003e\n\n\u003cstrong\u003eتوصيل بخار المصادر الصلبة:\u003c\/strong\u003e تنظيم الغازات المتوافقة في ترتيبات توصيل المصادر المسخّنة.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eيجب تأكيد توافق الغاز واختيار المواد ودرجة حرارة التشغيل لكل عملية. وينبغي اختيار UFC-9660 وفقًا لتركيب الغاز الفعلي وتكوين الأداة.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e08 | المواصفات الفنية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003ctable\u003e\n\n\u003ctbody\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالمواصفة\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u003cstrong\u003eالتفاصيل\u003c\/strong\u003e\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالطراز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUFC-9660\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالعلامة التجارية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eUNIT Instruments\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالسلسلة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eسلسلة 9660\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنوع المنتج\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eوحدة تحكم تماثلية بسدادة معدنية للدرجات العالية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التدفق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 سم مكعب\/دقيقة–30 لتر\/دقيقة، مكافئ N₂ (على مستوى العائلة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالدقة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±1% من المقياس الكامل (9660 التماثلية)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتكرارية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.15% من المقياس الكامل (على مستوى العائلة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالخطية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±0.5% من المقياس الكامل (على مستوى العائلة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eاستقرار الصفر\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u0026lt;0.6% من المقياس الكامل\/سنويًا (على مستوى العائلة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالاستجابة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e\u0026lt;ثانيتان للتشغيل السريع، وفقًا لـ SEMI E17-91\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالتشغيل اللطيف\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eمنحدر خطي بنسبة 20% في الثانية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنطاق التحكم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e2–100% من المقياس الكامل\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eدرجة حرارة التشغيل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–150 درجة مئوية (32–302 درجة فهرنهايت)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعامل درجة الحرارة، الصفر\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.05% من المقياس الكامل\/درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعامل درجة الحرارة، النطاق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.1% من المقياس الكامل\/درجة مئوية\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمعامل الضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0.007% من القراءة\/رطل بوصة مربعة (N₂)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالحد الأقصى للضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e3,500 كيلو باسكال (500 رطل\/بوصة مربعة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eضغط الاختبار\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10,500 كيلو باسكال (1,500 رطل\/بوصة مربعة)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eفرق الضغط\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.33–350 كيلو باسكال (10 تور–50 رطل\/بوصة مربعة فرق ضغط نموذجي)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالمواد الملامسة للغاز\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eالفولاذ المقاوم للصدأ 316L \/ K-M45 \/ 304 \/ 7Mo+\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eتشطيب السطح\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e10 ميكرو بوصة Ra قياسي؛ 4 ميكرو بوصة اختياري\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eنوع الختم\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eسدادة معدنية؛ سدادة W للإصدار ذي المنفذ السفلي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالواجهة الكهربائية\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e0–5 فولت تيار مستمر لنقطة الضبط والمراقبة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالموصل\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eموصل بحافة البطاقة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالإلكترونيات\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eإلكترونيات بعيدة، بعرض 1-1\/8 بوصة\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eمصدر الطاقة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e±15 فولت تيار مستمر (العائلة التماثلية)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eطول جسم التدفق\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e105.2 مم إجماليًا، C\/W ذي منفذ سفلي\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eأبعاد الإلكترونيات البعيدة\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e89 × 102 × 37 مم\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالوزن\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003e1.2 كجم (2.65 رطل)\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\u003ctr\u003e\n\n\u003ctd\u003eالامتثال\u003c\/td\u003e\n\n\u003ctd\u003eCE؛ قابل للتتبع وفقًا لـ NIST؛ SEMI E12\/E16\/E17\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e09 | الأسئلة الشائعة للهندسة الميدانية\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس1: لماذا يمكن أن تستمر وحدة التحكم في التدفق المسخّنة في مواجهة تدفق غير مستقر رغم أن درجة حرارة مصدر الغاز صحيحة؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eلا تضمن درجة حرارة المصدر الصحيحة درجة حرارة موحدة على طول مسار التوصيل. تحقق من وجود نقاط باردة حول الوصلات والصمامات والمحولات ووصلات الغرفة. راجع مواقع مستشعرات درجة الحرارة والعزل. وأكد أن وحدة التحكم وخطوط التوصيل تصل إلى درجات حرارة التشغيل المطلوبة قبل تقييم استقرار التدفق.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس2: ما الذي ينبغي للمهندسين التحقق منه عندما تظهر غرفة العملية تفاوتًا في الترسيب رغم استقرار إشارة التحكم التماثلية؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eافحص ظروف توصيل الغاز الفعلية بدلًا من الاعتماد فقط على إشارة التحكم. راجع تقلبات الضغط في اتجاه التدفق، والضغط العكسي في اتجاه التدفق، ودرجة حرارة الغاز، وإعدادات غاز المعايرة. وقارن أيضًا إشارة المراقبة بقياس مستقل للعملية إن وجد. لا تثبت إشارة التحكم المستقرة أن التدفق الكتلي الموصّل يظل ثابتًا.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس3: هل يمكن تركيب UFC-9660 بنفس اتجاه وحدة التحكم في التدفق الحالية ذات درجة الحرارة القياسية؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eليس دون التحقق من التكوين الميكانيكي. وأكد ما إذا كان البديل يستخدم تركيب HOV أو HOS، وتحقق من اتجاه المنفذ وأبعاد جسم التدفق. قد يكون للتكوينات ذات المنفذ السفلي وغيرها متطلبات ميكانيكية مختلفة. افحص رسم المعدات قبل تعديل لوحة الغاز.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس4: ما هو تسلسل التشغيل الذي يساعد على تقليل المشاكل بعد استبدال وحدة تحكم عالية الحرارة؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eأولًا، تحقق من مسار الغاز والتوصيلات الكهربائية. وأجرِ اختبار التسرب المطلوب قبل إدخال غاز العملية. وأوصل المجموعة المسخّنة إلى درجة حرارة التشغيل المحددة، ثم اضبط فرق الضغط المطلوب. وتحقق من الصفر، وتدرج التماثل، وعدة نقاط تدفق مستقرة. واتبع إجراءات بدء التشغيل والتطهير المعتمدة من الشركة المصنعة للمعدات.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cstrong\u003eس5: ما المعلومات المطلوبة لتحديد تكوين استبدال UFC-9660 الصحيح؟\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقدم معلومات لوحة الاسم الكاملة، ونطاق التدفق عند المقياس الكامل، وغاز العملية، واتجاه المنفذ، وترتيب التركيب، وتفاصيل الموصل الكهربائي. وأدرج ظروف درجة الحرارة والضغط المطلوبة للتشغيل. وبالنسبة للغازات القابلة للتكثيف، حدد متطلبات درجة حرارة المصدر والتوصيل. تساعد هذه التفاصيل في منع اختيار بديل مشابه ميكانيكيًا ولكنه غير مناسب وظيفيًا.\u003c\/p\u003e\n\u003ch3\u003e\u003cstrong\u003e10 | التحقق من التكوين قبل الطلب\u003c\/strong\u003e\u003c\/h3\u003e\n\u003cp\u003eتتضمن سلسلة 9660 تكوينات مختلفة ونماذج رقمية ذات صلة. وقد تختلف المواصفات حسب نوع الإلكترونيات ونطاق التدفق وترتيب المنفذ وخيار درجة الحرارة.\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003eقبل الطلب، أكد التفاصيل التالية:\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\n\u003cli\u003eالطراز الدقيق: UFC-9660.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eتكوين الإلكترونيات التماثلية.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eنطاق التدفق المطلوب عند المقياس الكامل المكافئ لـ N₂.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eنوع الغاز ومتطلبات المعايرة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eدرجة حرارة التشغيل المسخّنة.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eالسدادة المعدنية وتكوين المنفذ.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eترتيب التركيب الأفقي، بما في ذلك HOV\/HOS عند الاقتضاء.\u003c\/li\u003e\n\n\u003cli\u003eموصل بحافة البطاقة والمتطلبات الكهربائية.\u003c\/li\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp\u003eلا تستخدم مواصفات 9561\/9565 الرقمية أو نطاق تدفق 9500 للإلكترونيات البعيدة كبدائل لبيانات تكوين UFC-9660.\u003cstrong\u003e\u003c\/strong\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"UNIT Instruments","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":68027996864694,"sku":"UFC-9660","price":163.0,"currency_code":"USD","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0722\/7863\/8774\/files\/UFC-8161_2.jpg?v=1794289029"}],"url":"https:\/\/www.plcsparehub.com\/ar\/collections\/unit-instruments.oembed","provider":"Global PLC Spare Hub","version":"1.0","type":"link"}